Sehemu ya SiC Iliyopakwa Graphite Nusu Mwezi Kwa Furnace ya Silicon Carbide Epitaxial

Sehemu ya SiC Iliyopakwa Graphite Halfmoon Kwa Silicon Carbide Epitaxial Furnace Picha Iliyoangaziwa

Maelezo Fupi:

VET Energy ni mtengenezaji kitaalamu na msambazaji wa vipengele vya msingi vya tanuru za epitaxial za silicon carbudi. Sehemu yetu ya nusu ya mwezi ya grafiti iliyopakwa ya SiC hutumia grafiti ya usafi wa hali ya juu pamoja na teknolojia ya hali ya juu ya mipako ya CVD. Imeundwa kwa ajili ya mazingira ya halijoto ya juu na yenye babuzi ya epitaxial. Grafiti ya usafi wa hali ya juu inatoa sehemu bora ya upinzani wa halijoto ya juu (> 1600 ℃) na uthabiti wa joto, kuhakikisha usawa wa sehemu ya mafuta; mipako ya CVD huunda safu mnene ya kinga juu ya uso kupitia teknolojia ya CVD, inaboresha kwa kiasi kikubwa sifa za kuzuia oxidation na kupambana na etching, na kupanua maisha ya huduma kwa zaidi ya mara 3.

Nyenzo:Grafiti ya usafi wa juu

Utakaso:5 ppm

Mipako:CVD-SiC au CVD-TaC

Kubinafsisha:Tanuru ya chapa au OEM

Tutumie barua pepe Pakua kama PDF

Maelezo ya Bidhaa

Lebo za Bidhaa

SiC Coated Graphite Halfmoon Sehemuni sehemu muhimu inayotumika katika michakato ya utengenezaji wa semiconductor, haswa kwa vifaa vya SiC epitaxial. Tunatumia teknolojia yetu iliyoidhinishwa kutengeneza sehemu ya nusu ya mwezi kwa usafi wa hali ya juu sana, usawa wa mipako na maisha bora ya huduma, pamoja na upinzani wa juu wa kemikali na sifa za utulivu wa joto.

Nyenzo za msingi: grafiti ya usafi wa juu
Mahitaji ya usafi:maudhui ya kaboni ≥99.99%, maudhui ya majivu ≤5ppm, ili kuhakikisha kuwa hakuna uchafu unaosababishwa na kuchafua safu ya epitaxial kwenye joto la juu.
Faida za utendaji:
Conductivity ya juu ya joto:Uendeshaji wa mafuta kwenye joto la kawaida hufikia 150W/(m・K), ambayo iko karibu na kiwango cha shaba na inaweza kuhamisha joto haraka.
Mgawo wa upanuzi wa chini:5×10^-6/℃ (25-1000℃), inayolingana na sehemu ndogo ya silicon carbudi (4.2×10^-6/℃), kupunguza ngozi ya mipako inayosababishwa na mkazo wa joto.
Usahihi wa usindikaji:Uvumilivu wa dimensional wa ± 0.05mm unapatikana kupitia usindikaji wa CNC ili kuhakikisha kufungwa kwa chumba.

Matumizi tofauti ya CVD SiC na CVD TaC

Mipako	Mchakato	Kulinganisha	Maombi ya kawaida
CVD-SiC	Halijoto: 1000-1200℃Shinikizo: 10-100 Torr	Ugumu HV2500, unene 50-100um, upinzani bora wa oxidation (imara chini ya 1600 ℃)	Tanuri za epitaxial za ulimwengu wote, zinazofaa kwa angahewa za kawaida kama vile hidrojeni na silane
CVD-TaC	Joto: 1600-1800℃Shinikizo: 1-10 Torr	Ugumu HV3000, unene 20-50um, sugu sana kwa kutu (inaweza kustahimili gesi babuzi kama vile HCl, NH₃, n.k.)	Mazingira yenye ulikaji sana (kama vile GaN epitaxy na vifaa vya kuchomeka), au michakato maalum inayohitaji halijoto ya juu zaidi ya 2600°C.

Ukaguzi wa ubora

Unene wa mipako: upimaji wa unene wa laser (usahihi ± 1um) au uchanganuzi wa sehemu nzima ya SEM.
Nguvu ya dhamana: mtihani wa mwanzo (mzigo muhimu > 50N) au upimaji wa ultrasonic (kasi ya sauti > 5000m/s).
Upinzani wa kutu: kiwango cha upotevu wa wingi (<0.1 mg/cm²・h) iliyojaribiwa katika angahewa ya HCl (5 vol%, 1600℃).

VET Energy ni watengenezaji wa kitaalamu wanaozingatia R&D na utengenezaji wa vifaa vya hali ya juu kama vile grafiti, silicon carbide, quartz, pamoja na matibabu ya nyenzo kama mipako ya SiC, mipako ya TaC, mipako ya kioo ya kaboni, mipako ya kaboni ya pyrolytic, nk. Bidhaa hizo hutumiwa sana katika photovoltaic, semiconductor, nishati mpya, metallurgy,etc.

Timu yetu ya kiufundi inatoka kwa taasisi za juu za utafiti wa ndani, inaweza kukupa masuluhisho ya nyenzo za kitaalamu zaidi.

Faida za Nishati za VET ni pamoja na:
• Kumiliki kiwanda na maabara ya kitaaluma;
• Viwango na ubora unaoongoza katika tasnia;
• Bei shindani na wakati wa utoaji wa haraka;
• Ubia wa sekta nyingi duniani kote;

Tunakukaribisha kutazama kiwanda na maabara yetu wakati wowote!