SiC örtüklü qrafit yarımay hissəsixüsusilə SiC epitaksial avadanlığı üçün yarımkeçirici istehsal proseslərində istifadə olunan əsas komponentdir. Biz patentləşdirilmiş texnologiyamızdan istifadə edərək yarımay hissəni son dərəcə yüksək təmizliyə, yaxşı örtük vahidliyinə və əla xidmət müddətinə, eləcə də yüksək kimyəvi müqavimətə və istilik dayanıqlılığına malikdir.
Əsas material: yüksək təmizlikli qrafit
Təmizlik tələbləri:karbon tərkibi ≥99,99%, kül tərkibi ≤5ppm, yüksək temperaturda epitaksial təbəqəni çirkləndirmək üçün heç bir çirklənmənin çökməməsini təmin etmək.
Performans üstünlükləri:
Yüksək istilik keçiriciliyi:Otaq temperaturunda istilik keçiriciliyi 150W/(m・K) çatır, bu da mis səviyyəsinə yaxındır və istiliyi tez ötürə bilir.
Aşağı genişlənmə əmsalı:5×10-6/℃ (25-1000℃), silisium karbid substratına (4,2×10) uyğun gəlir-6/℃), termal stress nəticəsində örtüyün çatlamasını azaldır.
Emal dəqiqliyi:Kameranın möhürlənməsini təmin etmək üçün CNC emal vasitəsilə ±0,05 mm ölçülü tolerantlıq əldə edilir.
CVD SiC və CVD TaC-nin fərqli tətbiqləri
| Kaplama | Proses | Müqayisə | Tipik tətbiq |
| CVD-SiC | Temperatur: 1000-1200℃Təzyiq: 10-100 Torr | Sərtlik HV2500, qalınlığı 50-100um, əla oksidləşmə müqaviməti (1600℃-dən aşağı sabit) | Universal epitaksial sobalar, hidrogen və silan kimi adi atmosferlər üçün uyğundur |
| CVD-TaC | Temperatur: 1600-1800℃Təzyiq: 1-10 Torr | Sərtlik HV3000, qalınlığı 20-50um, son dərəcə korroziyaya davamlı (HCl, NH₃ və s. kimi aşındırıcı qazlara davam edə bilər) | Yüksək korroziyalı mühitlər (məsələn, GaN epitaksisi və aşındırma avadanlığı) və ya 2600°C ultra yüksək temperatur tələb edən xüsusi proseslər |
Keyfiyyət yoxlaması
Kaplama qalınlığı: lazer qalınlığı ölçmə cihazı (dəqiqlik ±1um) və ya SEM kəsiyi analizi.
Bağlanma gücü: cızıq testi (kritik yük > 50N) və ya ultrasəs testi (səs sürəti > 5000m/s).
Korroziyaya davamlılıq: kütlə itkisi dərəcəsi (<0.1 mg/sm²・h) HCl atmosferində sınaqdan keçirilmişdir (5 vol%, 1600℃).
VET Energy elmi-tədqiqat işlərinə və qrafit, silisium karbid, kvars kimi yüksək səviyyəli qabaqcıl materialların istehsalına, eləcə də SiC örtüyü, TaC örtüyü, şüşə karbon örtüyü, pirolitik karbon örtüyü və s. kimi materialların işlənməsinə diqqət yetirən peşəkar istehsalçıdır. Məhsullar fotovoltaik, yarımkeçirici, yeni enerji, metallurgiyada geniş istifadə olunur.
Texniki komandamız ən yaxşı yerli tədqiqat institutlarından gəlir, sizin üçün daha peşəkar material həlləri təqdim edə bilər.
VET Energy üstünlüklərinə aşağıdakılar daxildir:
• Öz zavodu və peşəkar laboratoriyası;
• Sənayedə qabaqcıl təmizlik səviyyələri və keyfiyyət;
• Rəqabətli qiymət və Sürətli çatdırılma müddəti;
• Dünyada çoxsaylı sənaye tərəfdaşlığı;
İstənilən vaxt zavodumuzu və laboratoriyamızı ziyarət etmək üçün sizi salamlayırıq!
