SiC бүрсэн бал чулуун хагас сарны хэсэгнь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процесст, ялангуяа SiC эпитаксиал тоног төхөөрөмжид ашиглагддаг гол бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Бид патентлагдсан технологийг ашиглан маш өндөр цэвэршилттэй, сайн бүрэх жигд байдалтай, маш сайн ашиглалтын хугацаатай, мөн өндөр химийн эсэргүүцэлтэй, дулааны тогтвортой шинж чанартай хагас сарны хэсгийг хийдэг.
Үндсэн материал: өндөр цэвэршилттэй бал чулуу
Цэвэр байдлын шаардлага:нүүрстөрөгчийн агууламж ≥99.99%, үнсний агууламж ≤5ppm байх ба өндөр температурт эпитаксиал давхаргыг бохирдуулах хольц хуримтлагдахаас сэргийлнэ.
Гүйцэтгэлийн давуу талууд:
Өндөр дулаан дамжуулалт:Өрөөний температурт дулаан дамжуулалт нь 150Вт/(м・К) хүрдэг бөгөөд энэ нь зэсийн түвшинд ойрхон бөгөөд дулааныг хурдан дамжуулдаг.
Бага тэлэлтийн коэффициент:5×10-6/℃ (25-1000℃), цахиурын карбидын суурьтай (4.2×10) таарч байна-6/℃), дулааны стрессээс үүдэлтэй бүрхүүлийн хагарлыг бууруулдаг.
Боловсруулалтын нарийвчлал:Тасалгааны битүүмжлэлийг хангахын тулд CNC боловсруулалтаар ±0.05 мм-ийн хэмжээст хүлцэл бий болдог.
CVD SiC болон CVD TaC-ийн ялгавартай хэрэглээ
| Бүрээс | Процесс | Харьцуулалт | Ердийн хэрэглээ |
| ЗСӨ-SiC | Температур: 1000-1200℃ Даралт: 10-100 Торр | Хатуулаг HV2500, зузаан нь 50-100мкм, маш сайн исэлдэлтийн эсэргүүцэлтэй (1600℃-аас доош тогтвортой) | Устөрөгч болон силан зэрэг уламжлалт агаар мандалд тохиромжтой универсал эпитаксиал зуух |
| ЗСӨ-ТаК | Температур: 1600-1800℃ Даралт: 1-10 Торр | Хатуулаг HV3000, зузаан нь 20-50 мкм, зэврэлтэнд маш тэсвэртэй (HCl, NH₃ гэх мэт идэмхий хийд тэсвэртэй) | Өндөр идэмхий орчин (GaN эпитакси болон сийлбэрийн тоног төхөөрөмж гэх мэт), эсвэл 2600°C хэт өндөр температур шаарддаг тусгай процессууд |
Чанарын үзлэг
Бүрхүүлийн зузаан: лазерын зузаан хэмжигч (нарийвчлал ±1um) эсвэл SEM хөндлөн огтлолын шинжилгээ.
Бонд бат бэх: зураасны туршилт (чухал ачаалал > 50N) эсвэл хэт авианы туршилт (дууны хурд > 5000м/с).
Зэврэлтээс хамгаалах чадвар: массын алдагдлын хурд (<0.1 мг/см²·цаг)-ийг HCl агаар мандалд (5 вольт, 1600℃) туршсан.
VET Energy нь бал чулуу, цахиурын карбид, кварц зэрэг өндөр зэрэглэлийн дэвшилтэт материалын судалгаа, хөгжүүлэлт, үйлдвэрлэл, мөн SiC бүрхүүл, TaC бүрхүүл, шилэн нүүрстөрөгчийн бүрхүүл, пиролитик нүүрстөрөгчийн бүрхүүл гэх мэт материалын боловсруулалтад чиглэсэн мэргэжлийн үйлдвэрлэгч юм. Бүтээгдэхүүнийг фотоэлектрик, хагас дамжуулагч, шинэ эрчим хүч, металлурги гэх мэт салбарт өргөн ашигладаг.
Манай техникийн баг нь дотоодын шилдэг судалгааны байгууллагуудаас гаралтай бөгөөд танд илүү мэргэжлийн материалын шийдлийг санал болгож чадна.
VET Energy-ийн давуу талууд нь дараахь зүйлийг агуулдаг.
• Өөрийн гэсэн үйлдвэр болон мэргэжлийн лабораторитой;
• Салбартаа тэргүүлэгч цэвэршилтийн түвшин болон чанар;
• Өрсөлдөхүйц үнэ ба хурдан хүргэлтийн хугацаа;
• Дэлхий даяар олон салбарын түншлэл;
Та манай үйлдвэр болон лабораторид хэзээ ч хамаагүй зочлохыг урьж байна!
