Δακτύλιος γραφίτη με επίστρωση TaC

Η VET Energy επικεντρώνεται στην Έρευνα και Ανάπτυξη (R&D) και την παραγωγή δακτυλίων γραφίτη υψηλής απόδοσης με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου (TaC) και έχει δεσμευτεί να παρέχει λύσεις για βασικά αναλώσιμα υλικά για βιομηχανίες ημιαγωγών, φωτοβολταϊκών και υψηλών θερμοκρασιών. Η ανεξάρτητα αναπτυγμένη τεχνολογία χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD) σχηματίζει μια πυκνή και ομοιόμορφη επίστρωση καρβιδίου τανταλίου στην επιφάνεια του υποστρώματος γραφίτη μέσω διαδικασιών ακριβείας, βελτιώνοντας σημαντικά την αντοχή του προϊόντος σε υψηλές θερμοκρασίες (>3000℃), την αντοχή στη διάβρωση και την αντοχή σε θερμικό σοκ, παρατείνοντας τη διάρκεια ζωής του προϊόντος κατά περισσότερο από 3 φορές και μειώνοντας το συνολικό κόστος για τους πελάτες.

Τα τεχνικά μας πλεονεκτήματα:
1. Αντοχή στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία
Σε ατμόσφαιρα αέρα 1200℃, ο ρυθμός αύξησης βάρους οξείδωσης είναι ≤0,05mg/cm²/h, που είναι περισσότερο από 3 φορές η διάρκεια ζωής αντοχής στην οξείδωση του συνηθισμένου γραφίτη και είναι κατάλληλος για συνθήκες κύκλου θέρμανσης-ψύξης υψηλής συχνότητας.
2. Αντοχή στη διάβρωση από λιωμένο πυρίτιο/μέταλλο
Η επίστρωση TaC είναι εξαιρετικά αδρανής σε μέταλλα όπως υγρό πυρίτιο (1600℃), τηγμένο αλουμίνιο/χαλκό κ.λπ., αποφεύγοντας τη δομική αστοχία των παραδοσιακών δακτυλίων οδηγών λόγω διείσδυσης μετάλλου, ιδιαίτερα κατάλληλη για ημιαγωγούς ισχύος και κατασκευή ημιαγωγών τρίτης γενιάς.
3. Εξαιρετικά χαμηλή μόλυνση σωματιδίων
Η διαδικασία CVD επιτυγχάνει πυκνότητα επίστρωσης >99,5% και τραχύτητα επιφάνειας Ra≤0,2μm, μειώνοντας τον κίνδυνο αποβολής σωματιδίων από την πηγή και ικανοποιώντας τις αυστηρές απαιτήσεις καθαριότητας της κατασκευής πλακιδίων 12 ιντσών.
4. Ακριβής έλεγχος μεγέθους
Υιοθετώντας κατεργασία ακριβείας CNC, η ανοχή μεγέθους του υποστρώματος γραφίτη είναι ±0,01 mm και η συνολική παραμόρφωση μετά την επίστρωση είναι <±5 μm, η οποία είναι κατάλληλη για εγκατάσταση σε θαλάμους εξοπλισμού υψηλής ακρίβειας.