Ampahany Halfmoon vita amin'ny grafita voarakotra SiCdia singa fototra ampiasaina amin'ny fizotran'ny famokarana semiconductor, indrindra ho an'ny fitaovana epitaxial SiC. Mampiasa ny teknolojia manana patanty izahay mba hanaovana ny ampahany halfmoon miaraka amin'ny fahadiovana avo lenta, fitoviana tsara amin'ny coating ary androm-piainana tsara dia tsara, ary koa fanoherana simika avo lenta sy fahamarinan-toerana mafana.
Akora fototra: grafita madio avo lenta
Fepetra takiana amin'ny fahadiovana:votoatin'ny karbônina ≥99.99%, votoatin'ny lavenona ≤5ppm, mba hahazoana antoka fa tsy misy loto miangona handoto ny sosona epitaxial amin'ny mari-pana avo.
Tombony amin'ny fahombiazana:
Fitondran-tena mafana avo lenta:Mahatratra 150W/(m・K) ny fitondrana hafanana amin'ny mari-pana ao an-trano, izay akaiky ny haavon'ny varahina ary afaka mamindra hafanana haingana.
Koefisien'ny fanitarana ambany:5×10-6/℃ (25-1000℃), mifanaraka amin'ny substrate silicon carbide (4.2×10-6/℃), mampihena ny triatra amin'ny sosona vokatry ny fihenjanana ara-mafana.
Fahamarinan'ny fanodinana:Tratra amin'ny alalan'ny fanodinana CNC ny fandeferana amin'ny refy ±0.05mm mba hahazoana antoka ny famehezana ny efitrano.
Fampiasana samihafa ny CVD SiC sy CVD TaC
| Fandrakofana | DINGANA | fampitahana | Fampiharana mahazatra |
| CVD-SiC | Mari-pana: 1000-1200℃ Tsindry: 10-100 Torr | Hamafin'ny HV2500, hatevina 50-100um, fanoherana ny oksidasiona tsara dia tsara (miorina ambanin'ny 1600 ℃) | Lafaoro epitaxial manerantany, mety amin'ny atmosfera mahazatra toy ny hidrôzenina sy silane |
| CVD-TaC | Mari-pana: 1600-1800℃ Tsindry: 1-10 Torr | Hamafin'ny HV3000, hatevina 20-50um, tena mahatohitra harafesina (mahatanty entona manimba toy ny HCl, NH3, sns.) | Tontolo iainana tena manimba (toy ny fitaovana epitaxy sy etsa GaN), na dingana manokana mitaky mari-pana avo dia avo 2600°C |
Fanaraha-maso ny kalitao
Hatevin'ny sosona: fandrefesana ny hatevin'ny laser (marina ±1um) na famakafakana ny fizarana miampita SEM.
Tanjaky ny fifikirana: fitsapana fikikisana (entana mitsikera > 50N) na fitsapana ultrasonika (hafainganam-peo > 5000m/s).
Fanoherana ny harafesina: tahan'ny fahaverezan'ny lanja (<0.1 mg/cm²・h) nosedraina tao amin'ny atmosfera HCl (5 vol%, 1600℃).
Mpanamboatra matihanina ny VET Energy izay mifantoka amin'ny R&D sy ny famokarana akora avo lenta toy ny grafita, karbida silikônina, quartz, ary koa ny fikarakarana akora toy ny coating SiC, coating TaC, coating karbônina misy fitaratra, coating karbônina pyrolytic, sns. Ireo vokatra ireo dia ampiasaina betsaka amin'ny photovoltaic, semiconductor, angovo vaovao, metallurgie, sns.
Avy amin'ny andrim-pikarohana ambony ao an-toerana ny ekipa ara-teknika anay, afaka manome vahaolana ara-nofo matihanina kokoa ho anao.
Ireto avy ireo tombony azo avy amin'ny VET Energy:
• Orinasa manokana sy laboratoara matihanina;
• Haavo sy kalitao avo lenta indrindra amin'ny indostria;
• Vidiny mifaninana & fotoana fanaterana haingana;
• Fiaraha-miasa amin'ny indostria maro maneran-tany;
Tongasoa eto amin'ny orinasanay sy ny laboratoara amin'ny fotoana rehetra!
