TaC қапталған графит сақинасы

VET Energy компаниясы ҒЗТКЖ және өнімділігі жоғары CVD тантал карбидімен (TaC) қапталған графит сақиналарын өндіруге назар аударады және жартылай өткізгіш, фотоэлектрлік және жоғары температуралық өнеркәсіптер үшін негізгі тұтынылатын материалдар шешімдерін ұсынуға міндеттенеді. Біздің тәуелсіз әзірленген химиялық буларды тұндыру (CVD) технологиямыз дәл процестер арқылы графит негізінің бетінде тығыз және біркелкі тантал карбиді жабынын қалыптастырады, өнімнің жоғары температураға төзімділігін (>3000℃), коррозияға төзімділігін және термиялық соққыға төзімділігін айтарлықтай жақсартады, қызмет мерзімін 3 еседен астам ұзартады және тұтынушылардың шығындарын азайтады.

Біздің техникалық артықшылықтарымыз:
1. Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі
1200℃ ауа атмосферасында тотығу салмағының өсу жылдамдығы ≤0,05мг/см²/сағ құрайды, бұл қарапайым графиттің тотығуға төзімділік мерзімінен 3 есе көп және жоғары жиілікті қыздыру-салқындату циклі жағдайларына жарамды.
2. Балқытылған кремний/металл коррозиясына төзімділік
TaC жабыны сұйық кремний (1600℃), балқытылған алюминий/мыс және т.б. сияқты металдарға өте инертті, металдың енуіне байланысты дәстүрлі бағыттаушы сақиналардың құрылымдық бұзылуын болдырмайды, әсіресе қуатты жартылай өткізгіштер мен үшінші буын жартылай өткізгіштер өндірісі үшін қолайлы.
3. Бөлшектердің өте төмен ластануы
CVD процесі >99,5% жабын тығыздығына және Ra≤0,2μm бетінің кедір-бұдырлығына қол жеткізеді, бұл көзден бөлшектердің төгілу қаупін азайтады және 12 дюймдік вафли өндірісінің қатаң тазалық талаптарына жауап береді.
4. Өлшемді дәл бақылау
CNC дәл өңдеуді қолдана отырып, графиттік негіздің өлшемдік төзімділігі ± 0,01 мм, ал жабудан кейінгі жалпы деформация < ± 5 мкм, бұл жоғары дәлдіктегі жабдық камераларына орнатуға жарамды.