சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் உலைக்கான SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஹாஃப்மூன் பகுதி

குறுகிய விளக்கம்:

VET எனர்ஜி என்பது சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் உலைகளின் முக்கிய கூறுகளின் தொழில்முறை உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர் ஆகும். எங்கள் SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் அரைநிலவு பகுதி மேம்பட்ட CVD பூச்சு தொழில்நுட்பத்துடன் இணைந்து உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டைப் பயன்படுத்துகிறது. இது உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அதிக அரிக்கும் எபிடாக்சியல் சூழல்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் கூறுக்கு சிறந்த உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பை (>1600℃) மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையை அளிக்கிறது, வெப்ப புல சீரான தன்மையை உறுதி செய்கிறது; CVD பூச்சு CVD தொழில்நுட்பம் மூலம் மேற்பரப்பில் ஒரு அடர்த்தியான பாதுகாப்பு அடுக்கை உருவாக்குகிறது, ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு பண்புகளை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது மற்றும் சேவை வாழ்க்கையை 3 மடங்குக்கு மேல் நீட்டிக்கிறது.

பொருள்:உயர் தூய்மை கிராஃபைட்

சுத்திகரிப்பு:5 பிபிஎம்

பூச்சு:CVD-SiC அல்லது CVD-TaC

தனிப்பயனாக்கம்:பிராண்ட் உலை அல்லது OEM

எங்களுக்கு மின்னஞ்சல் அனுப்பவும் PDF ஆக பதிவிறக்கவும்

தயாரிப்பு விவரம்

தயாரிப்பு குறிச்சொற்கள்

SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஹாஃப்மூன் பகுதிகுறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில், குறிப்பாக SiC எபிடாக்சியல் உபகரணங்களுக்குப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும்.அரை நிலவு பகுதியை மிக உயர்ந்த தூய்மை, நல்ல பூச்சு சீரான தன்மை மற்றும் சிறந்த சேவை வாழ்க்கை, அத்துடன் அதிக இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை பண்புகளுடன் உருவாக்க எங்கள் காப்புரிமை பெற்ற தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துகிறோம்.

அடிப்படை பொருள்: உயர் தூய்மை கிராஃபைட்
தூய்மை தேவைகள்:அதிக வெப்பநிலையில் எபிடாக்சியல் அடுக்கை மாசுபடுத்தும் வகையில் எந்த அசுத்தங்களும் படிவுறாமல் இருப்பதை உறுதி செய்வதற்காக, கார்பன் உள்ளடக்கம் ≥99.99%, சாம்பல் உள்ளடக்கம் ≤5ppm.
செயல்திறன் நன்மைகள்:
உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன்:அறை வெப்பநிலையில் வெப்ப கடத்துத்திறன் 150W/(m・K) ஐ அடைகிறது, இது தாமிரத்தின் அளவிற்கு அருகில் உள்ளது மற்றும் விரைவாக வெப்பத்தை மாற்றும்.
குறைந்த விரிவாக்க குணகம்:5×10 5×10 ×^-6/℃ (25-1000℃), சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுடன் (4.2×10) பொருந்துகிறது.^-6/℃), வெப்ப அழுத்தத்தால் பூச்சு விரிசல் ஏற்படுவதைக் குறைக்கிறது.
செயலாக்க துல்லியம்:அறையின் சீலிங்கை உறுதி செய்வதற்காக CNC எந்திரம் மூலம் ±0.05மிமீ பரிமாண சகிப்புத்தன்மை அடையப்படுகிறது.

CVD SiC மற்றும் CVD TaC இன் வேறுபட்ட பயன்பாடுகள்

பூச்சு	செயல்முறை	ஒப்பீடு	வழக்கமான பயன்பாடு
சிவிடி-எஸ்ஐசி	வெப்பநிலை: 1000-1200℃அழுத்தம்: 10-100 டோர்	கடினத்தன்மை HV2500, தடிமன் 50-100um, சிறந்த ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு (1600℃க்குக் கீழே நிலையானது)	ஹைட்ரஜன் மற்றும் சிலேன் போன்ற வழக்கமான வளிமண்டலங்களுக்கு ஏற்ற உலகளாவிய எபிடாக்சியல் உலைகள்.
CVD-TaC	வெப்பநிலை: 1600-1800℃அழுத்தம்: 1-10 டோர்	கடினத்தன்மை HV3000, தடிமன் 20-50um, மிகவும் அரிப்பை எதிர்க்கும் (HCl, NH₃ போன்ற அரிக்கும் வாயுக்களைத் தாங்கும்)	அதிக அரிக்கும் சூழல்கள் (GaN எபிடாக்ஸி மற்றும் செதுக்கல் உபகரணங்கள் போன்றவை), அல்லது 2600°C மிக அதிக வெப்பநிலை தேவைப்படும் சிறப்பு செயல்முறைகள்.

தர ஆய்வு

பூச்சு தடிமன்: லேசர் தடிமன் அளவீடு (துல்லியம் ±1um) அல்லது SEM குறுக்குவெட்டு பகுப்பாய்வு.
பிணைப்பு வலிமை: கீறல் சோதனை (சிக்கலான சுமை > 50N) அல்லது மீயொலி சோதனை (ஒலி வேகம் > 5000மீ/வி).
அரிப்பு எதிர்ப்பு: நிறை இழப்பு விகிதம் (<0.1 mg/cm²・h) HCl வளிமண்டலத்தில் சோதிக்கப்பட்டது (5 vol%, 1600℃).

VET எனர்ஜி என்பது கிராஃபைட், சிலிக்கான் கார்பைடு, குவார்ட்ஸ் போன்ற உயர்நிலை மேம்பட்ட பொருட்களின் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு மற்றும் SiC பூச்சு, TaC பூச்சு, கண்ணாடி கார்பன் பூச்சு, பைரோலிடிக் கார்பன் பூச்சு போன்ற பொருள் சிகிச்சையில் கவனம் செலுத்தும் ஒரு தொழில்முறை உற்பத்தியாளர் ஆகும். இந்த தயாரிப்புகள் ஒளிமின்னழுத்தம், குறைக்கடத்தி, புதிய ஆற்றல், உலோகம் போன்றவற்றில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

எங்கள் தொழில்நுட்பக் குழு சிறந்த உள்நாட்டு ஆராய்ச்சி நிறுவனங்களிலிருந்து வருகிறது, உங்களுக்காக அதிக தொழில்முறை பொருள் தீர்வுகளை வழங்க முடியும்.

VET எரிசக்தி நன்மைகள் பின்வருமாறு:
• சொந்த தொழிற்சாலை மற்றும் தொழில்முறை ஆய்வகம்;
• தொழில்துறையில் முன்னணி வகிக்கும் தூய்மை நிலைகள் மற்றும் தரம்;
• போட்டி விலை & விரைவான விநியோக நேரம்;
• உலகளவில் பல தொழில் கூட்டாண்மைகள்;

எங்கள் தொழிற்சாலை மற்றும் ஆய்வகத்தை எந்த நேரத்திலும் பார்வையிட உங்களை வரவேற்கிறோம்!