VET Energy ສຸມໃສ່ການ R&D ແລະການຜະລິດວົງແຫວນ graphite ທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງ CVD tantalum carbide (TaC), ແລະມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສະຫນອງການແກ້ໄຂອຸປະກອນການບໍລິໂພກຫຼັກສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາ semiconductor, photovoltaic ແລະອຸນຫະພູມສູງ. ເຕັກໂນໂລຊີການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD) ຂອງພວກເຮົາທີ່ພັດທະນາຢ່າງເປັນເອກະລາດເຮັດໃຫ້ການເຄືອບ tantalum carbide ຫນາແຫນ້ນແລະເປັນເອກະພາບໃນດ້ານຂອງ substrate graphite ໂດຍຜ່ານຂະບວນການຄວາມແມ່ນຍໍາ, ການປັບປຸງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຂອງຜະລິດຕະພັນທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ (> 3000 ℃), ຄວາມຕ້ານທານ corrosion ແລະການຕໍ່ຕ້ານຄວາມຮ້ອນ, ຍືດອາຍຸການບໍລິການຫຼາຍກ່ວາ 3 ເທົ່າ, ແລະຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທີ່ສົມບູນແບບຂອງລູກຄ້າ.
ຂໍ້ໄດ້ປຽບດ້ານວິຊາການຂອງພວກເຮົາ:
1. ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງ
ໃນບັນຍາກາດທາງອາກາດຂອງ 1200 ℃, ອັດຕາການເພີ່ມນ້ໍາຜຸພັງແມ່ນ ≤0.05mg / cm² / h, ເຊິ່ງຫຼາຍກ່ວາ 3 ເທົ່າຂອງອາຍຸການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງຂອງ graphite ທໍາມະດາ, ແລະເຫມາະສົມສໍາລັບເງື່ອນໄຂວົງຈອນຄວາມຮ້ອນ - ຄວາມເຢັນຄວາມຖີ່ສູງ.
2. ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນຊິລິໂຄນ / ໂລຫະ
ການເຄືອບ TaC ແມ່ນ inert ທີ່ສຸດກັບໂລຫະເຊັ່ນຊິລິຄອນຂອງແຫຼວ (1600 ℃), ອາລູມິນຽມ molten / ທອງແດງ, ແລະອື່ນໆ, ຫຼີກເວັ້ນການຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງໂຄງສ້າງຂອງວົງຄູ່ມືແບບດັ້ງເດີມເນື່ອງຈາກການເຈາະໂລຫະ, ໂດຍສະເພາະແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບ semiconductors ພະລັງງານແລະການຜະລິດ semiconductor ຮຸ່ນທີສາມ.
3. ການປົນເປື້ອນອະນຸພາກຕ່ໍາສຸດ
ຂະບວນການ CVD ບັນລຸຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງເຄືອບ> 99.5% ແລະຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງຫນ້າດິນຂອງRa≤0.2μm, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການຫຼົ່ນລົງຂອງອະນຸພາກຈາກແຫຼ່ງແລະຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຄວາມສະອາດທີ່ເຂັ້ມງວດຂອງຜູ້ຜະລິດ wafer 12 ນິ້ວ.
4. ການຄວບຄຸມຂະຫນາດທີ່ຊັດເຈນ
ການຮັບຮອງເອົາເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາ CNC, ຄວາມທົນທານຂະຫນາດຂອງຊັ້ນຍ່ອຍ graphite ແມ່ນ ± 0.01 ມມ, ແລະການຜິດປົກກະຕິໂດຍລວມຫຼັງຈາກການເຄືອບແມ່ນ <± 5μm, ເຊິ່ງເຫມາະສົມສໍາລັບການຕິດຕັ້ງໃນຫ້ອງອຸປະກອນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບຂອງ ທາຄ ການເຄືອບ | |
| 密度/ ຄວາມຫນາແຫນ້ນ | 14.3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / ການປ່ອຍອາຍພິດສະເພາະ | 0.3 |
| 热膨胀系数 / ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວຄວາມຮ້ອນ | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ ຄວາມແຂງ (HK) | 2000 HK |
| 电阻 / ຕ້ານທານ | 1×10-5 ໂອມ*ຊມ |
| 热稳定性 / ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນ | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / ການປ່ຽນແປງຂະຫນາດຂອງ Graphite | -10~20 ນ |
| 涂层厚度 / ຄວາມຫນາຂອງເຄືອບ | ≥30um ຄ່າປົກກະຕິ (35um±10um) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ເປັນວິສາຫະກິດເຕັກໂນໂລຊີສູງທີ່ສຸມໃສ່ການພັດທະນາແລະການຜະລິດອຸປະກອນການກ້າວຫນ້າທາງດ້ານສູງ, ວັດສະດຸແລະເຕັກໂນໂລຊີລວມທັງ graphite, silicon carbide, ceramics, ການປິ່ນປົວດ້ານເຊັ່ນ: ການເຄືອບ SiC, ການເຄືອບ TaC, ເຄືອບແກ້ວກາກບອນ, ການເຄືອບກາກບອນ pyrolytic, ແລະອື່ນໆ, ຜະລິດຕະພັນເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນ photovoltaic, ພະລັງງານ, semiconductor, ໂລຫະໃຫມ່.
ທີມງານດ້ານວິຊາການຂອງພວກເຮົາມາຈາກສະຖາບັນຄົ້ນຄ້ວາພາຍໃນປະເທດຊັ້ນນໍາ, ແລະໄດ້ພັດທະນາເຕັກໂນໂລຢີທີ່ມີສິດທິບັດຫຼາຍຢ່າງເພື່ອຮັບປະກັນການປະຕິບັດແລະຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນ, ຍັງສາມາດສະຫນອງການແກ້ໄຂວັດສະດຸທີ່ເປັນມືອາຊີບໃຫ້ແກ່ລູກຄ້າ.
