SiC жабыны бар графит жарты ай бөлігіжартылай өткізгіш өндіріс процестерінде, әсіресе SiC эпитаксиалды жабдықтарында қолданылатын негізгі компонент болып табылады. Біз өте жоғары тазалыққа, жақсы жабын біркелкілігіне және тамаша қызмет ету мерзіміне, сондай-ақ жоғары химиялық төзімділік пен термиялық тұрақтылық қасиеттеріне ие жарты ай бөлігін жасау үшін патенттелген технологиямызды пайдаланамыз.
Негізгі материал: жоғары тазалықтағы графит
Тазалық талаптары:көміртегі мөлшері ≥99,99%, күл мөлшері ≤5ppm, бұл жоғары температурада эпитаксиалды қабатты ластайтын қоспалардың тұнбаға түсуіне жол бермейді.
Өнімділік артықшылықтары:
Жоғары жылу өткізгіштік:Бөлме температурасындағы жылу өткізгіштік 150 Вт/(м・К) жетеді, бұл мыс деңгейіне жақын және жылуды тез өткізе алады.
Төмен кеңею коэффициенті:5×10-6/℃ (25-1000℃), кремний карбидінің негізіне сәйкес келеді (4.2×10-6/℃), термиялық кернеуден туындаған жабынның жарылуын азайтады.
Өңдеу дәлдігі:Камераның тығыздалуын қамтамасыз ету үшін CNC өңдеу арқылы ±0,05 мм өлшемді төзімділікке қол жеткізіледі.
CVD SiC және CVD TaC дифференциалданған қолданылуы
| Қаптау | Процесс | Салыстыру | Әдеттегі қолданылуы |
| CVD-SiC | Температура: 1000-1200℃ Қысым: 10-100 Торр | Қаттылығы HV2500, қалыңдығы 50-100 мкм, тотығуға төзімділігі тамаша (1600℃ төмен тұрақты) | Сутегі және силан сияқты дәстүрлі атмосфераларға жарамды әмбебап эпитаксиалды пештер |
| CVD-TaC | Температура: 1600-1800℃ Қысым: 1-10 Торр | Қаттылығы HV3000, қалыңдығы 20-50 мкм, коррозияға өте төзімді (HCl, NH₃ және т.б. сияқты коррозиялық газдарға төтеп бере алады) | Жоғары коррозиялық орталар (мысалы, GaN эпитаксисі және өңдеу жабдықтары) немесе 2600°C аса жоғары температураны қажет ететін арнайы процестер |
Сапаны тексеру
Қаптама қалыңдығы: лазерлік қалыңдық өлшегіш (дәлдігі ±1 мкм) немесе SEM көлденең қимасын талдау.
Байланыс беріктігі: сызат сынағы (сыни жүктеме > 50Н) немесе ультрадыбыстық сынақ (дыбыс жылдамдығы > 5000 м/с).
Коррозияға төзімділік: масса жоғалту жылдамдығы (<0,1 мг/см²·сағ) HCl атмосферасында (5 көлем%, 1600℃) сыналды.
VET Energy - графит, кремний карбиді, кварц сияқты жоғары сапалы озық материалдарды зерттеу және әзірлеу, сондай-ақ SiC жабыны, TaC жабыны, шыны көміртекті жабыны, пиролитикалық көміртекті жабыны және т.б. сияқты материалдарды өңдеуге маманданған кәсіби өндіруші. Өнімдер фотоэлектрлік, жартылай өткізгіштік, жаңа энергетика, металлургия және т.б. салаларда кеңінен қолданылады.
Біздің техникалық командамыз отандық жетекші ғылыми-зерттеу институттарынан келеді, сіз үшін кәсіби материалдық шешімдер ұсына алады.
VET Energy артықшылықтары мыналарды қамтиды:
• Жеке зауыт және кәсіби зертхана;
• Саладағы жетекші тазалық деңгейі мен сапасы;
• Бәсекеге қабілетті баға және жылдам жеткізу уақыты;
• Әлем бойынша көптеген салалық серіктестіктер;
Сізді кез келген уақытта біздің зауыт пен зертханаға келуге шақырамыз!
