Cincin Grafit Berlapis TaC

VET Energy berfokus pada penelitian dan pengembangan serta produksi cincin grafit berlapis tantalum karbida (TaC) berkinerja tinggi yang dibuat dengan metode CVD, dan berkomitmen untuk menyediakan solusi material habis pakai inti untuk industri semikonduktor, fotovoltaik, dan suhu tinggi. Teknologi deposisi uap kimia (CVD) yang kami kembangkan secara independen membentuk lapisan tantalum karbida yang padat dan seragam pada permukaan substrat grafit melalui proses presisi, secara signifikan meningkatkan ketahanan produk terhadap suhu tinggi (>3000℃), ketahanan terhadap korosi, dan ketahanan terhadap guncangan termal, memperpanjang masa pakai lebih dari 3 kali lipat, dan mengurangi biaya komprehensif pelanggan.

Keunggulan teknis kami:
1. Ketahanan oksidasi suhu tinggi
Dalam atmosfer udara 1200℃, laju peningkatan berat oksidasi adalah ≤0,05 mg/cm²/jam, yang lebih dari 3 kali masa pakai ketahanan oksidasi grafit biasa, dan cocok untuk kondisi siklus pemanasan-pendinginan frekuensi tinggi.
2. Ketahanan terhadap korosi silikon/logam cair
Lapisan TaC sangat inert terhadap logam seperti silikon cair (1600℃), aluminium/tembaga cair, dll., sehingga menghindari kegagalan struktural cincin pemandu tradisional akibat penetrasi logam, terutama cocok untuk semikonduktor daya dan manufaktur semikonduktor generasi ketiga.
3. Kontaminasi partikel sangat rendah
Proses CVD mencapai kepadatan lapisan >99,5% dan kekasaran permukaan Ra≤0,2μm, mengurangi risiko pelepasan partikel dari sumber dan memenuhi persyaratan kebersihan yang ketat dalam pembuatan wafer 12 inci.
4. Kontrol ukuran yang tepat
Dengan mengadopsi pemesinan presisi CNC, toleransi ukuran substrat grafit adalah ±0,01mm, dan deformasi keseluruhan setelah pelapisan adalah <±5μm, yang cocok untuk pemasangan di ruang peralatan presisi tinggi.