SiC Ti a bo Lẹẹdi Halfmoon Apájẹ paati bọtini ti a lo ninu awọn ilana iṣelọpọ semikondokito, pataki fun ohun elo epitaxial SiC. A lo imọ-ẹrọ itọsi wa lati ṣe apakan idaji oṣupa pẹlu mimọ ti o ga julọ, aṣọ aṣọ ti o dara ati igbesi aye iṣẹ ti o dara julọ, bakanna bi resistance kemikali giga ati awọn ohun-ini iduroṣinṣin gbona.
Ohun elo mimọ: graphite ti nw ga
Awọn ibeere mimọ:erogba akoonu ≥99.99%, eeru akoonu ≤5ppm, lati rii daju wipe ko si impurities ti wa ni precipitated lati concomates awọn epitaxial Layer ni ga awọn iwọn otutu.
Awọn anfani iṣẹ ṣiṣe:
Imudara igbona giga:Imudara igbona ni iwọn otutu yara de 150W / (m・K), eyiti o sunmọ ipele ti bàbà ati pe o le gbe ooru lọ ni kiakia.
Imugboroosi kekere:5×10-6/ ℃ (25-1000 ℃), ibaamu awọn ohun alumọni carbide sobusitireti (4.2× 10)-6/ ℃), idinku fifọ ti a bo ti o ṣẹlẹ nipasẹ aapọn gbona.
Ṣiṣe deedee:Ifarada onisẹpo ti ± 0.05mm ti waye nipasẹ ṣiṣe ẹrọ CNC lati rii daju pe odidi ti iyẹwu naa.
Awọn ohun elo iyatọ ti CVD SiC ati CVD TaC
| Aso | Ilana | Ifiwera | Ohun elo aṣoju |
| CVD-SiC | Iwọn otutu: 1000-1200 ℃ Titẹ: 10-100 Torr | líle HV2500, sisanra 50-100um, o tayọ ifoyina resistance (iduroṣinṣin ni isalẹ 1600 ℃) | Awọn ileru epitaxial gbogbo agbaye, o dara fun awọn oju-aye aṣa gẹgẹbi hydrogen ati silane |
| CVD-TaC | Iwọn otutu: 1600-1800 ℃ Titẹ: 1-10 Torr | HV3000 lile lile, sisanra 20-50um, sooro ipata pupọ (le duro awọn gaasi ipata bii HCl, NH₃, ati bẹbẹ lọ) | Awọn agbegbe ibajẹ pupọ (gẹgẹbi GaN epitaxy ati ohun elo etching), tabi awọn ilana pataki ti o nilo awọn iwọn otutu giga-giga ti 2600°C |
Ayẹwo didara
Iwọn ibora: Iwọn sisanra lesa (ipe ± 1um) tabi itupalẹ apakan-agbelebu SEM.
Agbara iwe adehun: idanwo ibere (ẹru pataki> 50N) tabi idanwo ultrasonic (iyara ohun> 5000m/s).
Idaabobo ipata: Oṣuwọn ipadanu pupọ (<0.1 mg/cm²・h) ni idanwo ni oju-aye HCl (5 vol%, 1600℃).
Agbara VET jẹ olupese ọjọgbọn ti o fojusi lori R&D ati iṣelọpọ ti awọn ohun elo to ti ni ilọsiwaju giga-giga gẹgẹbi graphite, silikoni carbide, quartz, ati itọju ohun elo bii ibora SiC, ibora TaC, ideri carbon glassy, pyrolytic carbon bo, ati bẹbẹ lọ.
Ẹgbẹ imọ-ẹrọ wa lati awọn ile-iṣẹ iwadii ile ti o ga julọ, le pese awọn solusan ohun elo alamọdaju diẹ sii fun ọ.
Awọn anfani Agbara VET pẹlu:
• Ti ara factory ati awọn ọjọgbọn yàrá;
• Awọn ipele mimọ ti ile-iṣẹ ati didara;
• Idije owo & Yara ifijiṣẹ akoko;
• Awọn ajọṣepọ ile-iṣẹ pupọ ni agbaye;
A ṣe itẹwọgba fun ọ lati wo ile-iṣẹ wa ati ile-iṣẹ ni eyikeyi akoko!
