Part de mitja lluna de grafit recoberta de SiC per a forn epitaxial de carbur de silici

Peça de mitja lluna de grafit recoberta de SiC per a forn epitaxial de carbur de silici Imatge destacada

Descripció breu:

VET Energy és un fabricant i proveïdor professional de components bàsics de forns epitaxials de carbur de silici. La nostra peça de mitja lluna de grafit recoberta de SiC utilitza un grafit d'alta puresa combinat amb una tecnologia avançada de recobriment CVD. Està dissenyada per a entorns epitaxials d'alta temperatura i altament corrosius. El grafit d'alta puresa proporciona al component una excel·lent resistència a altes temperatures (>1600 ℃) i estabilitat tèrmica, garantint la uniformitat del camp tèrmic; el recobriment CVD forma una densa capa protectora a la superfície mitjançant la tecnologia CVD, millorant significativament les propietats antioxidants i antigravades, i allargant la vida útil en més de 3 vegades.

Material:Grafit d'alta puresa

Purificació:<5 ppm

Recobriment:CVD-SiC o CVD-TaC

Personalització:Forn de marca o OEM

Envia'ns un correu electrònic Descarrega com a PDF

Detall del producte

Etiquetes de producte

Part de mitja lluna de grafit recoberta de SiCés un component clau utilitzat en els processos de fabricació de semiconductors, especialment per a equips epitaxials de SiC. Utilitzem la nostra tecnologia patentada per fabricar la peça de mitja lluna amb una puresa extremadament alta, una bona uniformitat de recobriment i una excel·lent vida útil, així com propietats d'alta resistència química i estabilitat tèrmica.

Material base: grafit d'alta puresa
Requisits de puresa:contingut de carboni ≥99,99%, contingut de cendres ≤5ppm, per garantir que no precipitin impureses que contaminin la capa epitaxial a altes temperatures.
Avantatges de rendiment:
Alta conductivitat tèrmica:La conductivitat tèrmica a temperatura ambient arriba als 150 W/(m・K), que és propera al nivell del coure i pot transferir calor ràpidament.
Coeficient d'expansió baix:5×10^-6/℃ (25-1000℃), coincidint amb el substrat de carbur de silici (4,2 × 10^-6/℃), reduint l'esquerdament del recobriment causat per l'estrès tèrmic.
Precisió del processament:Mitjançant el mecanitzat CNC s'aconsegueix una tolerància dimensional de ±0,05 mm per garantir el segellat de la cambra.

Aplicacions diferenciades de CVD SiC i CVD TaC

Revestiment	Procés	Comparació	Aplicació típica
CVD-SiC	Temperatura: 1000-1200 ℃ Pressió: 10-100 Torr	Duresa HV2500, gruix 50-100um, excel·lent resistència a l'oxidació (estable per sota de 1600 ℃)	Forns epitaxials universals, adequats per a atmosferes convencionals com ara hidrogen i silà
Tac cardiovascular	Temperatura: 1600-1800 ℃ Pressió: 1-10 Torr	Duresa HV3000, gruix 20-50um, extremadament resistent a la corrosió (pot suportar gasos corrosius com HCl, NH₃, etc.)	Ambients altament corrosius (com ara equips d'epitaxia i gravat de GaN) o processos especials que requereixen temperatures ultra altes de 2600 °C

Inspecció de qualitat

Gruix del recobriment: mesurador de gruix làser (precisió ±1 um) o anàlisi transversal SEM.
Resistència d'adhesió: prova de ratllat (càrrega crítica > 50N) o prova per ultrasons (velocitat del so > 5000m/s).
Resistència a la corrosió: taxa de pèrdua de massa (<0,1 mg/cm²・h) provada en atmosfera de HCl (5% en volum, 1600℃).

VET Energy és un fabricant professional centrat en la R+D i la producció de materials avançats d'alta gamma com ara grafit, carbur de silici, quars, així com el tractament de materials com ara recobriment de SiC, recobriment de TaC, recobriment de carboni vitri, recobriment de carboni pirolític, etc. Els productes s'utilitzen àmpliament en fotovoltaica, semiconductors, noves energies, metal·lúrgia, etc.

El nostre equip tècnic prové de les principals institucions de recerca nacionals i us pot proporcionar solucions de materials més professionals.

Els avantatges energètics de VET inclouen:
• Fàbrica pròpia i laboratori professional;
• Nivells de puresa i qualitat líders en la indústria;
• Preu competitiu i termini de lliurament ràpid;
• Múltiples associacions industrials a tot el món;

Us convidem a visitar la nostra fàbrica i laboratori en qualsevol moment!