TaC-kattega grafiidist rõngas

VET Energy keskendub kõrgjõudlusega CVD-tantaalkarbiidist (TaC) kaetud grafiitrõngaste teadus- ja arendustegevusele ning tootmisele ning on pühendunud pooljuhtide, fotogalvaanika ja kõrgtemperatuursete tööstusharude tarbematerjalide lahenduste pakkumisele. Meie iseseisvalt väljatöötatud keemilise aurustamise (CVD) tehnoloogia moodustab täppisprotsesside abil grafiidi aluspinna pinnale tiheda ja ühtlase tantaalkarbiidi katte, parandades oluliselt toote vastupidavust kõrgele temperatuurile (>3000 ℃), korrosioonikindlust ja termilist löögikindlust, pikendades kasutusiga enam kui 3 korda ja vähendades klientide üldkulusid.

Meie tehnilised eelised:
1. Kõrge temperatuuriga oksüdatsioonikindlus
1200 ℃ õhuatmosfääris on oksüdatsioonikaalu juurdekasvu kiirus ≤0,05 mg/cm²/h, mis on enam kui 3 korda pikem kui tavalise grafiidi oksüdatsioonikindlus ja sobib kõrgsagedusliku kütte-jahutustsükli tingimustes.
2. Vastupidavus sula räni/metalli korrosioonile
TaC-kate on äärmiselt inertne selliste metallide suhtes nagu vedel räni (1600 ℃), sula alumiinium/vask jne, vältides traditsiooniliste juhtrõngaste konstruktsioonilisi rikkeid metalli läbitungimise tõttu, eriti sobiv võimsuspooljuhtide ja kolmanda põlvkonna pooljuhtide tootmiseks.
3. Ülimadal osakeste saastumisel
CVD-protsessi abil saavutatakse katte tihedus >99,5% ja pinnakaredus Ra≤0,2 μm, vähendades osakeste eraldumise ohtu allikast ja vastates 12-tolliste vahvlite tootmise rangetele puhtusnõuetele.
4. Täpne suuruse kontroll
CNC täppistöötluse kasutamisel on grafiidist aluspinna suuruse tolerants ±0,01 mm ja üldine deformatsioon pärast katmist on <±5 μm, mis sobib paigaldamiseks ülitäpsetesse seadmetesse.