സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ഫർണസിനുള്ള SiC കോട്ടഡ് ഗ്രാഫൈറ്റ് ഹാഫ്മൂൺ ഭാഗം

ഹൃസ്വ വിവരണം:

സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ചൂളകളുടെ കോർ ഘടകങ്ങളുടെ പ്രൊഫഷണൽ നിർമ്മാതാവും വിതരണക്കാരനുമാണ് VET എനർജി. ഞങ്ങളുടെ SiC കോട്ടിംഗ് ചെയ്ത ഗ്രാഫൈറ്റ് ഹാഫ്മൂൺ ഭാഗത്ത് നൂതന സിവിഡി കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയുമായി സംയോജിപ്പിച്ച ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള ഗ്രാഫൈറ്റ് ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഉയർന്ന താപനിലയും ഉയർന്ന നാശമുണ്ടാക്കുന്ന എപ്പിറ്റാക്സിയൽ പരിതസ്ഥിതികൾക്കും വേണ്ടി ഇത് രൂപകൽപ്പന ചെയ്‌തിരിക്കുന്നു. ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള ഗ്രാഫൈറ്റ് ഘടകത്തിന് മികച്ച ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധവും (> 1600℃) താപ സ്ഥിരതയും നൽകുന്നു, ഇത് താപ മണ്ഡല ഏകീകൃതത ഉറപ്പാക്കുന്നു; സിവിഡി കോട്ടിംഗ് സിവിഡി സാങ്കേതികവിദ്യയിലൂടെ ഉപരിതലത്തിൽ ഒരു സാന്ദ്രമായ സംരക്ഷണ പാളി രൂപപ്പെടുത്തുന്നു, ഇത് ആന്റി-ഓക്‌സിഡേഷൻ, ആന്റി-എച്ചിംഗ് ഗുണങ്ങൾ ഗണ്യമായി മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു, കൂടാതെ സേവന ആയുസ്സ് 3 മടങ്ങ് കൂടുതൽ വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു.

മെറ്റീരിയൽ:ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള ഗ്രാഫൈറ്റ്

ശുദ്ധീകരണം:5 പിപിഎം

പൂശൽ:CVD-SiC അല്ലെങ്കിൽ CVD-TaC

ഇഷ്‌ടാനുസൃതമാക്കൽ:ബ്രാൻഡ് ഫർണസ് അല്ലെങ്കിൽ OEM

ഞങ്ങൾക്ക് ഇമെയിൽ അയയ്ക്കുക PDF ആയി ഡൗൺലോഡ് ചെയ്യുക

ഉൽപ്പന്ന വിശദാംശങ്ങൾ

ഉൽപ്പന്ന ടാഗുകൾ

SiC കോട്ടഡ് ഗ്രാഫൈറ്റ് ഹാഫ്മൂൺ ഭാഗംസെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകളിൽ, പ്രത്യേകിച്ച് SiC എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ഉപകരണങ്ങൾക്ക് ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു പ്രധാന ഘടകമാണ്. വളരെ ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി, നല്ല കോട്ടിംഗ് യൂണിഫോമിറ്റി, മികച്ച സേവന ജീവിതം, ഉയർന്ന രാസ പ്രതിരോധം, താപ സ്ഥിരത ഗുണങ്ങൾ എന്നിവയോടെ ഹാഫ്മൂൺ ഭാഗം നിർമ്മിക്കാൻ ഞങ്ങൾ ഞങ്ങളുടെ പേറ്റന്റ് നേടിയ സാങ്കേതികവിദ്യ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

അടിസ്ഥാന മെറ്റീരിയൽ: ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള ഗ്രാഫൈറ്റ്
ശുചിത്വ ആവശ്യകതകൾ:ഉയർന്ന താപനിലയിൽ എപ്പിറ്റാക്സിയൽ പാളിയെ മലിനമാക്കുന്ന മാലിന്യങ്ങൾ അടിഞ്ഞുകൂടുന്നില്ലെന്ന് ഉറപ്പാക്കാൻ കാർബൺ അളവ് ≥99.99%, ചാരത്തിന്റെ അളവ് ≤5ppm.
പ്രകടന ഗുണങ്ങൾ:
ഉയർന്ന താപ ചാലകത:മുറിയിലെ താപനിലയിൽ താപ ചാലകത 150W/(m・K) വരെ എത്തുന്നു, ഇത് ചെമ്പിന്റെ നിലവാരത്തിന് അടുത്താണ്, കൂടാതെ വേഗത്തിൽ താപം കൈമാറാൻ കഴിയും.
കുറഞ്ഞ വികാസ ഗുണകം:5 × 10^-6/℃ (25-1000℃), സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് അടിവസ്ത്രവുമായി പൊരുത്തപ്പെടുന്നു (4.2×10^-6/℃), താപ സമ്മർദ്ദം മൂലമുണ്ടാകുന്ന കോട്ടിംഗിന്റെ വിള്ളൽ കുറയ്ക്കുന്നു.
പ്രോസസ്സിംഗ് കൃത്യത:ചേമ്പറിന്റെ സീലിംഗ് ഉറപ്പാക്കാൻ CNC മെഷീനിംഗ് വഴി ±0.05mm എന്ന ഡൈമൻഷണൽ ടോളറൻസ് കൈവരിക്കുന്നു.

CVD SiC യുടെയും CVD TaC യുടെയും വ്യത്യസ്ത പ്രയോഗങ്ങൾ

പൂശൽ	പ്രക്രിയ	താരതമ്യം	സാധാരണ ആപ്ലിക്കേഷൻ
സിവിഡി-എസ്‌ഐസി	താപനില: 1000-1200℃മർദ്ദം: 10-100 ടോർ	കാഠിന്യം HV2500, കനം 50-100um, മികച്ച ഓക്സിഡേഷൻ പ്രതിരോധം (1600℃-ൽ താഴെ സ്ഥിരതയുള്ളത്)	ഹൈഡ്രജൻ, സിലാൻ തുടങ്ങിയ പരമ്പരാഗത അന്തരീക്ഷങ്ങൾക്ക് അനുയോജ്യമായ യൂണിവേഴ്സൽ എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ചൂളകൾ.
സിവിഡി-ടാക്	താപനില: 1600-1800℃മർദ്ദം: 1-10 ടോർ	കാഠിന്യം HV3000, കനം 20-50um, അങ്ങേയറ്റം നാശത്തെ പ്രതിരോധിക്കും (HCl, NH₃, തുടങ്ങിയ നാശകാരിയായ വാതകങ്ങളെ ചെറുക്കാൻ കഴിയും)	വളരെ നാശകാരിയായ പരിതസ്ഥിതികൾ (GaN എപ്പിറ്റാക്സി, എച്ചിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾ പോലുള്ളവ), അല്ലെങ്കിൽ 2600°C യുടെ അൾട്രാ-ഹൈ താപനില ആവശ്യമുള്ള പ്രത്യേക പ്രക്രിയകൾ.

ഗുണനിലവാര പരിശോധന

കോട്ടിംഗ് കനം: ലേസർ കനം ഗേജ് (കൃത്യത ± 1um) അല്ലെങ്കിൽ SEM ക്രോസ്-സെക്ഷണൽ വിശകലനം.
ബോണ്ട് ശക്തി: സ്ക്രാച്ച് ടെസ്റ്റ് (ക്രിട്ടിക്കൽ ലോഡ് > 50N) അല്ലെങ്കിൽ അൾട്രാസോണിക് ടെസ്റ്റിംഗ് (ശബ്ദ വേഗത > 5000 മീ/സെ).
നാശന പ്രതിരോധം: HCl അന്തരീക്ഷത്തിൽ പരിശോധിച്ച മാസ് ലോസ് റേറ്റ് (<0.1 mg/cm²・h) (5 vol%, 1600℃).

VET എനർജി എന്നത് ഗ്രാഫൈറ്റ്, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ്, ക്വാർട്സ് തുടങ്ങിയ ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള നൂതന വസ്തുക്കളുടെ ഗവേഷണ വികസനത്തിലും ഉൽപ്പാദനത്തിലും ശ്രദ്ധ കേന്ദ്രീകരിക്കുന്ന ഒരു പ്രൊഫഷണൽ നിർമ്മാതാവാണ്, അതുപോലെ തന്നെ SiC കോട്ടിംഗ്, TaC കോട്ടിംഗ്, ഗ്ലാസി കാർബൺ കോട്ടിംഗ്, പൈറോലൈറ്റിക് കാർബൺ കോട്ടിംഗ് തുടങ്ങിയ മെറ്റീരിയൽ ട്രീറ്റ്‌മെന്റിലും ശ്രദ്ധ കേന്ദ്രീകരിക്കുന്നു. ഫോട്ടോവോൾട്ടെയ്ക്, സെമികണ്ടക്ടർ, ന്യൂ എനർജി, മെറ്റലർജി മുതലായവയിൽ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.

ഞങ്ങളുടെ സാങ്കേതിക സംഘം മികച്ച ആഭ്യന്തര ഗവേഷണ സ്ഥാപനങ്ങളിൽ നിന്നുള്ളവരാണ്, നിങ്ങൾക്ക് കൂടുതൽ പ്രൊഫഷണൽ മെറ്റീരിയൽ പരിഹാരങ്ങൾ നൽകാൻ അവർക്ക് കഴിയും.

VET എനർജിയുടെ ഗുണങ്ങളിൽ ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നു:
• സ്വന്തം ഫാക്ടറിയും പ്രൊഫഷണൽ ലബോറട്ടറിയും;
• വ്യവസായത്തിലെ മുൻനിരയിലുള്ള ശുദ്ധതാ നിലവാരവും ഗുണനിലവാരവും;
• മത്സരാധിഷ്ഠിത വില & വേഗത്തിലുള്ള ഡെലിവറി സമയം;
• ലോകമെമ്പാടുമുള്ള ഒന്നിലധികം വ്യവസായ പങ്കാളിത്തങ്ങൾ;

ഞങ്ങളുടെ ഫാക്ടറിയും ലബോറട്ടറിയും എപ്പോൾ വേണമെങ്കിലും സന്ദർശിക്കാൻ ഞങ്ങൾ നിങ്ങളെ സ്വാഗതം ചെയ്യുന്നു!