Pierścień grafitowy powlekany TaC

VET Energy koncentruje się na badaniach i rozwoju oraz produkcji wysokowydajnych pierścieni grafitowych powlekanych węglikiem tantalu (TaC) CVD i zobowiązuje się do dostarczania podstawowych rozwiązań materiałowych dla przemysłu półprzewodnikowego, fotowoltaicznego i wysokotemperaturowego. Nasza niezależnie opracowana technologia chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD) tworzy gęstą i jednorodną powłokę z węglika tantalu na powierzchni podłoża grafitowego za pomocą precyzyjnych procesów, znacznie poprawiając odporność produktu na wysoką temperaturę (>3000℃), odporność na korozję i odporność na szok termiczny, wydłużając żywotność o ponad 3 razy i zmniejszając kompleksowe koszty klientów.

Nasze zalety techniczne:
1. Odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze
W atmosferze powietrza o temperaturze 1200℃ szybkość przyrostu masy utleniania wynosi ≤0,05 mg/cm²/h, co stanowi ponad 3-krotność okresu odporności na utlenianie zwykłego grafitu i jest odpowiednie do warunków cyklu nagrzewania i chłodzenia o wysokiej częstotliwości.
2. Odporność na korozję stopionego krzemu/metalu
Powłoka TaC jest wyjątkowo obojętna na metale takie jak ciekły krzem (1600℃), stopione aluminium/miedź itp., zapobiegając uszkodzeniom strukturalnym tradycyjnych pierścieni prowadzących spowodowanym przez wnikanie metalu. Powłoka ta jest szczególnie przydatna w produkcji półprzewodników mocy i półprzewodników trzeciej generacji.
3. Bardzo niskie zanieczyszczenie cząsteczkami
Proces CVD pozwala na uzyskanie gęstości powłoki >99,5% i chropowatości powierzchni Ra≤0,2 μm, co zmniejsza ryzyko odrywania się cząstek od źródła i spełnia rygorystyczne wymagania dotyczące czystości obowiązujące przy produkcji 12-calowych płytek.
4. Precyzyjna kontrola rozmiaru
Dzięki zastosowaniu precyzyjnej obróbki CNC tolerancja wymiarów podłoża grafitowego wynosi ±0,01 mm, a ogólne odkształcenie po powlekaniu jest mniejsze niż ±5 μm, co umożliwia montaż w komorach urządzeń o wysokiej precyzji.