ฮีตเตอร์เซรามิกแบบแผ่นบาง AlN อลูมินา
ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ แผ่นเวเฟอร์จำเป็นต้องผ่านกระบวนการต่างๆ เช่น การตกตะกอนฟิล์มบาง การกัดเซาะ เป็นต้น ในขั้นตอนเหล่านี้ แผ่นเวเฟอร์จำเป็นต้องได้รับความร้อนถึงอุณหภูมิที่กำหนด และมีข้อกำหนดที่เข้มงวดสำหรับอุณหภูมิ เนื่องจากความสม่ำเสมอของอุณหภูมิมีผลกระทบอย่างมากต่อผลผลิตของผลิตภัณฑ์ และส่วนประกอบด้านความร้อนจึงเป็นสิ่งจำเป็นอย่างยิ่ง
เครื่องทำความร้อนเซรามิกชิ้นส่วนเหล่านี้ถูกนำไปใช้โดยตรงในห้องกระบวนการและสัมผัสกับแผ่นเวเฟอร์โดยตรง นอกจากจะช่วยพยุงแผ่นเวเฟอร์แล้ว ยังช่วยให้แผ่นเวเฟอร์ได้รับอุณหภูมิกระบวนการที่คงที่และสม่ำเสมอ จึงเป็นส่วนประกอบสำคัญในอุปกรณ์การตกตะกอนฟิล์มบางของสารกึ่งตัวนำ!
ฮีตเตอร์เซรามิกประกอบด้วยฐานเซรามิกที่รองรับแผ่นเวเฟอร์ และตัวรองรับทรงกระบอกด้านหลังที่ช่วยค้ำยัน นอกจากองค์ประกอบความต้านทาน (ชั้นความร้อน) สำหรับให้ความร้อนแล้ว ยังมีอิเล็กโทรดคลื่นความถี่วิทยุ (ชั้น RF) อยู่ภายในหรือบนพื้นผิวของฐานเซรามิกด้วย เพื่อให้ความร้อนและความเย็นเกิดขึ้นอย่างรวดเร็ว ความหนาของฐานเซรามิกควรบาง แต่ถ้าบางเกินไปก็จะลดความแข็งแรงลง
โดยทั่วไปแล้ว ฐานรองของฮีตเตอร์เซรามิกทำจากวัสดุเซรามิกที่มีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนใกล้เคียงกับฐาน ฮีตเตอร์ใช้โครงสร้างพิเศษที่มีข้อต่อเพลาที่ด้านล่างเพื่อป้องกันขั้วต่อและสายไฟจากผลกระทบของพลาสมาและก๊าซเคมีที่มีฤทธิ์กัดกร่อน ฐานรองมีท่อทางเข้าและทางออกของก๊าซถ่ายเทความร้อนเพื่อให้แน่ใจว่าอุณหภูมิของฮีตเตอร์สม่ำเสมอ ฐานและฐานรองยึดติดกันด้วยชั้นยึดติดทางเคมี
ฮีตเตอร์เซรามิกสามารถทำจากเซรามิกหลายชนิด เช่น อะลูมิเนียมไนไตรด์ (AlN), ซิลิคอนไนไตรด์ (Si3N4) และอะลูมินา (Al2O3) ในบรรดาวัสดุเหล่านี้ AlN เป็นตัวเลือกที่ดีที่สุดสำหรับฮีตเตอร์เซรามิก เมื่อเปรียบเทียบกับวัสดุอื่นๆ เซรามิก AlN ของ VET Energy มีคุณสมบัติดังต่อไปนี้:
(1) การนำความร้อนที่ดี
(2) จับคู่ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนกับวัสดุซิลิคอนเซมิคอนดักเตอร์
(3) คุณสมบัติเชิงกลที่ดี ความต้านทานการสึกหรอที่ดีเยี่ยม และคุณสมบัติเชิงกลโดยรวมดีกว่าเบริลเลียมออกไซด์และเทียบเท่ากับอะลูมิเนียมออกไซด์
(4) คุณสมบัติทางไฟฟ้าโดยรวมที่ยอดเยี่ยม ฉนวนไฟฟ้าที่ดีเยี่ยม และการสูญเสียไดอิเล็กตริกต่ำ
(5) ปลอดสารพิษและเป็นมิตรต่อสิ่งแวดล้อม
เอกสารข้อมูลจำเพาะของวัสดุเซรามิก
| รายการ | อลูมินา 95% | อลูมินา 99% | เซอร์โคเนีย | ซิลิคอนคาร์ไบด์ | ซิลิคอนNขี่ | อะลูมิเนียมNขี่ |
| สี | สีขาว | สีเหลืองอ่อน | สีขาว | สีดำ | สีดำ | สีเทา |
| ความหนาแน่น (กรัม/ซม³) | 3.7 กรัม/ซม³ | 3.9 กรัม/ซม³ | 6.02 กรัม/ซม³ | 3.2 กรัม/ซม³ | 3.25 กรัม/ซม³ | 3.2 กรัม/ซม³ |
| การดูดซับน้ำ | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| ความแข็ง (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| ความแข็งแรงดัดงอ (MPa) | 300 เมกะปาสคาล | 400 เมกะปาสคาล | 1100 เมกะปาสคาล | 450 เมกะปาสคาล | 800 เมกะปาสคาล | 310 เมกะปาสคาล |
| ความแข็งแรงรับแรงอัด (MPa) | 2500 เมกะปาสคาล | 2800 เมกะปาสคาล | 3600 เมกะปาสคาล | 2000 เมกะปาสคาล | 2600 เมกะปาสคาล | - |
| โมดูลัสความยืดหยุ่นของยัง | 300 GPa | 300 GPa | 320 GPa | 450 GPa | 290 GPa | 310~350 GPa |
| อัตราส่วนปัวซง | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| การนำความร้อน | 20 วัตต์/เมตร°C | 32 วัตต์/เมตร°C | 3 วัตต์/เมตร°C | 50 วัตต์/เมตร°C | 25 วัตต์/เมตร°C | 150 วัตต์/เมตร°C |
| ความแข็งแรงของไดอิเล็กทริก | 14KV/มม. | 14KV/มม. | 14KV/มม. | 14KV/มม. | 14KV/มม. | 14KV/มม. |
| ความต้านทานปริมาตร (25℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
VET Energy เป็นผู้ผลิตมืออาชีพที่มุ่งเน้นการวิจัยและพัฒนาและการผลิตวัสดุขั้นสูงระดับไฮเอนด์ เช่น กราไฟต์ ซิลิคอนคาร์ไบด์ ควอตซ์ รวมถึงการปรับปรุงคุณภาพวัสดุ เช่น การเคลือบ SiC การเคลือบ TaC การเคลือบคาร์บอนแก้ว การเคลือบคาร์บอนไพโรไลติก เป็นต้น ผลิตภัณฑ์เหล่านี้ถูกนำไปใช้อย่างกว้างขวางในอุตสาหกรรมพลังงานแสงอาทิตย์ เซมิคอนดักเตอร์ พลังงานใหม่ โลหะวิทยา และอื่นๆ
ทีมงานด้านเทคนิคของเรามาจากสถาบันวิจัยชั้นนำในประเทศ สามารถนำเสนอโซลูชันด้านวัสดุที่เป็นมืออาชีพมากยิ่งขึ้นให้แก่คุณได้
ข้อดีของ VET Energy ได้แก่:
• มีโรงงานและห้องปฏิบัติการระดับมืออาชีพเป็นของตนเอง
• ระดับความบริสุทธิ์และคุณภาพที่เป็นเลิศในระดับชั้นนำของอุตสาหกรรม
• ราคาที่แข่งขันได้และเวลาจัดส่งที่รวดเร็ว
• มีความร่วมมือกับภาคอุตสาหกรรมหลากหลายแห่งทั่วโลก
เรายินดีต้อนรับท่านเข้าเยี่ยมชมโรงงานและห้องปฏิบัติการของเราได้ทุกเมื่อ!
