เครื่องทำความร้อนเวเฟอร์เซรามิก องค์ประกอบความร้อนอะลูมินา AlN
ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เวเฟอร์จำเป็นต้องได้รับการประมวลผลในกระบวนการต่างๆ เช่น การสะสมฟิล์มบาง การแกะสลัก เป็นต้น ในลิงก์เหล่านี้ เวเฟอร์จะต้องได้รับการให้ความร้อนจนถึงอุณหภูมิที่กำหนด และมีข้อกำหนดที่เข้มงวดสำหรับอุณหภูมิ เนื่องจากความสม่ำเสมอของอุณหภูมิมีผลกระทบอย่างสำคัญต่อผลผลิตของผลิตภัณฑ์ และส่วนประกอบที่ให้ความร้อนมีความจำเป็น
เครื่องทำความร้อนแบบเซรามิคใช้กับห้องกระบวนการโดยตรงและสัมผัสกับแผ่นเวเฟอร์โดยตรง ไม่เพียงแค่บรรจุแผ่นเวเฟอร์เท่านั้น แต่ยังช่วยให้มั่นใจได้ว่าแผ่นเวเฟอร์จะได้รับอุณหภูมิกระบวนการที่เสถียรและสม่ำเสมออีกด้วย แผ่นเวเฟอร์เป็นส่วนประกอบสำคัญในอุปกรณ์การสะสมแผ่นฟิล์มบางเซมิคอนดักเตอร์!
เครื่องทำความร้อนเซรามิกประกอบด้วยฐานเซรามิกที่รองรับแผ่นเวเฟอร์และตัวรองรับทรงกระบอกที่ด้านหลังซึ่งรองรับแผ่นเวเฟอร์ นอกจากองค์ประกอบความต้านทาน (ชั้นทำความร้อน) สำหรับทำความร้อนแล้ว ยังมีอิเล็กโทรดความถี่วิทยุ (ชั้น RF) อยู่ภายในหรือบนพื้นผิวของฐานเซรามิก เพื่อให้ทำความร้อนและทำความเย็นได้อย่างรวดเร็ว ความหนาของฐานเซรามิกควรบาง แต่หากบางเกินไปก็จะลดความแข็งลงเช่นกัน
ส่วนรองรับของเครื่องทำความร้อนเซรามิกโดยทั่วไปทำจากวัสดุเซรามิกที่มีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อนใกล้เคียงกับฐาน เครื่องทำความร้อนใช้โครงสร้างที่เป็นเอกลักษณ์ของข้อต่อเพลาด้านล่างเพื่อป้องกันขั้วต่อและสายไฟจากผลกระทบของพลาสมาและก๊าซเคมีที่กัดกร่อน ส่วนรองรับมีท่อทางเข้าและทางออกของก๊าซถ่ายเทความร้อนเพื่อให้แน่ใจว่าอุณหภูมิของเครื่องทำความร้อนสม่ำเสมอ ฐานและส่วนรองรับได้รับการเชื่อมด้วยชั้นการยึดด้วยสารเคมี
เครื่องทำความร้อนเซรามิกสามารถทำจากเซรามิก เช่น อะลูมิเนียมไนไตรด์ (AlN) ซิลิกอนไนไตรด์ (Si3N4) และอะลูมินา (Al2O3) โดย AlN ถือเป็นตัวเลือกที่ดีที่สุดสำหรับเครื่องทำความร้อนเซรามิก เมื่อเปรียบเทียบกับวัสดุอื่นแล้ว เซรามิก AlN ของ VET Energy มีคุณสมบัติดังต่อไปนี้:
(1) มีการนำความร้อนที่ดี
(2) จับคู่ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อนกับวัสดุซิลิกอนเซมิคอนดักเตอร์
(3) คุณสมบัติเชิงกลที่ดี ทนทานต่อการสึกหรอดีเยี่ยม และคุณสมบัติเชิงกลที่ครอบคลุมดีกว่าเบริลเลียมออกไซด์และเทียบเท่ากับอะลูมิเนียมออกไซด์
(4) คุณสมบัติไฟฟ้าโดยรวมที่ยอดเยี่ยม ฉนวนไฟฟ้าที่ยอดเยี่ยม และการสูญเสียไฟฟ้าต่ำ
(5) ปลอดสารพิษและเป็นมิตรต่อสิ่งแวดล้อม
แผ่นข้อมูลวัสดุเซรามิก
| รายการ | อะลูมินา 95% | อะลูมินา 99% | เซอร์โคเนีย | ซิลิกอนคาร์ไบด์ | ซิลิคอนNไอไทรด์ | อลูมิเนียมNไอไทรด์ |
| สี | สีขาว | สีเหลืองอ่อน | สีขาว | สีดำ | สีดำ | สีเทา |
| ความหนาแน่น (g/cm3) | 3.7ก./ซม3 | 3.9ก./ซม3 | 6.02ก/ซม3 | 3.2ก/ซม3 | 3.25ก/ซม3 | 3.2ก/ซม3 |
| การดูดซึมน้ำ | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| ความแข็ง (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| ความแข็งแรงในการดัดงอ (MPa) | 300 เมกะปาสคาล | 400 เมกะปาสคาล | 1100 เมกะปาสคาล | 450 เมกะปาสคาล | 800เมกะปาสคาล | 310 เมกะปาสคาล |
| ความแข็งแรงอัด (MPa) | 2500 เมกะปาสคาล | 2800 เมกะปาสคาล | 3600MPa | 2000 เมกะปาสคาล | 2600 เมกะปาสคาล | - |
| โมดูลัสความยืดหยุ่นของยัง | 300GPa | 300GPa | 320 เกรดเฉลี่ย | 450GPa | 290GPa | 310~350 จีพีเอ |
| อัตราส่วนของปัวซอง | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| การนำความร้อน | 20 วัตต์/ม.°C | 32วัตต์/ม.°C | 3วัตต์/ม.°ซ | 50 วัตต์/ม.°C | 25 วัตต์/ม.°C | 150 วัตต์/ม. องศาเซลเซียส |
| ความแข็งแรงของฉนวนไฟฟ้า | 14KV/มม. | 14KV/มม. | 14KV/มม. | 14KV/มม. | 14KV/มม. | 14KV/มม. |
| ความต้านทานปริมาตร (25℃) | >1014Ω·ซม. | >1014Ω·ซม. | >1014Ω·ซม. | >105Ω·ซม. | >1014Ω·ซม. | >1014Ω·ซม. |
VET Energy เป็นผู้ผลิตระดับมืออาชีพที่เน้นด้านการวิจัยและพัฒนา (R&D) และการผลิตวัสดุขั้นสูง เช่น กราไฟท์ ซิลิกอนคาร์ไบด์ ควอตซ์ รวมถึงการปรับปรุงคุณภาพวัสดุ เช่น การเคลือบ SiC การเคลือบ TaC การเคลือบคาร์บอนแก้ว การเคลือบคาร์บอนไพโรไลติก เป็นต้น ผลิตภัณฑ์เหล่านี้ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมโซลาร์เซลล์ เซมิคอนดักเตอร์ พลังงานใหม่ โลหะวิทยา เป็นต้น
ทีมเทคนิคของเรามาจากสถาบันวิจัยในประเทศชั้นนำ และสามารถมอบโซลูชันวัสดุระดับมืออาชีพให้กับคุณได้
ข้อดีของ VET Energy ได้แก่:
• โรงงานของตนเองและห้องปฏิบัติการมืออาชีพ
• ระดับความบริสุทธิ์และคุณภาพชั้นนำของอุตสาหกรรม
• ราคาที่แข่งขันได้ & เวลาจัดส่งที่รวดเร็ว
• ความร่วมมือระหว่างอุตสาหกรรมต่างๆ ทั่วโลก
เรายินดีต้อนรับคุณเข้าเยี่ยมชมโรงงานและห้องปฏิบัติการของเราได้ตลอดเวลา!
