Pièce demi-lune en graphite revêtue de SiC pour four épitaxial en carbure de silicium

Brève description :

VET Energy est un fabricant et fournisseur professionnel de composants de base pour fours épitaxiaux en carbure de silicium. Notre pièce demi-lune en graphite revêtue de SiC utilise un graphite haute pureté associé à une technologie de revêtement CVD avancée. Elle est conçue pour les environnements épitaxiaux à haute température et hautement corrosifs. Le graphite haute pureté confère au composant une excellente résistance aux hautes températures (> 1600 °C) et une excellente stabilité thermique, garantissant ainsi l'uniformité du champ thermique. Le revêtement CVD forme une couche protectrice dense à la surface grâce à la technologie CVD, améliorant considérablement les propriétés anti-oxydation et anti-gravure, et allongeant la durée de vie de plus de trois fois.

Matériel:Graphite de haute pureté

Purification:＜5 ppm

Revêtement:CVD-SiC ou CVD-TaC

Personnalisation :Four de marque ou OEM

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Détails du produit

Étiquettes de produit

Pièce demi-lune en graphite revêtue de SiCIl s'agit d'un composant essentiel utilisé dans les procédés de fabrication des semi-conducteurs, notamment pour les équipements épitaxiaux SiC. Grâce à notre technologie brevetée, nous produisons des pièces en demi-lune d'une pureté extrêmement élevée, d'une excellente uniformité de revêtement et d'une excellente durée de vie, ainsi que d'une résistance chimique et d'une stabilité thermique élevées.

Matériau de base : graphite de haute pureté
Exigences de pureté :teneur en carbone ≥ 99,99 %, teneur en cendres ≤ 5 ppm, pour garantir qu'aucune impureté ne précipite pour contaminer la couche épitaxiale à haute température.
Avantages en termes de performances :
Haute conductivité thermique :La conductivité thermique à température ambiante atteint 150 W/(m・K), ce qui est proche du niveau du cuivre et peut transférer rapidement la chaleur.
Faible coefficient de dilatation :5×10^-6/℃ (25-1000℃), correspondant au substrat en carbure de silicium (4,2×10^-6/℃), réduisant la fissuration du revêtement causée par le stress thermique.
Précision du traitement :Une tolérance dimensionnelle de ±0,05 mm est obtenue grâce à l'usinage CNC pour assurer l'étanchéité de la chambre.

Applications différenciées du CVD SiC et du CVD TaC

Revêtement	Processus	Comparaison	Application typique
CVD-SiC	Température : 1000-1200℃Pression : 10-100 Torr	Dureté HV2500, épaisseur 50-100 um, excellente résistance à l'oxydation (stable en dessous de 1600 ℃)	Fours épitaxiaux universels, adaptés aux atmosphères conventionnelles telles que l'hydrogène et le silane
CVD-TaC	Température : 1600-1800℃Pression : 1-10 Torr	Dureté HV3000, épaisseur 20-50um, extrêmement résistant à la corrosion (peut supporter des gaz corrosifs tels que HCl, NH₃, etc.)	Environnements hautement corrosifs (tels que les équipements d'épitaxie et de gravure GaN) ou procédés spéciaux nécessitant des températures ultra-élevées de 2600°C

Contrôle de qualité

Épaisseur du revêtement : jauge d'épaisseur laser (précision ±1 um) ou analyse transversale SEM.
Résistance de liaison : test de rayure (charge critique > 50N) ou test par ultrasons (vitesse du son > 5000m/s).
Résistance à la corrosion : taux de perte de masse (< 0,1 mg/cm²・h) testé en atmosphère HCl (5 vol%, 1600℃).

VET Energy est un fabricant professionnel axé sur la R&D et la production de matériaux avancés haut de gamme tels que le graphite, le carbure de silicium, le quartz, ainsi que le traitement des matériaux comme le revêtement SiC, le revêtement TaC, le revêtement en carbone vitreux, le revêtement en carbone pyrolytique, etc. Les produits sont largement utilisés dans le photovoltaïque, les semi-conducteurs, les nouvelles énergies, la métallurgie, etc.

Notre équipe technique est issue des meilleures institutions de recherche nationales et peut vous fournir des solutions matérielles plus professionnelles.

Les avantages de VET Energy comprennent :
• Propre usine et laboratoire professionnel ;
• Niveaux de pureté et de qualité à la pointe de l’industrie ;
• Prix compétitif et délai de livraison rapide ;
• Partenariats industriels multiples à travers le monde ;

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