SiC bilan qoplangan grafit yarim oy qismiyarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish jarayonlarida, ayniqsa SiC epitaksial uskunalari uchun ishlatiladigan asosiy komponent hisoblanadi. Biz patentlangan texnologiyamizdan foydalanib, juda yuqori tozalik, yaxshi qoplama bir xilligi va a'lo xizmat muddati, shuningdek, yuqori kimyoviy qarshilik va termal barqarorlik xususiyatlariga ega yarim oy qismini ishlab chiqaramiz.
Asosiy material: yuqori tozalikdagi grafit
Poklik talablari:uglerod miqdori ≥99.99%, kul miqdori ≤5ppm, yuqori haroratlarda epitaksial qatlamni ifloslantiradigan hech qanday aralashmalar cho'kmasligini ta'minlash uchun.
Ishlash afzalliklari:
Yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi:Xona haroratidagi issiqlik o'tkazuvchanligi 150 Vt/(m・K) ga etadi, bu mis darajasiga yaqin va issiqlikni tezda o'tkaza oladi.
Past kengayish koeffitsienti:5×10-6/℃ (25-1000℃), kremniy karbid substratiga mos keladi (4.2 × 10-6/℃), termal stress tufayli qoplamaning yorilishini kamaytiradi.
Qayta ishlash aniqligi:Kameraning muhrlanishini ta'minlash uchun CNC ishlov berish orqali ±0,05 mm o'lchovli bardoshlik ta'minlanadi.
CVD SiC va CVD TaC ning differentsial qo'llanilishi
| Qoplama | Jarayon | Taqqoslash | Odatdagi dastur |
| CVD-SiC | Harorat: 1000-1200℃ Bosim: 10-100 Torr | Qattiqligi HV2500, qalinligi 50-100um, ajoyib oksidlanishga chidamlilik (1600 ℃ dan past barqaror) | Vodorod va silan kabi an'anaviy atmosferalar uchun mos bo'lgan universal epitaksial pechlar |
| CVD-TaC | Harorat: 1600-1800℃ Bosim: 1-10 Torr | Qattiqligi HV3000, qalinligi 20-50 um, juda korroziyaga chidamli (HCl, NH₃ va boshqalar kabi korroziyali gazlarga bardosh bera oladi) | Yuqori darajada korroziyali muhitlar (masalan, GaN epitaksiyasi va o'yib ishlov berish uskunalari) yoki 2600°C gacha bo'lgan juda yuqori haroratni talab qiladigan maxsus jarayonlar |
Sifat tekshiruvi
Qoplama qalinligi: lazer qalinligi o'lchagichi (aniqlik ± 1um) yoki SEM tasavvurlar tahlili.
Bog'lanish kuchi: tirnalish sinovi (kritik yuk > 50N) yoki ultratovushli sinov (tovush tezligi > 5000 m/s).
Korroziyaga chidamlilik: massa yo'qotish tezligi (<0.1 mg/sm²·soat) HCl atmosferasida sinovdan o'tkazildi (5 vol%, 1600℃).
VET Energy - grafit, kremniy karbidi, kvarts kabi yuqori darajadagi ilg'or materiallarni tadqiq qilish va ishlab chiqarishga, shuningdek, SiC qoplamasi, TaC qoplamasi, shishasimon uglerod qoplamasi, pirolitik uglerod qoplamasi va boshqalar kabi materiallarni qayta ishlashga ixtisoslashgan professional ishlab chiqaruvchi. Mahsulotlar fotovoltaik, yarimo'tkazgichlar, yangi energiya, metallurgiya va boshqa sohalarda keng qo'llaniladi.
Bizning texnik jamoamiz eng yaxshi mahalliy tadqiqot institutlaridan keladi, siz uchun yanada professional moddiy yechimlarni taqdim etishi mumkin.
VET Energy afzalliklari quyidagilarni o'z ichiga oladi:
• O'z zavodi va professional laboratoriyasi;
• Sanoatda yetakchi tozalik darajasi va sifati;
• Raqobatbardosh narx va tez yetkazib berish vaqti;
• Dunyo bo'ylab ko'plab sanoat hamkorligi;
Sizni istalgan vaqtda fabrikamiz va laboratoriyamizga tashrif buyurishingizni kutib qolamiz!
