TaC Coated Grafit Ring

VET Energy museurkeun kana R & D jeung produksi-kinerja tinggi CVD tantalum carbide (TaC) cingcin grafit coated, sarta komitmen ka nyadiakeun solusi bahan consumable inti pikeun industri semikonduktor, photovoltaic jeung suhu luhur. Téknologi déposisi uap kimia anu dikembangkeun sacara mandiri (CVD) ngabentuk lapisan karbida tantalum anu padet sareng seragam dina permukaan substrat grafit ngaliwatan prosés precision, sacara signifikan ningkatkeun résistansi suhu luhur produk (> 3000 ℃), résistansi korosi sareng résistansi shock termal, manjangkeun umur jasa ku langkung ti 3 kali, sareng ngirangan biaya komprehensif para nasabah.

Keunggulan teknis kami :
1. lalawanan oksidasi suhu luhur
Dina atmosfir hawa 1200 ℃, laju gain beurat oksidasi nyaeta ≤0.05mg / cm² / h, nu leuwih ti 3 kali hirup lalawanan oksidasi grafit biasa, sarta cocog pikeun kaayaan siklus pemanasan-cooling frékuénsi luhur.
2. Résistansi kana silikon molten / korosi logam
Lapisan TaC pisan inert kana logam sapertos silikon cair (1600 ℃), molten aluminium / tambaga, jsb, Ngahindarkeun gagalna struktural cingcin pituduh tradisional alatan penetrasi logam, utamana cocog pikeun semikonduktor kakuatan jeung manufaktur semikonduktor generasi katilu.
3. kontaminasi partikel ultra-low
Prosés CVD ngahontal dénsitas palapis> 99,5% sarta roughness permukaan Ra≤0.2μm, ngurangan résiko partikel shedding tina sumber jeung minuhan sarat kabersihan stringent of 12 inci wafer manufacturin.
4. kontrol ukuran tepat
Ngadopsi CNC machining precision, kasabaran ukuran substrat grafit nyaeta ± 0.01mm, sarta deformasi sakabéh sanggeus palapis nyaeta <± 5μm, nu cocog pikeun instalasi di kamar parabot-precision tinggi.