Pete ya Graphite Iliyofunikwa na TaC

VET Energy inaangazia R&D na utengenezaji wa pete za grafiti zenye utendaji wa juu za CVD tantalum carbide (TaC), na imejitolea kutoa suluhisho za nyenzo zinazoweza kutumika kwa tasnia ya semiconductor, photovoltaic na joto la juu. Teknolojia yetu iliyotengenezwa kwa kujitegemea ya uwekaji wa mvuke wa kemikali (CVD) huunda mipako mnene na sare ya tantalum ya carbudi kwenye uso wa substrate ya grafiti kupitia michakato ya usahihi, kuboresha kwa kiasi kikubwa upinzani wa joto la juu la bidhaa (> 3000 ℃), upinzani wa kutu na upinzani wa mshtuko wa mafuta, kupanua maisha ya huduma kwa zaidi ya mara 3, na kupunguza gharama za wateja.

Faida zetu za kiufundi:
1. Upinzani wa oxidation ya joto la juu
Katika angahewa ya 1200℃, kasi ya ongezeko la uzito wa oksidi ni ≤0.05mg/cm²/h, ambayo ni zaidi ya mara 3 ya maisha ya ukinzani wa oksidi ya grafiti ya kawaida, na inafaa kwa hali ya mzunguko wa juu wa kupokanzwa na kupoeza.
2. Upinzani wa silicon iliyoyeyuka / kutu ya chuma
Mipako ya TaC haitumiki sana kwa metali kama vile silikoni ya kioevu (1600℃), alumini iliyoyeyushwa/shaba, n.k., ikiepuka kushindwa kwa muundo wa pete za kitamaduni za mwongozo kwa sababu ya kupenya kwa chuma, zinazofaa hasa kwa semiconductors za nguvu na utengenezaji wa semicondukta wa kizazi cha tatu.
3. Ukolezi wa chembe za chini kabisa
Mchakato wa CVD hufanikisha msongamano wa mipako wa >99.5% na ukali wa uso wa Ra≤0.2μm, kupunguza hatari ya kumwaga chembe kutoka kwenye chanzo na kukidhi mahitaji magumu ya usafi ya manufacturin ya inchi 12.
4. Udhibiti sahihi wa ukubwa
Kupitisha usindikaji wa usahihi wa CNC, uvumilivu wa ukubwa wa substrate ya grafiti ni ± 0.01mm, na deformation ya jumla baada ya mipako ni <± 5μm, ambayo inafaa kwa ajili ya ufungaji katika vyumba vya vifaa vya usahihi wa juu.