Cincin Grafit Berlapis TaC

VET Energy berfokus pada R&D dan produksi cincin grafit berlapis karbida tantalum CVD (TaC) berkinerja tinggi, dan berkomitmen untuk menyediakan solusi bahan habis pakai inti untuk industri semikonduktor, fotovoltaik, dan suhu tinggi. Teknologi deposisi uap kimia (CVD) yang kami kembangkan secara independen membentuk lapisan karbida tantalum yang padat dan seragam pada permukaan substrat grafit melalui proses presisi, yang secara signifikan meningkatkan ketahanan suhu tinggi produk (>3000℃), ketahanan korosi, dan ketahanan guncangan termal, memperpanjang masa pakai lebih dari 3 kali lipat, dan mengurangi biaya komprehensif pelanggan.

Keunggulan teknis kami:
1. Tahan terhadap oksidasi suhu tinggi
Dalam atmosfer udara 1200℃, laju pertambahan berat oksidasi adalah ≤0,05mg/cm²/jam, yang mana lebih dari 3 kali masa ketahanan oksidasi grafit biasa, dan cocok untuk kondisi siklus pemanasan-pendinginan frekuensi tinggi.
2. Tahan terhadap korosi silikon cair/logam
Pelapisan TaC sangat lembam terhadap logam seperti silikon cair (1600℃), aluminium/tembaga cair, dll., menghindari kegagalan struktural cincin pemandu tradisional karena penetrasi logam, terutama cocok untuk semikonduktor daya dan manufaktur semikonduktor generasi ketiga.
3. Kontaminasi partikel sangat rendah
Proses CVD mencapai kerapatan lapisan >99,5% dan kekasaran permukaan Ra≤0,2μm, mengurangi risiko terlepasnya partikel dari sumbernya dan memenuhi persyaratan kebersihan yang ketat dari pembuatan wafer 12 inci.
4. Kontrol ukuran yang tepat
Mengadopsi permesinan presisi CNC, toleransi ukuran substrat grafit adalah ±0,01 mm, dan deformasi keseluruhan setelah pelapisan <±5μm, yang cocok untuk pemasangan di ruang peralatan presisi tinggi.