SiC ilə örtülmüş qrafit yarımay hissəsiyarımkeçirici istehsal proseslərində, xüsusən də SiC epitaksial avadanlıqları üçün istifadə olunan əsas komponentdir. Biz patentləşdirilmiş texnologiyamızdan istifadə edərək son dərəcə yüksək təmizliyə, yaxşı örtük vahidliyinə və əla xidmət müddətinə, eləcə də yüksək kimyəvi müqavimət və istilik stabilliyi xüsusiyyətlərinə malik yarımay hissəsini hazırlayırıq.
Əsas material: yüksək təmizlikli qrafit
Təmizlik tələbləri:karbon tərkibi ≥99.99%, kül tərkibi ≤5ppm, yüksək temperaturda epitaksial təbəqəni çirkləndirəcək heç bir çirklənmənin çökməməsini təmin etmək üçün.
Performans üstünlükləri:
Yüksək istilik keçiriciliyi:Otaq temperaturunda istilik keçiriciliyi 150 Vt/(m・K)-ə çatır ki, bu da mis səviyyəsinə yaxındır və istiliyi tez bir zamanda ötürə bilir.
Aşağı genişlənmə əmsalı:5×10-6/℃ (25-1000℃), silikon karbid substratına uyğundur (4.2×10-6/℃), istilik gərginliyindən qaynaqlanan örtüyün çatlamasını azaldır.
Emal dəqiqliyi:Kameranın möhürlənməsini təmin etmək üçün CNC emalı vasitəsilə ±0,05 mm ölçülü tolerantlıq əldə edilir.
CVD SiC və CVD TaC-nin fərqli tətbiqləri
| Örtük | Proses | Müqayisə | Tipik tətbiq |
| CVD-SiC | Temperatur: 1000-1200℃ Təzyiq: 10-100 Torr | Sərtlik HV2500, qalınlığı 50-100um, əla oksidləşmə müqaviməti (1600℃-dən aşağı sabitdir) | Hidrogen və silan kimi ənənəvi atmosferlər üçün uyğun universal epitaksial sobalar |
| Ürək-Daş Klinikası | Temperatur: 1600-1800℃ Təzyiq: 1-10 Torr | Sərtlik HV3000, qalınlığı 20-50 um, korroziyaya son dərəcə davamlıdır (HCl, NH₃ və s. kimi korroziyalı qazlara davam gətirə bilir) | Yüksək dərəcədə korroziyaya uğrayan mühitlər (məsələn, GaN epitaksisi və aşındırma avadanlığı) və ya 2600°C ultra yüksək temperatur tələb edən xüsusi proseslər |
Keyfiyyət yoxlaması
Kaplama qalınlığı: lazer qalınlığı ölçən cihaz (dəqiqlik ± 1 um) və ya SEM en kəsiyi analizi.
Bağlanma möhkəmliyi: cızıq testi (kritik yük > 50N) və ya ultrasəs testi (səs sürəti > 5000m/s).
Korroziyaya davamlılıq: kütlə itkisi sürəti (<0.1 mq/sm²·saat) HCl atmosferində (5 həcm%, 1600℃) sınaqdan keçirilmişdir.
VET Energy, qrafit, silikon karbid, kvars kimi yüksək səviyyəli qabaqcıl materialların tədqiqat və inkişaf etdirilməsi, eləcə də SiC örtüyü, TaC örtüyü, şüşəli karbon örtüyü, pirolitik karbon örtüyü və s. kimi material emalı sahələrinə diqqət yetirən peşəkar bir istehsalçıdır. Məhsullar fotovoltaik, yarımkeçirici, yeni enerji, metallurgiya və s. sahələrdə geniş istifadə olunur.
Texniki komandamız ən yaxşı yerli tədqiqat müəssisələrindən gəlir, sizin üçün daha peşəkar material həlləri təqdim edə bilər.
VET Enerjisinin üstünlüklərinə aşağıdakılar daxildir:
• Öz fabriki və peşəkar laboratoriyası;
• Sənayedə lider olan təmizlik səviyyələri və keyfiyyəti;
• Rəqabətli qiymət və sürətli çatdırılma müddəti;
• Dünya üzrə çoxsaylı sənaye tərəfdaşlıqları;
İstənilən vaxt fabrikimizi və laboratoriyamızı ziyarət etməyə xoş gəlmisiniz!
