एसआयसी लेपित ग्राफाईट अर्धचंद्राकृती भागसेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेमध्ये, विशेषतः SiC एपिटॅक्सियल उपकरणांसाठी वापरला जाणारा हा एक महत्त्वाचा घटक आहे. आम्ही आमच्या पेटंट केलेल्या तंत्रज्ञानाचा वापर करून अत्यंत उच्च शुद्धता, उत्तम कोटिंग एकसमानता आणि उत्कृष्ट सेवा आयुष्य असलेला, तसेच उच्च रासायनिक प्रतिकारशक्ती आणि औष्णिक स्थिरता गुणधर्म असलेला हाफमून भाग बनवतो.
मूळ सामग्री: उच्च-शुद्धता ग्रॅफाइट
शुद्धतेच्या आवश्यकता:कार्बनचे प्रमाण ≥९९.९९%, राखेचे प्रमाण ≤५ पीपीएम, जेणेकरून उच्च तापमानात एपिटॅक्सियल थराला दूषित करण्यासाठी कोणत्याही अशुद्धींचे अवक्षेपण होणार नाही.
कार्यक्षमतेचे फायदे:
उच्च औष्णिक वाहकता:सामान्य तापमानावर औष्णिक वाहकता 150W/(m・K) पर्यंत पोहोचते, जी तांब्याच्या पातळीच्या जवळपास आहे आणि उष्णता वेगाने हस्तांतरित करू शकते.
कमी प्रसरण गुणांक:५×१०-6/℃ (25-1000℃), सिलिकॉन कार्बाइड सबस्ट्रेटशी जुळणारे (4.2×10-6/℃), उष्णतेच्या ताणामुळे होणारे कोटिंगचे तडे जाणे कमी करते.
प्रक्रिया अचूकता:चेंबरचे सीलिंग सुनिश्चित करण्यासाठी सीएनसी मशीनिंगद्वारे ±0.05 मिमीची आयामी सहनशीलता साधली जाते.
CVD SiC आणि CVD TaC चे भिन्न अनुप्रयोग
| कोटिंग | प्रक्रिया | तुलना | ठराविक अनुप्रयोग |
| सीव्हीडी-एसआयसी | तापमान: १०००-१२००℃ दाब: १०-१०० टॉर | कठोरता HV2500, जाडी 50-100um, उत्कृष्ट ऑक्सिडेशन प्रतिरोध (1600℃ च्या खाली स्थिर) | हायड्रोजन आणि सिलेन सारख्या पारंपरिक वातावरणासाठी योग्य असलेल्या सार्वत्रिक एपिटॅक्सियल भट्ट्या. |
| सीव्हीडी-टॅक | तापमान: १६००-१८००℃ दाब: १-१० टॉर | कठोरता HV3000, जाडी 20-50um, अत्यंत क्षरण-प्रतिरोधक (HCl, NH₃, इत्यादी क्षरणकारी वायूंचा सामना करू शकते) | अत्यंत क्षरणकारी वातावरण (जसे की GaN एपिटॅक्सी आणि एचिंग उपकरणे), किंवा २६००°C इतक्या अतिउच्च तापमानाची आवश्यकता असलेल्या विशेष प्रक्रिया. |
गुणवत्ता तपासणी
कोटिंगची जाडी: लेझर थिकनेस गेज (अचूकता ±1um) किंवा SEM क्रॉस-सेक्शनल विश्लेषण.
बंध सामर्थ्य: स्क्रॅच चाचणी (क्रिटिकल लोड > 50N) किंवा अल्ट्रासोनिक चाचणी (ध्वनी वेग > 5000m/s).
क्षरण प्रतिरोध: HCl वातावरणात (5 व्हॉल्यूम%, 1600℃) चाचणी केलेला वस्तुमान घट दर (<0.1 mg/cm²・h).
व्हीईटी एनर्जी ही एक व्यावसायिक उत्पादक कंपनी आहे, जी ग्रॅफाइट, सिलिकॉन कार्बाइड, क्वार्ट्ज यांसारख्या उच्च-स्तरीय प्रगत सामग्रीच्या संशोधन आणि विकास (R&D) व उत्पादनावर, तसेच एसआयसी कोटिंग, टॅक कोटिंग, ग्लासी कार्बन कोटिंग, पायरोलिटिक कार्बन कोटिंग इत्यादींसारख्या सामग्री प्रक्रियांवर लक्ष केंद्रित करते. या उत्पादनांचा वापर फोटोव्होल्टेइक, सेमीकंडक्टर, नवीन ऊर्जा, धातुशास्त्र इत्यादी क्षेत्रांमध्ये मोठ्या प्रमाणावर केला जातो.
आमची तांत्रिक टीम देशातील नामांकित संशोधन संस्थांमधून आलेली असून, ती तुम्हाला अधिक व्यावसायिक सामग्रीचे उपाय देऊ शकते.
व्हीईटी एनर्जीच्या फायद्यांमध्ये खालील गोष्टींचा समावेश आहे:
• स्वतःचा कारखाना आणि व्यावसायिक प्रयोगशाळा;
• उद्योगातील अग्रगण्य शुद्धतेची पातळी आणि गुणवत्ता;
• स्पर्धात्मक किंमत आणि जलद वितरण वेळ;
• जगभरातील अनेक औद्योगिक भागीदारी;
आमच्या कारखान्याला आणि प्रयोगशाळेला तुम्ही कधीही भेट देऊ शकता!
