VET Energy konsantre sou R&D ak pwodiksyon bag grafit ki kouvri ak carbure tantal (TaC) ki gen pèfòmans segondè CVD, epi li angaje nan bay solisyon materyèl konsomab debaz pou endistri semi-kondiktè, fotovoltaik ak tanperati ki wo. Teknoloji depo vapè chimik (CVD) nou an ki devlope endepandamman fòme yon kouch carbure tantal dans ak inifòm sou sifas substrat grafit la atravè pwosesis presizyon, sa ki amelyore anpil rezistans pwodwi a nan tanperati ki wo (>3000 ℃), rezistans korozyon ak rezistans chòk tèmik, sa ki pwolonje lavi sèvis li plis pase 3 fwa, epi diminye depans konplè kliyan yo.
Avantaj teknik nou yo:
1. Rezistans oksidasyon tanperati ki wo
Nan yon atmosfè lè 1200 ℃, to pran pwa oksidasyon an se ≤0.05mg/cm²/h, ki se plis pase 3 fwa lavi rezistans oksidasyon grafit òdinè, epi li apwopriye pou kondisyon sik chofaj-refwadisman wo frekans.
2. Rezistans a korozyon silikon/metal fonn
Kouch TaC a trè inaktif anvè metal tankou silikon likid (1600 ℃), aliminyòm/kwiv fonn, elatriye, sa ki evite echèk estriktirèl bag gid tradisyonèl yo akòz pénétration metal, espesyalman apwopriye pou semi-kondiktè pouvwa ak fabrikasyon semi-kondiktè twazyèm jenerasyon.
3. Kontaminasyon patikil ultra-ba
Pwosesis CVD a reyalize yon dansite kouch >99.5% ak yon brutality sifas Ra≤0.2μm, sa ki diminye risk pou patikil yo soti nan sous la epi ki satisfè egzijans pwòpte strik pou fabrikasyon waf 12 pous yo.
4. Kontwòl gwosè presi
Adopte machinasyon presizyon CNC, tolerans gwosè substrat grafit la se ±0.01mm, epi defòmasyon jeneral la apre kouch la se <±5μm, ki apwopriye pou enstalasyon nan chanm ekipman ki gen gwo presizyon.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Pwopriyete fizik TaC kouch | |
| 密度Dansite | 14.3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Emisivite espesifik | 0.3 |
| 热膨胀系数 / Koyefisyan ekspansyon tèmik | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Dite (HK) | 2000 Hong Kong |
| 电阻 / Rezistans | 1×10-5 Ohm*cm |
| 热稳定性 / Estabilite tèmik | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 Chanjman gwosè grafit | -10 ~ -20um |
| 涂层厚度 Epesè kouch | ≥30um valè tipik (35um ± 10um) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd se yon antrepriz gwo teknoloji ki konsantre sou devlopman ak pwodiksyon materyèl avanse wo nivo, materyèl ak teknoloji ki gen ladan grafit, carbure Silisyòm, seramik, tretman sifas tankou kouch SiC, kouch TaC, kouch kabòn vitrifye, kouch kabòn pirolitik, elatriye, pwodui sa yo lajman itilize nan fotovoltaik, semi-kondiktè, nouvo enèji, metaliji, elatriye.
Ekip teknik nou an soti nan pi gwo enstitisyon rechèch domestik yo, epi yo devlope plizyè teknoloji patante pou asire pèfòmans ak kalite pwodwi, epi yo kapab tou bay kliyan yo solisyon materyèl pwofesyonèl.
