SiC Coated Graphite Halfmoon Partគឺជាសមាសធាតុសំខាន់ដែលប្រើក្នុងដំណើរការផលិត semiconductor ជាពិសេសសម្រាប់ឧបករណ៍ SiC epitaxial ។ យើងប្រើប្រាស់បច្ចេកវិជ្ជាដែលមានប៉ាតង់របស់យើងដើម្បីធ្វើឱ្យផ្នែកពាក់កណ្តាលព្រះច័ន្ទមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ភាពដូចគ្នានៃថ្នាំកូតល្អ និងអាយុកាលសេវាកម្មដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ព្រមទាំងធន់នឹងសារធាតុគីមីខ្ពស់ និងលក្ខណៈសម្បត្តិស្ថេរភាពកម្ដៅ។
សម្ភារៈមូលដ្ឋាន: ក្រាហ្វិចដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។
តម្រូវការភាពបរិសុទ្ធ៖មាតិកាកាបូន≥99.99%, មាតិកាផេះ≤5ppm, ដើម្បីធានាថាមិនមានសារធាតុមិនបរិសុទ្ធត្រូវបាន precipitated ដើម្បីបំពុលស្រទាប់ epitaxial នៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
គុណសម្បត្តិនៃការអនុវត្ត៖
ចរន្តកំដៅខ្ពស់៖ចរន្តកំដៅនៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ឈានដល់ 150W/(m・K) ដែលនៅជិតកម្រិតទង់ដែង ហើយអាចផ្ទេរកំដៅបានយ៉ាងលឿន។
មេគុណពង្រីកទាប៖5 × 10-6/ ℃ (25-1000 ℃), ផ្គូផ្គងស្រទាប់ខាងក្រោមស៊ីលីកុន carbide (4.2 × 10-6/ ℃), កាត់បន្ថយការបំបែកនៃថ្នាំកូតដែលបណ្តាលមកពីភាពតានតឹងកម្ដៅ។
ភាពត្រឹមត្រូវនៃដំណើរការ៖ការអត់ធ្មត់វិមាត្រនៃ± 0.05mm ត្រូវបានសម្រេចតាមរយៈម៉ាស៊ីន CNC ដើម្បីធានាបាននូវការផ្សាភ្ជាប់នៃអង្គជំនុំជម្រះ។
កម្មវិធីផ្សេងគ្នានៃ CVD SiC និង CVD TaC
| ថ្នាំកូត | ដំណើរការ | ការប្រៀបធៀប | កម្មវិធីធម្មតា។ |
| CVD-SiC | សីតុណ្ហភាព: 1000-1200 ℃ សម្ពាធ: 10-100 Torr | ភាពរឹង HV2500, កម្រាស់ 50-100um, ធន់ទ្រាំនឹងអុកស៊ីតកម្មល្អ (មានស្ថេរភាពខាងក្រោម 1600 ℃) | ចង្រ្កានអេពីតាស៊ីលជាសកល ដែលសមរម្យសម្រាប់បរិយាកាសធម្មតាដូចជាអ៊ីដ្រូសែន និងស៊ីលីន |
| CVD-TaC | សីតុណ្ហភាព: 1600-1800 ℃ សម្ពាធ: 1-10 Torr | ភាពរឹង HV3000, កម្រាស់ 20-50um, ធន់នឹងច្រេះខ្លាំង (អាចទប់ទល់នឹងឧស្ម័នច្រេះដូចជា HCl, NH₃ ។ល។) | បរិស្ថានដែលមានការច្រេះខ្លាំង (ដូចជា GaN epitaxy និងឧបករណ៍ឆ្លាក់) ឬដំណើរការពិសេសដែលទាមទារឱ្យមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់បំផុតនៃ 2600°C |
ការត្រួតពិនិត្យគុណភាព
កម្រាស់ថ្នាំកូត៖ រង្វាស់កម្រាស់ឡាស៊ែរ (ភាពត្រឹមត្រូវ± 1um) ឬការវិភាគផ្នែកឆ្លងកាត់ SEM ។
កម្លាំងសញ្ញាប័ណ្ណ៖ ការធ្វើតេស្តកោស (បន្ទុកសំខាន់> 50N) ឬការធ្វើតេស្តអ៊ុលត្រាសោន (ល្បឿនសំឡេង> 5000m/s)។
ភាពធន់នឹងការច្រេះ៖ អត្រាបាត់បង់ម៉ាស (<0.1 mg/cm²・h) ត្រូវបានសាកល្បងក្នុងបរិយាកាស HCl (5 vol%, 1600 ℃)។
VET Energy គឺជាក្រុមហ៊ុនផលិតដែលមានជំនាញវិជ្ជាជីវៈផ្តោតលើ R&D និងការផលិតសម្ភារៈកម្រិតខ្ពស់ដូចជា graphite, silicon carbide, quartz ក៏ដូចជាការព្យាបាលសម្ភារៈដូចជា SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, etc. ផលិតផលត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុង photovoltaic, semiconductor, new energy, metalclurgy
ក្រុមបច្ចេកទេសរបស់យើងមកពីស្ថាប័នស្រាវជ្រាវក្នុងស្រុកកំពូល អាចផ្តល់នូវដំណោះស្រាយសម្ភារៈដែលមានជំនាញវិជ្ជាជីវៈបន្ថែមទៀតសម្រាប់អ្នក។
អត្ថប្រយោជន៍ VET Energy រួមមានៈ
• មានរោងចក្រផ្ទាល់ខ្លួន និងមន្ទីរពិសោធន៍វិជ្ជាជីវៈ។
• កម្រិតភាពបរិសុទ្ធ និងគុណភាពឈានមុខគេក្នុងឧស្សាហកម្ម។
•តម្លៃប្រកួតប្រជែង & ពេលវេលាដឹកជញ្ជូនលឿន;
• ភាពជាដៃគូឧស្សាហកម្មជាច្រើននៅទូទាំងពិភពលោក។
យើងស្វាគមន៍អ្នកមកទស្សនារោងចក្រ និងមន្ទីរពិសោធន៍របស់យើងគ្រប់ពេល!
