Apá Halfmoon Graphite ti a bo SiCjẹ́ kókó pàtàkì tí a ń lò nínú iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor, pàápàá jùlọ fún àwọn ohun èlò epitaxial SiC. A ń lo ìmọ̀-ẹ̀rọ wa tí a fọwọ́ sí láti ṣe apá halfmoon pẹ̀lú mímọ́ tó ga gidigidi, ìṣọ̀kan ìbòrí tó dára àti ìgbésí ayé iṣẹ́ tó dára, àti àwọn ohun ìní ìdènà kẹ́míkà gíga àti ìdúróṣinṣin ooru.
Ohun elo ipilẹ: graphite ti o ni mimọ giga
Awọn ibeere mimọ:akoonu erogba ≥99.99%, akoonu eeru ≤5ppm, lati rii daju pe ko si awọn idoti ti o fa lati ba fẹlẹfẹlẹ epitaxial jẹ ni iwọn otutu giga.
Awọn anfani iṣẹ ṣiṣe:
Agbara igbona giga:Ìwọ̀n ìgbóná ooru ní iwọ̀n otutu yàrá dé 150W/(m・K), èyí tí ó súnmọ́ ìwọ̀n bàbà tí ó sì lè gbé ooru lọ kíákíá.
Ìsọdipúpọ̀ ìfàsẹ́yìn kékeré:5×10-6/℃ (25-1000℃), tó bá ohun èlò ìṣàlẹ̀ silikoni carbide mu (4.2×10) mu.-6/℃), dín ìfọ́ ìbòrí tí ìdààmú ooru fà kù.
Ipese iṣiṣẹ deedee:A ṣe aṣeyọri ifarada iwọn ti ± 0.05mm nipasẹ ẹrọ CNC lati rii daju pe a fi edidi yara naa.
Awọn ohun elo iyatọ ti CVD SiC ati CVD TaC
| Àwọ̀ | Ilana | Ifiwewe | Ohun elo deede |
| CVD-SiC | Iwọn otutu: 1000-1200℃Iwọn titẹ: 10-100 Torr | Líle HV2500, sisanra 50-100um, resistance oxidation ti o dara julọ (duro ni isalẹ 1600℃) | Àwọn ìléru epitaxial gbogbogbòò, tó dára fún àwọn afẹ́fẹ́ ìbílẹ̀ bíi hydrogen àti silane |
| CVD-TaC | Iwọn otutu: 1600-1800℃Iwọn titẹ: 1-10 Torr | Líle HV3000, nínípọn 20-50um, ó lè kojú ìbàjẹ́ gidigidi (ó lè kojú àwọn gáàsì ìbàjẹ́ bíi HCl, NH₃, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ) | Àwọn àyíká oníbàjẹ́ púpọ̀ (bíi GaN epitaxy àti ẹ̀rọ ìfọṣọ), tàbí àwọn ìlànà pàtàkì tí ó nílò àwọn iwọ̀n otútù gíga tó ga jùlọ ti 2600°C |
Ayẹwo didara
Sisanra ti a fi bo: wiwọn sisanra lesa (ipeye ± 1um) tabi itupalẹ apa-apapọ SEM.
Agbára ìdè: ìdánwò ìfọ́ (ẹrù pàtàkì > 50N) tàbí ìdánwò ultrasonic (ìyára ohùn > 5000m/s).
Àìfaradà ìjẹrà: ìwọ̀n pípadánù ibi-iṣẹ́ (<0.1 mg/cm²・h) tí a dán wò nínú afẹ́fẹ́ HCl (5 vol%, 1600℃).
VET Energy jẹ́ olùpèsè ọ̀jọ̀gbọ́n tí ó ń dojúkọ ìwádìí àti ìṣẹ̀dá àwọn ohun èlò tó ga jùlọ bíi graphite, silicon carbide, quartz, àti ìtọ́jú ohun èlò bíi SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Àwọn ọjà náà ni a ń lò fún photovoltaic, semiconductor, new energy, metallurgy, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
Ẹgbẹ imọ-ẹrọ wa wa lati awọn ile-iṣẹ iwadii ile oke, o le pese awọn solusan ohun elo ọjọgbọn diẹ sii fun ọ.
Awọn anfani Agbara VET pẹlu:
• Ilé iṣẹ́ tirẹ̀ àti yàrá ìwádìí ọ̀jọ̀gbọ́n;
• Awọn ipele mimọ ati didara ti o jẹ asiwaju ile-iṣẹ;
• Iye owo idije & Akoko ifijiṣẹ yara;
• Ọpọlọpọ ajọṣepọ ile-iṣẹ ni agbaye;
A gba yin laye lati ṣabẹwo si ile-iṣẹ ati yàrá wa nigbakugba!
