VET Energy se concentrează pe cercetare și dezvoltare și producția de inele de grafit acoperite cu carbură de tantal (TaC) de înaltă performanță, obținute prin metoda CVD și se angajează să ofere soluții de materiale consumabile de bază pentru industria semiconductorilor, fotovoltaică și la temperaturi înalte. Tehnologia noastră de depunere chimică în fază de vapori (CVD), dezvoltată independent, formează un strat dens și uniform de carbură de tantal pe suprafața substratului de grafit prin procese de precizie, îmbunătățind semnificativ rezistența produsului la temperaturi ridicate (>3000℃), rezistența la coroziune și rezistența la șocuri termice, prelungind durata de viață de peste 3 ori și reducând costurile globale ale clienților.
Avantajele noastre tehnice:
1. Rezistență la oxidare la temperaturi ridicate
Într-o atmosferă de aer de 1200℃, rata de creștere în greutate prin oxidare este ≤0,05 mg/cm²/h, ceea ce reprezintă de peste 3 ori durata de viață a grafitului obișnuit și este potrivit pentru condiții de ciclu de încălzire-răcire de înaltă frecvență.
2. Rezistență la coroziunea siliciului topit/metalului
Acoperirea TaC este extrem de inertă față de metale precum siliciul lichid (1600℃), aluminiul/cuprul topit etc., evitând defectarea structurală a inelelor de ghidare tradiționale din cauza penetrării metalului, fiind potrivită în special pentru semiconductori de putere și pentru fabricarea semiconductorilor de a treia generație.
3. Contaminare ultra-scăzută cu particule
Procesul CVD atinge o densitate a acoperirii de >99,5% și o rugozitate a suprafeței de Ra≤0,2 μm, reducând riscul de desprindere a particulelor de la sursă și îndeplinind cerințele stricte de curățenie ale producției de napolitane de 12 inch.
4. Control precis al dimensiunii
Adoptând prelucrarea CNC de precizie, toleranța dimensională a substratului de grafit este de ±0,01 mm, iar deformarea totală după acoperire este <±5 μm, ceea ce este potrivit pentru instalarea în camere de echipamente de înaltă precizie.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Proprietățile fizice ale TaC acoperire | |
| 密度Densitate | 14,3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Emisivitate specifică | 0,3 |
| 热膨胀系数 / Coeficient de dilatare termică | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Duritate (HK) | 2000 Hong Kong |
| 电阻 / Rezistență | 1×10-5 Ohm*cm |
| 热稳定性 Stabilitate termică | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / Modificări ale dimensiunii grafitului | -10~-20um |
| 涂层厚度 Grosimea stratului de acoperire | Valoare tipică ≥30um (35um±10um) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd este o întreprindere de înaltă tehnologie axată pe dezvoltarea și producția de materiale avansate de înaltă calitate, materiale și tehnologii precum grafit, carbură de siliciu, ceramică, tratamente de suprafață precum acoperiri cu SiC, acoperiri cu TaC, acoperiri cu carbon vitros, acoperiri cu carbon pirolitic etc., aceste produse fiind utilizate pe scară largă în fotovoltaică, semiconductori, energie nouă, metalurgie etc.
Echipa noastră tehnică provine din instituții de cercetare de top din țară și a dezvoltat multiple tehnologii brevetate pentru a asigura performanța și calitatea produselor, putând oferi, de asemenea, clienților soluții profesionale în materie de materiale.
-
Suceptor acoperit cu TaC pentru echipamente de epitaxie
-
Furnizori din China pentru ghidaje personalizate acoperite cu TaC...
-
Piesă semilună cu acoperire din carbură de tantal
-
Tub de carbură de tantal de înaltă calitate pentru cristale SiC...
-
Încălzitor personalizat de grafit acoperit cu SiC de înaltă puritate...
-
Butoi poros acoperit cu carbură de tantal