شرکت VET Energy بر تحقیق و توسعه و تولید حلقههای گرافیتی پوشش داده شده با کاربید تانتالوم (TaC) به روش CVD با کارایی بالا تمرکز دارد و متعهد به ارائه راهحلهای مواد مصرفی هسته برای صنایع نیمههادی، فتوولتائیک و صنایع با دمای بالا است. فناوری رسوب بخار شیمیایی (CVD) که به طور مستقل توسعه یافته است، یک پوشش کاربید تانتالوم متراکم و یکنواخت را روی سطح زیرلایه گرافیتی از طریق فرآیندهای دقیق تشکیل میدهد و به طور قابل توجهی مقاومت در برابر دمای بالا (>3000℃)، مقاومت در برابر خوردگی و مقاومت در برابر شوک حرارتی محصول را بهبود میبخشد، عمر مفید را بیش از 3 برابر افزایش میدهد و هزینههای کلی مشتریان را کاهش میدهد.
مزایای فنی ما:
۱. مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا
در اتمسفر هوای ۱۲۰۰ درجه سانتیگراد، نرخ افزایش وزن اکسیداسیون ≤۰.۰۵ میلیگرم بر سانتیمتر مربع بر ساعت است که بیش از ۳ برابر عمر مقاومت در برابر اکسیداسیون گرافیت معمولی است و برای شرایط چرخه گرمایش-سرمایش با فرکانس بالا مناسب است.
۲. مقاومت در برابر خوردگی سیلیکون/فلز مذاب
پوشش TaC در برابر فلزاتی مانند سیلیکون مایع (1600 درجه سانتیگراد)، آلومینیوم/مس مذاب و غیره بسیار بیاثر است و از شکست ساختاری حلقههای راهنمای سنتی به دلیل نفوذ فلز جلوگیری میکند، به خصوص برای نیمههادیهای قدرت و تولید نیمههادیهای نسل سوم مناسب است.
۳. آلودگی ذرات بسیار کم
فرآیند CVD به چگالی پوشش بیش از 99.5٪ و زبری سطح Ra≤0.2μm دست مییابد که خطر ریزش ذرات از منبع را کاهش داده و الزامات سختگیرانه تمیزی تولید ویفر 12 اینچی را برآورده میکند.
۴. کنترل دقیق اندازه
با استفاده از ماشینکاری دقیق CNC، تلرانس اندازه زیرلایه گرافیتی ±0.01 میلیمتر و تغییر شکل کلی پس از پوششدهی <±5μm است که برای نصب در محفظههای تجهیزات با دقت بالا مناسب است.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 خواص فیزیکی تا سی پوشش | |
| 密度/ تراکم | ۱۴.۳ (گرم بر سانتیمتر مکعب) |
| 比辐射率 / ضریب گسیلندگی ویژه | ۰.۳ |
| 热膨胀系数 / ضریب انبساط حرارتی | ۶.۳ ۱۰-6/K |
| 努氏硬度/ سختی (هنگ کنگ) | ۲۰۰۰ هنگ کنگ |
| 电阻 / مقاومت | ۱×۱۰-5 اهم*سانتی متر |
| 热稳定性 / پایداری حرارتی | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / تغییرات اندازه گرافیت | -10 ~ -20um |
| 涂层厚度 / ضخامت پوشش | مقدار معمول ≥30um (35um±10um) |
شرکت فناوری انرژی Ningbo VET، یک شرکت فناوری پیشرفته است که بر توسعه و تولید مواد پیشرفته با کیفیت بالا تمرکز دارد. این مواد و فناوری شامل گرافیت، کاربید سیلیکون، سرامیک، عملیات سطحی مانند پوشش SiC، پوشش TaC، پوشش کربن شیشهای، پوشش کربن پیرولیتیک و غیره میشود. این محصولات به طور گسترده در فتوولتائیک، نیمههادی، انرژیهای نو، متالورژی و غیره استفاده میشوند.
تیم فنی ما از برترین موسسات تحقیقاتی داخلی تشکیل شده و فناوریهای ثبت اختراع متعددی را برای تضمین عملکرد و کیفیت محصول توسعه دادهاند، همچنین میتوانند راهحلهای حرفهای در زمینه مواد اولیه را در اختیار مشتریان قرار دهند.
