Silikon karbid epitaksial pech uchun SiC qoplangan grafit yarim oy qismi

Qisqacha tavsif:

VET Energy - kremniy karbidli epitaksial pechlarning asosiy komponentlarini professional ishlab chiqaruvchi va yetkazib beruvchi. Bizning SiC qoplangan grafit yarim oy qismi ilg'or CVD qoplama texnologiyasi bilan birlashtirilgan yuqori toza grafitdan foydalanadi. U yuqori haroratli va yuqori korroziv epitaksial muhitlar uchun mo'ljallangan. Yuqori toza grafit komponentga yuqori haroratga mukammal qarshilik (> 1600 ℃) va termal barqarorlikni beradi, termal maydonning bir xilligini ta'minlaydi; CVD qoplamasi CVD texnologiyasi orqali sirtda zich himoya qatlami hosil qiladi, oksidlanishga qarshi va anti-etching xususiyatlarini sezilarli darajada yaxshilaydi va xizmat muddatini 3 barobardan ortiq uzaytiradi.

Material:Yuqori toza grafit

Tozalash:＜5 ppm

Qoplama:CVD-SiC yoki CVD-TaC

Moslashtirish:Brendli pech yoki OEM

Bizga elektron pochta xabarini yuboring PDF sifatida yuklab oling

Mahsulot detali

Mahsulot teglari

SiC qoplangan grafit yarim oy qismiyarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonlarida, ayniqsa SiC epitaksial uskunalari uchun ishlatiladigan asosiy komponent hisoblanadi. Biz patentlangan texnologiyamizdan yarim oy qismini juda yuqori tozaligi, yaxshi qoplama bir xilligi va mukammal xizmat muddati, shuningdek, yuqori kimyoviy qarshilik va termal barqarorlik xususiyatlariga ega qilish uchun foydalanamiz.

Asosiy material: yuqori toza grafit
Tozalik talablari:uglerod miqdori ≥99,99%, kul miqdori ≤5ppm, yuqori haroratlarda epitaksial qatlamni ifloslantirish uchun hech qanday aralashmalar cho'ktirilmasligini ta'minlash.
Ishlash afzalliklari:
Yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi:Xona haroratida issiqlik o'tkazuvchanligi 150 Vt / (m・K) ga etadi, bu mis darajasiga yaqin va issiqlikni tezda uzatishi mumkin.
Past kengayish koeffitsienti:5×10^-6/ ℃ (25-1000 ℃), kremniy karbid substratiga (4,2 × 10) mos keladi^-6/℃), termal stressdan kelib chiqqan qoplamaning yorilishini kamaytiradi.
Qayta ishlashning aniqligi:Kameraning muhrlanishini ta'minlash uchun CNC ishlov berish orqali ± 0,05 mm o'lchamli bardoshlik erishiladi.

CVD SiC va CVD TaC ning tabaqalashtirilgan ilovalari

Qoplama	Jarayon	Taqqoslash	Oddiy dastur
CVD-SiC	Harorat: 1000-1200℃Bosim: 10-100 Torr	Qattiqlik HV2500, qalinligi 50-100um, mukammal oksidlanish qarshiligi (1600 ℃ dan past barqaror)	Vodorod va silan kabi an'anaviy atmosferaga mos keladigan universal epitaksial pechlar
CVD-TaC	Harorat: 1600-1800℃Bosim: 1-10 Torr	Qattiqlik HV3000, qalinligi 20-50um, korroziyaga juda chidamli (HCl, NH₃ va boshqalar kabi korroziy gazlarga bardosh bera oladi)	Yuqori korroziv muhitlar (masalan, GaN epitaksisi va qirqish uskunalari) yoki 2600 ° C ultra yuqori haroratni talab qiladigan maxsus jarayonlar

Sifatni tekshirish

Qoplama qalinligi: lazer qalinligi o'lchagichi (aniqlik ± 1um) yoki SEM tasavvurlar tahlili.
Bog'lanish kuchi: chizish sinovi (kritik yuk > 50N) yoki ultratovush sinovi (tovush tezligi > 5000m/s).
Korroziyaga chidamlilik: HCl atmosferasida sinovdan o'tgan massa yo'qotish darajasi (<0,1 mg/sm²・h) (5 vol%, 1600 ℃).

VET Energy - grafit, kremniy karbid, kvarts kabi yuqori darajadagi ilg'or materiallarni Ar-ge va ishlab chiqarishga, shuningdek, SiC qoplamasi, TaC qoplamasi, shishasimon uglerod qoplamasi, pirolitik uglerod qoplamasi va boshqalar kabi materiallarni qayta ishlashga qaratilgan professional ishlab chiqaruvchi. Mahsulotlar fotovoltaik, yarimo'tkazgich, yangi energiya, metallurgiyada keng qo'llaniladi.

Bizning texnik guruhimiz eng yaxshi mahalliy tadqiqot institutlaridan keladi, siz uchun ko'proq professional moddiy echimlarni taqdim etishi mumkin.

VET Energy afzalliklari quyidagilarni o'z ichiga oladi:
• O'z zavodi va professional laboratoriyasi;
• Sanoatda yetakchi tozalik darajasi va sifati;
• Raqobatbardosh narx va Tez yetkazib berish muddati;
• Dunyo bo'ylab ko'plab sanoat hamkorliklari;

Istalgan vaqtda fabrikamiz va laboratoriyamizga tashrif buyurishingizni xush kelibsiz!