Қисми ниммоҳӣ бо графити пӯшонидашудаи SiCҷузъи калидӣ мебошад, ки дар равандҳои истеҳсоли нимноқилҳо, махсусан барои таҷҳизоти эпитаксиалии SiC истифода мешавад. Мо аз технологияи патентшудаи худ барои сохтани қисми ниммоҳӣ бо тозагии ниҳоят баланд, якрангии хуби рӯйпӯш ва мӯҳлати аълои хизматрасонӣ, инчунин муқовимати баланди кимиёвӣ ва хосиятҳои устувории гармӣ истифода мебарем.
Маводи асосӣ: графити тозагии баланд
Талабот ба тозагӣ:миқдори карбон ≥99.99%, миқдори хокистар ≤5ppm, то ки дар ҳарорати баланд ягон ифлосӣ барои олуда кардани қабати эпитаксиалӣ пайдо нашавад.
Бартариҳои иҷро:
Гузаронандагии гармии баланд:Гузаронидани гармӣ дар ҳарорати хонагӣ ба 150 Вт/(м・К) мерасад, ки ба сатҳи мис наздик аст ва метавонад гармиро зуд интиқол диҳад.
Коэффитсиенти пасти васеъшавӣ:5×10-6/℃ (25-1000℃), ки бо субстрати карбидии кремний мувофиқат мекунад (4.2×10-6/℃), кам кардани кафидани рӯйпӯш, ки аз сабаби фишори гармӣ ба вуҷуд омадааст.
Дурустии коркард:Таҳаммулпазирии андозагирии ±0.05 мм тавассути коркарди CNC барои таъмини мӯҳркунии камера ба даст оварда мешавад.
Истифодаи гуногуни CVD SiC ва CVD TaC
| Пӯшиш | Раванд | Муқоиса | Истифодаи маъмулӣ |
| CVD-SiC | Ҳарорат: 1000-1200℃ Фишор: 10-100 Торр | Сахтии HV2500, ғафсӣ 50-100um, муқовимати аълои оксидшавӣ (дар ҳарорати аз 1600℃ устувор) | Кӯраҳои эпитаксиалии универсалӣ, ки барои атмосфераҳои анъанавӣ, ба монанди гидроген ва силан мувофиқанд |
| CVD-TaC | Ҳарорат: 1600-1800℃ Фишор: 1-10 Торр | Сахтии HV3000, ғафсӣ 20-50мм, ба зангзанӣ хеле тобовар (метавонад ба газҳои зангзананда ба монанди HCl, NH₃ ва ғайра тоб оварад) | Муҳитҳои хеле зангзананда (масалан, таҷҳизоти эпитаксияи GaN ва кандакорӣ), ё равандҳои махсусе, ки ҳарорати хеле баланди 2600°C-ро талаб мекунанд |
Санҷиши сифат
Ғафсии рӯйпӯш: ченаки ғафсии лазерӣ (дақиқӣ ± 1um) ё таҳлили буриши буриши SEM.
Мустаҳкамии пайванд: санҷиши харошидан (бори интиқодӣ > 50Н) ё санҷиши ултрасадоӣ (суръати садо > 5000м/с).
Муқовимат ба зангзанӣ: суръати талафоти масса (<0.1 мг/см²·соат) дар атмосфераи HCl (5 ҳаҷм%, 1600℃) санҷида шудааст.
VET Energy як истеҳсолкунандаи касбӣ аст, ки ба таҳқиқот ва рушд ва истеҳсоли маводҳои пешрафтаи баландсифат, аз қабили графит, карбиди кремний, кварс, инчунин коркарди мавод ба монанди рӯйпӯши SiC, рӯйпӯши TaC, рӯйпӯши карбонии шишагин, рӯйпӯши карбонии пиролитикӣ ва ғайра тамаркуз мекунад. Маҳсулот ба таври васеъ дар соҳаҳои фотоэлектрикӣ, нимноқилҳо, энергияи нав, металлургия ва ғайра истифода мешаванд.
Гурӯҳи техникии мо аз муассисаҳои пешбари тадқиқотии ватанӣ иборат аст ва метавонад барои шумо роҳҳои ҳалли касбии маводро пешниҳод кунад.
Афзалиятҳои VET Energy инҳоянд:
• Заводи шахсӣ ва озмоишгоҳи касбӣ;
• Сатҳҳо ва сифати покизагӣ дар соҳа пешсафанд;
• Нархи рақобатпазир ва мӯҳлати интиқоли зуд;
• Шарикиҳои сершумори соҳавӣ дар саросари ҷаҳон;
Мо шуморо барои боздид аз корхона ва лабораторияи мо дар вақти дилхоҳ истиқбол мекунем!
