Grafitni prsten s TaC premazom

VET Energy fokusira se na istraživanje i razvoj te proizvodnju visokoučinkovitih CVD grafitnih prstenova obloženih tantal karbidom (TaC) te je posvećen pružanju rješenja za potrošne materijale za poluvodičku, fotonaponsku i visokotemperaturnu industriju. Naša neovisno razvijena tehnologija kemijskog taloženja iz pare (CVD) stvara gusti i ujednačeni premaz tantal karbida na površini grafitne podloge kroz precizne procese, značajno poboljšavajući otpornost proizvoda na visoke temperature (>3000℃), otpornost na koroziju i otpornost na toplinske udare, produžujući vijek trajanja za više od 3 puta i smanjujući sveukupne troškove kupaca.

Naše tehničke prednosti:
1. Otpornost na oksidaciju na visokim temperaturama
U zračnoj atmosferi temperature od 1200 ℃, brzina oksidacijskog porasta težine je ≤0,05 mg/cm²/h, što je više od 3 puta duže od vijeka trajanja otpornosti na oksidaciju običnog grafita, te je prikladno za uvjete visokofrekventnog ciklusa zagrijavanja i hlađenja.
2. Otpornost na koroziju rastaljenog silicija/metala
TaC premaz je izuzetno inertan prema metalima poput tekućeg silicija (1600℃), rastaljenog aluminija/bakra itd., izbjegavajući strukturni kvar tradicionalnih vodećih prstenova zbog prodiranja metala, posebno je pogodan za proizvodnju energetskih poluvodiča i poluvodiča treće generacije.
3. Ultra-niska kontaminacija česticama
CVD proces postiže gustoću premaza >99,5% i hrapavost površine Ra≤0,2 μm, smanjujući rizik od rasipanja čestica s izvora i zadovoljavajući stroge zahtjeve čistoće za proizvodnju 12-inčnih pločica.
4. Precizna kontrola veličine
Primjenom precizne CNC obrade, tolerancija veličine grafitne podloge je ±0,01 mm, a ukupna deformacija nakon premazivanja je <±5 μm, što je pogodno za ugradnju u komore visokoprecizne opreme.