VET Energy fokus op die navorsing en ontwikkeling en produksie van hoëprestasie-CVD-tantaalkarbied (TaC)-bedekte grafietringe, en is daartoe verbind om kernverbruikbare materiaaloplossings vir halfgeleier-, fotovoltaïese en hoëtemperatuurbedrywe te verskaf. Ons onafhanklik ontwikkelde chemiese dampafsettingstegnologie (CVD) vorm 'n digte en eenvormige tantaalkarbiedlaag op die oppervlak van die grafietsubstraat deur middel van presisieprosesse, wat die produk se hoëtemperatuurweerstand (>3000 ℃), korrosiebestandheid en termiese skokbestandheid aansienlik verbeter, die lewensduur met meer as 3 keer verleng en kliënte se omvattende koste verminder.
Ons tegniese voordele:
1. Hoë temperatuur oksidasie weerstand
In 'n lugatmosfeer van 1200 ℃ is die oksidasiegewigstoenamekoers ≤0.05 mg/cm²/h, wat meer as 3 keer die oksidasieweerstandsleeftyd van gewone grafiet is, en is geskik vir hoëfrekwensie-verhittings- en verkoelingsiklustoestande.
2. Weerstand teen gesmelte silikon/metaalkorrosie
TaC-laag is uiters inert teenoor metale soos vloeibare silikon (1600 ℃), gesmelte aluminium/koper, ens., wat strukturele mislukking van tradisionele geleidingsringe as gevolg van metaalpenetrasie vermy, veral geskik vir kraghalfgeleiers en derdegenerasie-halfgeleiersvervaardiging.
3. Ultra-lae deeltjiekontaminasie
Die CVD-proses bereik 'n bedekkingsdigtheid van >99.5% en 'n oppervlakruheid van Ra≤0.2μm, wat die risiko van deeltjie-afval van die bron verminder en voldoen aan die streng skoonheidsvereistes van 12-duim-wafervervaardigers.
4. Presiese groottebeheer
Deur CNC-presisiebewerking aan te neem, is die groottetoleransie van grafietsubstraat ±0.01 mm, en die algehele vervorming na bedekking is <±5 μm, wat geskik is vir installasie in hoë-presisie toerustingkamers.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Fisiese eienskappe van TaC bedekking | |
| 密度/ Digtheid | 14.3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Spesifieke emissiwiteit | 0.3 |
| 热膨胀系数 / Termiese uitbreidingskoëffisiënt | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Hardheid (HK) | 2000 HK |
| 电阻 / Weerstand | 1×10-5 Ohm*cm |
| 热稳定性 / Termiese stabiliteit | <2500 ℃ |
| 石墨尺寸变化 / Veranderinge in grafietgrootte | -10~-20um |
| 涂层厚度 / Laagdikte | ≥30um tipiese waarde (35um±10um) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd is 'n hoëtegnologie-onderneming wat fokus op die ontwikkeling en produksie van hoë-end gevorderde materiale, die materiale en tegnologie insluitend grafiet, silikonkarbied, keramiek, oppervlakbehandeling soos SiC-bedekking, TaC-bedekking, glasagtige koolstofbedekking, pirolitiese koolstofbedekking, ens., hierdie produkte word wyd gebruik in fotovoltaïese, halfgeleier, nuwe energie, metallurgie, ens.
Ons tegniese span kom van top plaaslike navorsingsinstellings, en het verskeie gepatenteerde tegnologieë ontwikkel om produkprestasie en -gehalte te verseker, en kan ook kliënte van professionele materiaaloplossings voorsien.
