VET Energy ба R&D ва истеҳсоли ҳалқаҳои графитии танталии CVD-и баландсифати карбиди (TaC) тамаркуз мекунад ва ӯҳдадор аст, ки барои саноати нимноқилҳо, фотоэлектрикӣ ва ҳарорати баланд ҳалли маводи асосии масрафшавандаро пешниҳод кунад. Технологияи мустақилонаи таҳшинсозии буғи кимиёвии мо (CVD) тавассути равандҳои дақиқ дар сатҳи субстрати графит як қабати зиччи ва якхелаи карбиди танталиро ба вуҷуд оварда, муқовимати баланди ҳарорат (>3000 ℃), муқовимат ба зангзанӣ ва муқовимати зарбаи гармиро ба таври назаррас беҳтар мекунад, мӯҳлати хидматро бо зиёда аз 3 маротиба дароз мекунад ва хароҷоти кам кардани муштариён.
Афзалиятҳои техникии мо:
1. Муқовимати оксидшавии ҳарорати баланд
Дар атмосфераи ҳавои 1200 ℃, суръати афзоиши вазни оксидшавӣ ≤0.05mg/cm²/h аст, ки аз мӯҳлати муқовимати оксидшавӣ аз графити оддӣ 3 маротиба зиёдтар аст ва барои шароити давраи гармидиҳӣ-сардшавии баландбасомад мувофиқ аст.
2. Муқовимат ба зангзании кремний/металл гудохта
Пӯшидани TaC ба металлҳо ба монанди кремнийи моеъ (1600 ℃), алюминийи гудохта / мис ва ғайра бениҳоят ғайрифаъол аст ва аз шикасти сохтории ҳалқаҳои роҳнамои анъанавӣ аз сабаби воридшавии металл пешгирӣ мекунад, махсусан барои нимноқилҳои барқ ва истеҳсоли насли сеюм мувофиқ аст.
3. Ифлосшавии заррачаҳои ултра паст
Раванди CVD ба зичии рӯйпӯши >99,5% ва ноҳамвории рӯи Ra≤0,2μm ноил мешавад, ки хатари рехтани зарраҳоро аз манбаъ коҳиш медиҳад ва ба талаботи қатъии тозагии истеҳсоли вафли 12 дюймӣ ҷавобгӯ аст.
4. Назорати андозаи дақиқ
Қабули коркарди дақиқи CNC, таҳаммулпазирии андозаи субстрати графит ± 0.01 мм ва деформатсияи умумии пас аз пӯшиш <± 5μm аст, ки барои насб дар камераҳои таҷҳизоти дақиқ мувофиқ аст.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Хусусиятҳои физикии TaC пӯшиш | |
| 密度/ Зичии | 14,3 (г/см³) |
| 比辐射率 / Пардохти хоси | 0.3 |
| 热膨胀系数 / Коэффисиенти васеъшавии гармӣ | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Сахтӣ (HK) | 2000 HK |
| 电阻 / Муқовимат | 1×10-5 Ом*см |
| 热稳定性 / Устувории гармӣ | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / Тағйирёбии андозаи графит | -10~-20ум |
| 涂层厚度 / Ғафсии рӯйпӯш | Арзиши маъмулии ≥30um (35um±10um) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd як корхонаи баландтехнологӣ мебошад, ки ба таҳия ва истеҳсоли маводҳои пешрафтаи олӣ, мавод ва технологияҳо, аз ҷумла графит, карбиди кремний, сафолӣ, коркарди рӯизаминӣ ба монанди молидани SiC, молидани TaC, рӯйпӯши карбон шишагӣ, пӯшиши карбон пиролитикӣ ва ғайра нигаронида шудааст.
Дастаи техникии мо аз муассисаҳои олии тадқиқотии ватанӣ меояд ва технологияҳои сершумори патентиро барои таъмини кор ва сифати маҳсулот таҳия кардааст, инчунин метавонад ба мизоҷон ҳалли моддии касбиро пешниҳод кунад.
