Ширкати VET Energy ба таҳқиқот ва рушд ва истеҳсоли ҳалқаҳои графити бо карбиди тантал (TaC) пӯшонидашудаи баландсифати CVD тамаркуз мекунад ва барои пешниҳоди ҳалли масолеҳи асосии истеъмолӣ барои саноати нимноқилҳо, фотоэлектрикӣ ва ҳарорати баланд саъй мекунад. Технологияи мустақилона таҳияшудаи мо дар буғгузории кимиёвӣ (CVD) тавассути равандҳои дақиқ дар сатҳи зеризаминии графит пӯшиши зич ва якхелаи карбиди танталро ташкил медиҳад, ки муқовимати маҳсулотро ба ҳарорати баланд (>3000℃), муқовимати зангзанӣ ва муқовимати зарбаи гармӣ ба таври назаррас беҳтар мекунад, мӯҳлати хидматро беш аз 3 маротиба дароз мекунад ва хароҷоти ҳамаҷонибаи муштариёнро кам мекунад.
Афзалиятҳои техникии мо:
1. Муқовимати оксидшавии ҳарорати баланд
Дар атмосфераи ҳавоии 1200℃, суръати афзоиши вазни оксидшавӣ ≤0.05 мг/см²/соат аст, ки беш аз 3 маротиба аз мӯҳлати муқовимати оксидшавии графити оддӣ зиёдтар аст ва барои шароити давраи гармкунӣ-хунуккунии басомади баланд мувофиқ аст.
2. Муқовимат ба зангзании кремний/металлии гудохта
Пӯшиши TaC нисбат ба металлҳо, аз қабили кремнийи моеъ (1600℃), алюминий/миси гудохта ва ғайра, хеле инертӣ аст, ки аз вайроншавии сохтории ҳалқаҳои роҳнамои анъанавӣ аз сабаби воридшавии металл пешгирӣ мекунад, махсусан барои нимноқилҳои барқӣ ва истеҳсоли нимноқилҳои насли сеюм мувофиқ аст.
3. Олудашавии хеле ками зарраҳо
Раванди CVD ба зичии пӯшиш >99.5% ва ноҳамвории сатҳи Ra≤0.2μm ноил мегардад, ки хатари рехтани зарраҳоро аз манбаъ кам мекунад ва ба талаботи қатъии тозагии истеҳсолкунандаи вафли 12-дюйма ҷавобгӯ мебошад.
4. Назорати дақиқи андоза
Бо истифода аз коркарди дақиқи CNC, таҳаммулпазирии андозаи субстрати графитӣ ± 0.01 мм аст ва деформатсияи умумӣ пас аз пӯшиш <± 5μm аст, ки барои насб дар камераҳои таҷҳизоти баландсифат мувофиқ аст.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Хусусиятҳои физикии TaC пӯшиш | |
| 密度/ Зичӣ | 14.3 (г/см³) |
| 比辐射率 / Партовҳои мушаххас | 0.3 |
| 热膨胀系数 / Коэффитсиенти васеъшавии гармӣ | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Сахтӣ (HK) | 2000 Ҳонконг |
| 电阻 / Муқовимат | 1×10-5 Ом*см |
| 热稳定性 / Устувории гармӣ | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / Тағйирёбии андозаи графит | -10~-20ум |
| 涂层厚度 / Ғафсии рӯйпӯш | Арзиши маъмулии ≥30um (35um ± 10um) |
Ширкати Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd як корхонаи баландтехнологӣ мебошад, ки ба таҳия ва истеҳсоли маводҳои пешрафтаи баландсифат, мавод ва технологияҳо, аз ҷумла графит, карбиди кремний, керамика, коркарди сатҳӣ ба монанди рӯйпӯши SiC, рӯйпӯши TaC, рӯйпӯши карбонии шишагин, рӯйпӯши карбонии пиролитикӣ ва ғайра тамаркуз мекунад ва ин маҳсулот дар соҳаҳои фотоэлектрикӣ, нимноқилҳо, энергияи нав, металлургия ва ғайра васеъ истифода мешаванд.
Гурӯҳи техникии мо аз муассисаҳои пешбари тадқиқотии ватанӣ иборат аст ва технологияҳои сершумори патентшударо барои таъмини самаранокӣ ва сифати маҳсулот таҳия кардаанд ва инчунин метавонанд ба муштариён роҳҳои ҳалли касбии маводро пешниҳод кунанд.







