ផ្នែកពាក់កណ្តាលព្រះច័ន្ទក្រាហ្វីតស្រោបដោយ SiCគឺជាសមាសធាតុសំខាន់មួយដែលប្រើក្នុងដំណើរការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាពិសេសសម្រាប់ឧបករណ៍ SiC epitaxial។ យើងប្រើប្រាស់បច្ចេកវិទ្យាដែលមានប៉ាតង់របស់យើង ដើម្បីធ្វើឱ្យផ្នែកពាក់កណ្តាលព្រះច័ន្ទមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុត ឯកសណ្ឋានថ្នាំកូតល្អ និងអាយុកាលសេវាកម្មដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ក៏ដូចជាភាពធន់នឹងសារធាតុគីមីខ្ពស់ និងលក្ខណៈសម្បត្តិស្ថេរភាពកម្ដៅ។
សម្ភារៈមូលដ្ឋាន៖ ក្រាហ្វីតភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់
តម្រូវការសម្រាប់ភាពបរិសុទ្ធ៖មាតិកាកាបូន ≥99.99% មាតិកាផេះ ≤5ppm ដើម្បីធានាថាគ្មានភាពមិនបរិសុទ្ធណាមួយត្រូវបានធ្លាក់ចូលទៅក្នុងស្រទាប់ epitaxial នៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់នោះទេ។
គុណសម្បត្តិនៃការអនុវត្ត៖
ចរន្តកំដៅខ្ពស់៖ចរន្តកំដៅនៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ឈានដល់ 150W/(m・K) ដែលជិតនឹងកម្រិតទង់ដែង ហើយអាចផ្ទេរកំដៅបានយ៉ាងឆាប់រហ័ស។
មេគុណពង្រីកទាប៖៥ × ១០-6/℃ (25-1000℃) ដែលត្រូវគ្នានឹងស្រទាប់ខាងក្រោមស៊ីលីកុនកាប៊ីត (4.2×10-6/℃) ដែលកាត់បន្ថយការប្រេះនៃថ្នាំកូតដែលបណ្តាលមកពីភាពតានតឹងកម្ដៅ។
ភាពត្រឹមត្រូវនៃដំណើរការ៖ការអត់ធ្មត់វិមាត្រ ±0.05 ម.ម ត្រូវបានសម្រេចតាមរយៈម៉ាស៊ីន CNC ដើម្បីធានាបាននូវការផ្សាភ្ជាប់នៃបន្ទប់។
កម្មវិធីផ្សេងៗគ្នានៃ CVD SiC និង CVD TaC
| ថ្នាំកូត | ដំណើរការ | ការប្រៀបធៀប | កម្មវិធីធម្មតា |
| CVD-SiC | សីតុណ្ហភាព៖ ១០០០-១២០០ ℃ សម្ពាធ៖ ១០-១០០ Torr | ភាពរឹង HV2500 កម្រាស់ 50-100um ធន់នឹងអុកស៊ីតកម្មដ៏ល្អឥតខ្ចោះ (មានស្ថេរភាពក្រោម 1600 ℃) | ឡដុតអេពីតាក់ស៊ីជាសកល សមស្របសម្រាប់បរិយាកាសធម្មតាដូចជាអ៊ីដ្រូសែន និងស៊ីឡាន |
| CVD-TaC | សីតុណ្ហភាព៖ ១៦០០-១៨០០ ℃ សម្ពាធ៖ ១-១០ Torr | ភាពរឹង HV3000 កម្រាស់ 20-50um ធន់នឹងការច្រេះខ្លាំង (អាចទប់ទល់នឹងឧស្ម័នច្រេះដូចជា HCl, NH₃ ជាដើម) | បរិស្ថានដែលមានការច្រេះខ្លាំង (ដូចជាឧបករណ៍ GaN epitaxy និង etching) ឬដំណើរការពិសេសដែលតម្រូវឱ្យមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់បំផុត 2600°C |
ការត្រួតពិនិត្យគុណភាព
កម្រាស់ថ្នាំកូត៖ រង្វាស់កម្រាស់ឡាស៊ែរ (ភាពត្រឹមត្រូវ ± 1um) ឬការវិភាគឆ្លងកាត់ SEM។
កម្លាំងភ្ជាប់៖ ការធ្វើតេស្តកោស (បន្ទុកសំខាន់ > 50N) ឬការធ្វើតេស្តអ៊ុលត្រាសោន (ល្បឿនសំឡេង > 5000m/s)។
ភាពធន់នឹងការច្រេះ៖ អត្រាបាត់បង់ម៉ាស (<0.1 mg/cm²・h) ត្រូវបានសាកល្បងនៅក្នុងបរិយាកាស HCl (5 vol%, 1600℃)។
ក្រុមហ៊ុន VET Energy គឺជាក្រុមហ៊ុនផលិតដែលមានជំនាញវិជ្ជាជីវៈ ដែលផ្តោតលើការស្រាវជ្រាវ និងអភិវឌ្ឍន៍ (R&D) និងការផលិតវត្ថុធាតុដើមទំនើបៗដូចជា ក្រាហ្វីត ស៊ីលីកុនកាប៊ីដ ក្វាតស៍ ក៏ដូចជាការព្យាបាលវត្ថុធាតុដើមដូចជាថ្នាំកូត SiC ថ្នាំកូត TaC ថ្នាំកូតកាបូនកញ្ចក់ ថ្នាំកូតកាបូនពីរ៉ូលីទិកជាដើម។ ផលិតផលទាំងនេះត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងវិស័យ photovoltaic អេឡិចត្រូនិកពាក់កណ្តាលខ្លួន ថាមពលថ្មី លោហធាតុជាដើម។
ក្រុមបច្ចេកទេសរបស់យើងមកពីស្ថាប័នស្រាវជ្រាវក្នុងស្រុកកំពូលៗ អាចផ្តល់នូវដំណោះស្រាយសម្ភារៈប្រកបដោយវិជ្ជាជីវៈបន្ថែមទៀតសម្រាប់អ្នក។
អត្ថប្រយោជន៍ថាមពល VET រួមមាន៖
• រោងចក្រ និងមន្ទីរពិសោធន៍ជំនាញផ្ទាល់ខ្លួន;
• កម្រិត និងគុណភាពនៃភាពបរិសុទ្ធឈានមុខគេក្នុងឧស្សាហកម្ម;
• តម្លៃប្រកួតប្រជែង និងពេលវេលាដឹកជញ្ជូនលឿន;
• ភាពជាដៃគូឧស្សាហកម្មច្រើននៅទូទាំងពិភពលោក;
យើងខ្ញុំសូមស្វាគមន៍លោកអ្នកមកទស្សនារោងចក្រ និងមន្ទីរពិសោធន៍របស់យើងខ្ញុំគ្រប់ពេលវេលា!
