SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் அரை நிலா பாகம்குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில், குறிப்பாக SiC எபிடெக்சியல் உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். எங்களின் காப்புரிமை பெற்ற தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி, இந்த அரை நிலா வடிவப் பாகத்தை மிக அதிகத் தூய்மை, நல்ல பூச்சுச் சீர்மை, சிறந்த சேவை ஆயுள், அத்துடன் உயர் இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மைப் பண்புகளுடன் நாங்கள் உருவாக்குகிறோம்.
அடிப்படைப் பொருள்: உயர் தூய்மை கிராஃபைட்
தூய்மைத் தேவைகள்:உயர் வெப்பநிலையில் எபிடெக்சியல் அடுக்கை மாசுபடுத்தும் வகையில் எந்த அசுத்தங்களும் வீழ்படிவாகாமல் இருப்பதை உறுதி செய்வதற்காக, கார்பன் உள்ளடக்கம் ≥99.99%, சாம்பல் உள்ளடக்கம் ≤5ppm.
செயல்திறன் நன்மைகள்:
உயர் வெப்பக் கடத்துத்திறன்:அறை வெப்பநிலையில் வெப்பக் கடத்துத்திறன் 150W/(m・K) ஐ அடைகிறது, இது தாமிரத்தின் அளவிற்கு நெருக்கமாக இருப்பதுடன், வெப்பத்தை விரைவாகக் கடத்தவும் வல்லது.
குறைந்த விரிவாக்க குணகம்:5×10-6/℃ (25-1000℃), சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுடன் (4.2×10) பொருந்துகிறது.-6(℃), வெப்ப அழுத்தத்தால் ஏற்படும் பூச்சின் விரிசல்களைக் குறைக்கிறது.
செயலாக்கத் துல்லியம்:அறையின் காற்றுப்புகாத் தன்மையை உறுதி செய்வதற்காக, CNC எந்திர வேலைப்பாடு மூலம் ±0.05 மிமீ பரிமாணத் துல்லியம் அடையப்படுகிறது.
CVD SiC மற்றும் CVD TaC ஆகியவற்றின் வேறுபட்ட பயன்பாடுகள்
| பூச்சு | செயல்முறை | ஒப்பீடு | வழக்கமான பயன்பாடு |
| CVD-SiC | வெப்பநிலை: 1000-1200℃ அழுத்தம்: 10-100 டோர் | கடினத்தன்மை HV2500, தடிமன் 50-100um, சிறந்த ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்புத்திறன் (1600℃-க்குக் கீழ் நிலைத்தன்மை கொண்டது) | ஹைட்ரஜன் மற்றும் சிலேன் போன்ற வழக்கமான சூழல்களுக்கு ஏற்ற, உலகளாவிய எபிடெக்சியல் உலைகள் |
| CVD-TaC | வெப்பநிலை: 1600-1800℃ அழுத்தம்: 1-10 டோர் | கடினத்தன்மை HV3000, தடிமன் 20-50um, மிக அதிக அரிப்புத் தடுப்புத் திறன் (HCl, NH₃ போன்ற அரிக்கும் வாயுக்களைத் தாங்கும்). | அதிக அரிக்கும் சூழல்கள் (GaN எபிடாக்ஸி மற்றும் எச்சிங் உபகரணங்கள் போன்றவை), அல்லது 2600°C போன்ற மிக அதிக வெப்பநிலை தேவைப்படும் சிறப்பு செயல்முறைகள். |
தர ஆய்வு
பூச்சின் தடிமன்: லேசர் தடிமன் அளவி (துல்லியம் ±1um) அல்லது SEM குறுக்குவெட்டுப் பகுப்பாய்வு.
பிணைப்பு வலிமை: கீறல் சோதனை (முக்கிய சுமை > 50N) அல்லது மீயொலி சோதனை (ஒலி வேகம் > 5000 மீ/வி).
அரிப்பு எதிர்ப்புத்திறன்: HCl சூழலில் (5 கன அளவு%, 1600℃) சோதிக்கப்பட்ட நிறை இழப்பு விகிதம் (<0.1 mg/cm²・h).
VET எனர்ஜி என்பது கிராஃபைட், சிலிக்கான் கார்பைடு, குவார்ட்ஸ் போன்ற உயர்தர மேம்பட்ட பொருட்களின் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு (R&D) மற்றும் உற்பத்தியிலும், அத்துடன் SiC பூச்சு, TaC பூச்சு, கிளாஸி கார்பன் பூச்சு, பைரோலிடிக் கார்பன் பூச்சு போன்ற பொருள் பதப்படுத்துதலிலும் கவனம் செலுத்தும் ஒரு தொழில்முறை உற்பத்தியாளர் ஆகும். இதன் தயாரிப்புகள் ஒளிமின்னழுத்தம், குறைக்கடத்தி, புதிய ஆற்றல், உலோகவியல் போன்ற துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
எங்கள் தொழில்நுட்பக் குழுவினர் உள்நாட்டின் முன்னணி ஆராய்ச்சி நிறுவனங்களைச் சேர்ந்தவர்கள், உங்களுக்கு மேலும் தொழில்முறை சார்ந்த பொருள் தீர்வுகளை வழங்க முடியும்.
VET எனர்ஜியின் நன்மைகள் பின்வருமாறு:
• சொந்த தொழிற்சாலை மற்றும் தொழில்முறை ஆய்வகம்;
• தொழில்துறையில் முன்னணியில் உள்ள தூய்மை நிலைகள் மற்றும் தரம்;
• போட்டித்தன்மை வாய்ந்த விலை மற்றும் விரைவான விநியோகம்;
• உலகளாவிய பல்வேறு தொழில் கூட்டாண்மைகள்;
எங்கள் தொழிற்சாலை மற்றும் ஆய்வகத்தை நீங்கள் எப்போது வேண்டுமானாலும் பார்வையிட வரவேற்கிறோம்!
