Кремний карбиді эпитаксиалды пешке арналған SiC қапталған графит жарты ай бөлігі

Қысқаша сипаттама:

VET Energy - кремний карбидінің эпитаксиалды пештерінің негізгі компоненттерінің кәсіби өндірушісі және жеткізушісі. Біздің SiC қапталған графит жарты ай бөлігі CVD жабынының озық технологиясымен біріктірілген жоғары таза графитті пайдаланады. Ол жоғары температура және жоғары коррозиялық эпитаксиалды орталарға арналған. Жоғары таза графит құрамдас бөлікке тамаша жоғары температураға төзімділік (>1600℃) және термиялық тұрақтылықты береді, бұл термиялық өрістің біркелкілігін қамтамасыз етеді; CVD жабыны CVD технологиясы арқылы бетінде тығыз қорғаныш қабатын қалыптастырады, тотығуға қарсы және қышымаға қарсы қасиеттерін айтарлықтай жақсартады және қызмет ету мерзімін 3 еседен астам ұзартады.

Материал:Тазалығы жоғары графит

Тазарту:＜5 бет/мин

Қаптау:CVD-SiC немесе CVD-TaC

Баптау:Бренд пеші немесе OEM

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз PDF ретінде жүктеп алыңыз

Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

SiC қапталған графит жарты ай бөлігіжартылай өткізгішті өндіру процестерінде, әсіресе SiC эпитаксиалды жабдық үшін қолданылатын негізгі компонент болып табылады. Біз патенттелген технологиямызды өте жоғары тазалықпен, жақсы жабын біркелкілігімен және тамаша қызмет ету мерзімімен, сондай-ақ жоғары химиялық төзімділік пен термиялық тұрақтылық қасиеттерімен жарты ай бөлігін жасау үшін қолданамыз.

Негізгі материал: жоғары таза графит
Тазалық талаптары:көміртегі мөлшері ≥99,99%, күл мөлшері ≤5ppm, жоғары температурада эпитаксиалды қабатты ластайтын қоспалардың тұнбасын қамтамасыз ету.
Өнімділік артықшылықтары:
Жоғары жылу өткізгіштік:Бөлме температурасындағы жылу өткізгіштік 150 Вт/(м・К) жетеді, бұл мыс деңгейіне жақын және жылуды тез тасымалдай алады.
Төмен кеңею коэффициенті:5×10^-6/℃ (25-1000℃), кремний карбиді субстратына сәйкес келеді (4,2×10)^-6/℃), термиялық кернеуден туындаған жабынның жарылуын азайту.
Өңдеу дәлдігі:Камераның тығыздалуын қамтамасыз ету үшін CNC өңдеу арқылы ±0,05 мм өлшемді төзімділікке қол жеткізіледі.

CVD SiC және CVD TaC дифференциалды қолданулары

Қаптау	Процесс	Салыстыру	Типтік қолдану
CVD-SiC	Температура: 1000-1200℃Қысым: 10-100 Торр	Қаттылық HV2500, қалыңдығы 50-100um, тамаша тотығуға төзімділік (1600℃ төмен тұрақты)	Сутегі және силан сияқты кәдімгі атмосфераға жарамды әмбебап эпитаксиалды пештер
CVD-TaC	Температура: 1600-1800℃Қысым: 1-10 Торр	Қаттылық HV3000, қалыңдығы 20-50um, коррозияға өте төзімді (HCl, NH₃ және т.б. сияқты коррозиялық газдарға төтеп бере алады)	Жоғары коррозиялық орталар (мысалы, GaN эпитаксисі және сызу жабдығы) немесе 2600°C аса жоғары температураны қажет ететін арнайы процестер

Сапаны тексеру

Қаптау қалыңдығы: лазерлік қалыңдығын өлшейтін құрал (дәлдік ±1um) немесе SEM көлденең қимасының талдауы.
Байланыс күші: сызат сынағы (критикалық жүктеме > 50Н) немесе ультрадыбыстық сынақ (дыбыс жылдамдығы > 5000м/с).
Коррозияға төзімділік: массалық жоғалту жылдамдығы (<0,1 мг/см²・сағ) HCl атмосферасында сыналған (5 көлем %, 1600℃).

VET Energy – графит, кремний карбиді, кварц сияқты жоғары сапалы озық материалдарды, сондай-ақ SiC жабыны, TaC жабыны, шыны тәрізді көміртекті жабын, пиролитикалық көміртекті жабын және т.б. сияқты материалдарды өңдеуге және ғылыми-зерттеу жұмыстарына және өндіруге бағытталған кәсіби өндіруші. Өнімдер фотоэлектр, жартылай өткізгіш, жаңа энергетика, металлургия салаларында кеңінен қолданылады.

Біздің техникалық команда отандық жетекші ғылыми-зерттеу институттарынан келеді, сізге кәсіби материалды шешімдерді ұсына алады.

VET Energy артықшылықтары мыналарды қамтиды:
• Жеке зауыт және кәсіби зертхана;
• Салалық жетекші тазалық деңгейі мен сапасы;
• Бәсекеге қабілетті баға және жылдам жеткізу уақыты;
• Дүние жүзіндегі көптеген салалық серіктестіктер;

Біз сізді кез келген уақытта біздің зауытқа және зертханаға келуге шақырамыз!