Halkaya Grafîtê ya Bi TaC Ve Hatî Pêçandin

VET Energy balê dikişîne ser R&D û hilberîna zengilên grafîtê yên bi pêçandina karbîda tantalum (TaC) ya performansa bilind a CVD, û pabend e ku çareseriyên materyalên xerckirinê yên bingehîn ji bo pîşesaziyên nîvconductor, fotovoltaîk û germahiya bilind peyda bike. Teknolojiya me ya danîna buhara kîmyewî (CVD) bi pêvajoyên rast, pêçandinek karbîda tantalum a tîr û yekreng li ser rûyê substrata grafîtê çêdike, berxwedana hilberê ya germahiya bilind (>3000℃), berxwedana korozyonê û berxwedana şoka germî bi girîngî baştir dike, temenê xizmetê ji 3 caran zêdetir dirêj dike, û lêçûnên berfireh ên xerîdaran kêm dike.

Avantajên me yên teknîkî:
1. Berxwedana oksîdasyonê ya germahiya bilind
Di atmosfereke hewayî ya 1200℃ de, rêjeya zêdebûna giraniya oksîdasyonê ≤0.05mg/cm²/h e, ku ji temenê berxwedana oksîdasyonê ya grafîta asayî 3 qat zêdetir e, û ji bo şert û mercên çerxa germkirin-sarkirinê ya frekanseke bilind minasib e.
2. Berxwedana li hember korozyona silîkon/metalê heliyayî
Pêçandina TaC li hember metalên wek silîkona şil (1600℃), aluminium/sifirê heliyayî û hwd. pir bêbandor e, û ev yek rê li ber têkçûna avahîsaziyê ya zengilên rêber ên kevneşopî digire ji ber penetrasyona metal, bi taybetî ji bo nîvconductorên hêzê û çêkirina nîvconductorên nifşa sêyemîn guncaw e.
3. Gemandina perçeyên pir kêm
Pêvajoya CVD densiteya pêçandinê ya >99.5% û xurdemeniya rûyê Ra≤0.2μm bi dest dixe, ku xetera rijandina perçeyan ji çavkaniyê kêm dike û şertên paqijiyê yên hişk ên hilberîneriya waflên 12 înç bicîh tîne.
4. Kontrola mezinahiya rastîn
Bi bikaranîna makîneya rastîn a CNC-ê, toleransa mezinahiya substrata grafîtê ±0.01 mm ye, û deformasyona giştî piştî pêçandinê <±5μm e, ku ji bo sazkirinê di odeyên alavên rastbûna bilind de guncaw e.