VET Energy koncentruje się na badaniach i rozwoju oraz produkcji wysokowydajnych pierścieni grafitowych powlekanych węglikiem tantalu (TaC) metodą CVD i dostarcza rozwiązania z zakresu podstawowych materiałów eksploatacyjnych dla przemysłu półprzewodnikowego, fotowoltaicznego i wysokotemperaturowego. Nasza niezależnie opracowana technologia chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD) tworzy gęstą i jednorodną powłokę z węglika tantalu na powierzchni podłoża grafitowego poprzez precyzyjne procesy, co znacznie poprawia odporność produktu na wysokie temperatury (>3000°C), korozję i szok termiczny, wydłużając żywotność produktu ponad 3-krotnie i obniżając koszty kompleksowe klienta.
Nasze atuty techniczne:
1. Odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze
W atmosferze powietrza o temperaturze 1200℃ szybkość przyrostu masy utleniania wynosi ≤0,05 mg/cm²/h, co stanowi ponad 3-krotność okresu odporności na utlenianie zwykłego grafitu i jest odpowiednie dla warunków cyklu nagrzewania i chłodzenia o wysokiej częstotliwości.
2. Odporność na korozję stopionego krzemu/metalu
Powłoka TaC jest wyjątkowo obojętna na metale, takie jak ciekły krzem (1600°C), stopione aluminium/miedź itp., zapobiegając uszkodzeniom strukturalnym tradycyjnych pierścieni prowadzących spowodowanym przez wnikanie metalu, co jest szczególnie przydatne w przypadku półprzewodników mocy i produkcji półprzewodników trzeciej generacji.
3. Bardzo niskie zanieczyszczenie cząsteczkami
Proces CVD pozwala na uzyskanie gęstości powłoki >99,5% i chropowatości powierzchni Ra ≤0,2 μm, co zmniejsza ryzyko odrywania się cząstek od źródła i spełnia rygorystyczne wymagania dotyczące czystości obowiązujące przy produkcji 12-calowych płytek.
4. Precyzyjna kontrola rozmiaru
Dzięki zastosowaniu precyzyjnej obróbki CNC tolerancja wymiarów podłoża grafitowego wynosi ±0,01 mm, a ogólne odkształcenie po nałożeniu powłoki jest <±5 μm, co umożliwia montaż w komorach urządzeń o wysokiej precyzji.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Właściwości fizyczne TaC powłoka | |
| 密度/ Gęstość | 14,3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Emisyjność właściwa | 0,3 |
| 热膨胀系数 / Współczynnik rozszerzalności cieplnej | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Twardość (HK) | 2000 Hongkong |
| 电阻 / Opór | 1×10-5 Ohm*cm |
| 热稳定性 / Stabilność termiczna | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / Zmiany wielkości grafitu | -10~-20um |
| 涂层厚度 / Grubość powłoki | ≥30um typowa wartość (35um±10um) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd to przedsiębiorstwo high-tech skupiające się na rozwoju i produkcji najwyższej klasy zaawansowanych materiałów, materiałów i technologii obejmujących grafit, węglik krzemu, ceramikę, obróbkę powierzchni, taką jak powłoki SiC, powłoki TaC, powłoki z węgla szklistego, powłoki z węgla pirolitycznego itp. Produkty te są szeroko stosowane w fotowoltaice, półprzewodnikach, nowej energetyce, metalurgii itp.
Nasz zespół techniczny składa się z pracowników czołowych krajowych instytutów badawczych i opracował wiele opatentowanych technologii gwarantujących wydajność i jakość produktów. Możemy także zapewnić klientom profesjonalne rozwiązania materiałowe.
