Apo Graphite i uhi ʻia ʻo TaC

Ke kālele nei ʻo VET Energy i ka R&D a me ka hana ʻana o nā apo graphite i uhi ʻia me ka tantalum carbide (TaC) CVD hana kiʻekiʻe, a ua kūpaʻa ʻo ia i ka hāʻawi ʻana i nā hopena mea hoʻopau koʻikoʻi no nā ʻoihana semiconductor, photovoltaic a me nā ʻoihana wela kiʻekiʻe. Hoʻokumu kā mākou ʻenehana hoʻokaʻawale vapor chemical (CVD) i hoʻomohala kūʻokoʻa i kahi uhi tantalum carbide mānoanoa a like ma luna o ka ʻili o ka substrate graphite ma o nā kaʻina hana pololei, e hoʻomaikaʻi nui ana i ke kūpaʻa wela kiʻekiʻe o ka huahana (>3000 ℃), ke kūpaʻa i ka corrosion a me ke kūpaʻa i ka haʻalulu wela, e hoʻolōʻihi ana i ke ola lawelawe ma mua o 3 mau manawa, a e hōʻemi ana i nā kumukūʻai piha o nā mea kūʻai aku.

ʻO kā mākou mau pono loea:
1. Ke kūpaʻa ʻana i ka oxidation wela kiʻekiʻe
I loko o ka lewa ea o 1200 ℃, ʻo ka nui o ka loaʻa ʻana o ke kaumaha oxidation he ≤0.05mg/cm²/h, ʻoi aku ia ma mua o 3 mau manawa o ke ola kū'ē oxidation o ka graphite maʻamau, a kūpono ia no nā kūlana pōʻaiapuni hoʻomehana-hoʻoluʻu alapine kiʻekiʻe.
2. Ke kū'ē i ka pala o ka silicon/metala i hoʻoheheʻe ʻia
He mea ʻole loa ka uhi ʻana o TaC i nā metala e like me ka silicon wai (1600 ℃), ka alumini/keleawe heheʻe, a me nā mea ʻē aʻe, e pale ana i ka hāʻule ʻana o ke kūkulu ʻana o nā apo alakaʻi kuʻuna ma muli o ke komo ʻana o ka metala, kūpono loa no nā semiconductors mana a me ka hana ʻana o ka semiconductor hanauna ʻekolu.
3. Ka haumia ʻāpana haʻahaʻa loa
Hoʻokō ke kaʻina hana CVD i kahi mānoanoa uhi o >99.5% a me ka ʻoʻoleʻa o ka ʻili o Ra≤0.2μm, e hōʻemi ana i ka pilikia o ka hoʻokahe ʻana o nā ʻāpana mai ke kumu a hoʻokō i nā koi hoʻomaʻemaʻe koʻikoʻi o ka hana wafer 12-'īniha.
4. Ka mana nui pololei
Me ka hoʻohana ʻana i ka mīkini kikoʻī CNC, ʻo ka nui o ka hoʻomanawanui o ka substrate graphite he ± 0.01mm, a ʻo ka deformation holoʻokoʻa ma hope o ka uhi ʻana he <± 5μm, kahi kūpono no ke kau ʻana i nā keʻena lako kiʻekiʻe.