Grafitni obroč s prevleko TaC

VET Energy se osredotoča na raziskave in razvoj ter proizvodnjo visokozmogljivih grafitnih obročev s CVD prevleko iz tantalovega karbida (TaC) in je zavezan zagotavljanju ključnih rešitev za potrošne materiale za polprevodniško, fotovoltaično in visokotemperaturno industrijo. Naša neodvisno razvita tehnologija kemičnega nanašanja iz pare (CVD) s preciznimi postopki tvori gosto in enakomerno prevleko tantalovega karbida na površini grafitnega substrata, kar znatno izboljša odpornost izdelka na visoke temperature (> 3000 ℃), odpornost proti koroziji in odpornost na toplotne šoke, s čimer se podaljša življenjska doba za več kot 3-krat in zmanjšajo skupni stroški strank.

Naše tehnične prednosti:
1. Odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah
V zračni atmosferi s temperaturo 1200 ℃ je stopnja oksidacijskega pridobivanja teže ≤ 0,05 mg/cm²/h, kar je več kot 3-krat večja od življenjske dobe oksidacijske odpornosti navadnega grafita in je primerno za visokofrekvenčne cikle ogrevanja in hlajenja.
2. Odpornost proti koroziji staljenega silicija/kovine
Premaz TaC je izjemno inerten do kovin, kot so tekoči silicij (1600 ℃), staljeni aluminij/baker itd., s čimer se izognemo strukturni okvari tradicionalnih vodilnih obročev zaradi prodiranja kovine, kar je še posebej primerno za proizvodnjo močnostnih polprevodnikov in polprevodnikov tretje generacije.
3. Izjemno nizka kontaminacija z delci
Postopek CVD doseže gostoto prevleke > 99,5 % in hrapavost površine Ra ≤ 0,2 μm, kar zmanjša tveganje za odpadanje delcev iz vira in izpolnjuje stroge zahteve glede čistoče pri izdelavi 12-palčnih rezin.
4. Natančen nadzor velikosti
Z uporabo CNC natančne obdelave je toleranca velikosti grafitnega substrata ±0,01 mm, skupna deformacija po nanosu pa <±5 μm, kar je primerno za vgradnjo v komore z visoko natančno opremo.