SiC белән капланган графит ярым ай өлешеярымүткәргечләр җитештерү процессларында, бигрәк тә SiC эпитаксиаль җиһазлары өчен кулланыла торган төп компонент. Без патентланган технологиябезне кулланып, бик югары сафлыкка, яхшы каплау бер төрлелегенә һәм бик яхшы хезмәт итү вакытына, шулай ук югары химик каршылыкка һәм термик тотрыклылыкка ия булган ярым ай детальләрен ясыйбыз.
Төп материал: югары сафлыклы графит
Чисталык таләпләре:углерод күләме ≥99.99%, көл күләме ≤5ppm, югары температурада эпитаксиаль катламны пычрату өчен бернинди катнашмалар да утырмавын тәэмин итү өчен.
Эшчәнлек өстенлекләре:
Югары җылылык үткәрүчәнлеге:Бүлмә температурасында җылылык үткәрүчәнлеге 150 Вт/(м・К) га җитә, бу бакыр дәрәҗәсенә якын һәм җылылыкны тиз күчерә ала.
Түбән киңәю коэффициенты:5×10-6/℃ (25-1000℃), кремний карбиды субстратына туры килә (4.2×10-6/℃), термик стресс аркасында каплау ярылуын киметә.
Эшкәртү төгәллеге:Камераның герметиклыгын тәэмин итү өчен CNC эшкәртү аша ±0,05 мм үлчәмле толерантлыкка ирешелә.
CVD SiC һәм CVD TaC'ның дифференциаль кулланылышы
| Каплау | Процесс | Чагыштыру | Гадәти кулланылыш |
| CVD-SiC | Температура: 1000-1200℃ Басым: 10-100 Торр | Катылыгы HV2500, калынлыгы 50-100 мкм, оксидлашуга бик яхшы чыдамлы (1600℃ тан түбән тотрыклы) | Водород һәм силан кебек гадәти атмосфералар өчен яраклы универсаль эпитаксиаль мичләр |
| CVD-TaC | Температура: 1600-1800℃ Басым: 1-10 Торр | Катылыгы HV3000, калынлыгы 20-50 мкм, коррозиягә бик чыдам (HCl, NH₃ һ.б. кебек коррозияле газларга чыдам) | Югары коррозияле мохит (мәсәлән, GaN эпитаксисы һәм гравюра җиһазлары), яки 2600°C ультра югары температура таләп итүче махсус процесслар |
Сыйфат тикшерүе
Каплау калынлыгы: лазер калынлыгы үлчәгече (төгәллек ±1 мкм) яки SEM кисемтә анализы.
Бәйләнеш ныклыгы: тырналу сынауы (критик йөкләнеш > 50Н) яки ультратавыш сынауы (тавыш тизлеге > 5000 м/с).
Коррозиягә чыдамлык: масса югалту тизлеге (<0.1 мг/см²·сәг) HCl атмосферасында (5 күләм, 1600℃) сыналган.
VET Energy - графит, кремний карбиды, кварц кебек югары сыйфатлы алдынгы материалларны тикшеренү һәм эшләү, шулай ук SiC каплавы, TaC каплавы, пыяла углерод каплавы, пиролитик углерод каплавы һ.б. кебек материалларны эшкәртүгә юнәлтелгән профессиональ җитештерүче. Продукция фотоэлектрик, ярымүткәргеч, яңа энергетика, металлургия һ.б. өлкәләрдә киң кулланыла.
Безнең техник команда иң яхшы илкүләм тикшеренү институтларыннан килә, сезнең өчен профессиональрәк материал чишелешләре тәкъдим итә ала.
VET Energy өстенлекләре түбәндәгеләрне үз эченә ала:
• Үз заводы һәм профессиональ лабораториясе;
• Тармакта алдынгы сафлык дәрәҗәләре һәм сыйфаты;
• Конкурентлыкка сәләтле бәя һәм тиз китерү вакыты;
• Дөнья буйлап күпсанлы тармак партнерлыклары;
Сезне теләсә кайсы вакытта безнең заводка һәм лабораториягә килергә чакырабыз!
