Графитен пръстен с TaC покритие

VET Energy се фокусира върху научноизследователската и развойна дейност и производството на високоефективни CVD графитни пръстени с покритие от танталов карбид (TaC) и е ангажирана с предоставянето на решения за основни консумативи за полупроводниковата, фотоволтаичната и високотемпературната индустрии. Нашата независимо разработена технология за химическо отлагане от пари (CVD) образува плътно и равномерно покритие от танталов карбид върху повърхността на графитния субстрат чрез прецизни процеси, значително подобрявайки устойчивостта на продукта на високи температури (>3000℃), устойчивостта на корозия и устойчивостта на термичен удар, удължавайки експлоатационния живот повече от 3 пъти и намалявайки общите разходи на клиентите.

Нашите технически предимства:
1. Устойчивост на окисляване при висока температура
Във въздушна атмосфера с температура 1200℃, скоростта на натрупване на окислително тегло е ≤0,05 mg/cm²/h, което е повече от 3 пъти по-дълго от живота на окислителна устойчивост на обикновения графит и е подходящо за условия на високочестотен цикъл на нагряване-охлаждане.
2. Устойчивост на корозия от разтопен силиций/метал
TaC покритието е изключително инертно към метали като течен силиций (1600℃), разтопен алуминий/мед и др., предотвратявайки структурно разрушаване на традиционните направляващи пръстени поради проникване на метал, особено подходящо за производство на силови полупроводници и полупроводници от трето поколение.
3. Ултраниско замърсяване с частици
CVD процесът постига плътност на покритието >99,5% и грапавост на повърхността Ra≤0,2μm, което намалява риска от отделяне на частици от източника и отговаря на строгите изисквания за чистота при производството на 12-инчови пластини.
4. Прецизен контрол на размера
Чрез прецизна CNC обработка, толерансът на размера на графитната основа е ±0,01 мм, а общата деформация след нанасяне на покритието е <±5 μm, което е подходящо за монтаж в камери за високопрецизно оборудване.