VET Energy компаниясы жоғары өнімді CVD тантал карбиді (TaC) жабынды графит сақиналарын зерттеу және әзірлеуге және өндіруге бағытталған және жартылай өткізгіш, фотоэлектрлік және жоғары температуралы салалар үшін негізгі тұтынылатын материалдық шешімдерді ұсынуға міндеттенеді. Біздің тәуелсіз әзірлеген химиялық бумен тұндыру (CVD) технологиясы дәлдік процестері арқылы графит негізінің бетінде тығыз және біркелкі тантал карбиді жабынын түзеді, бұл өнімнің жоғары температураға төзімділігін (>3000℃), коррозияға төзімділігін және термиялық соққыға төзімділігін айтарлықтай жақсартады, қызмет ету мерзімін 3 еседен астамға ұзартады және тұтынушылардың кешенді шығындарын азайтады.
Біздің техникалық артықшылықтарымыз:
1. Жоғары температурадағы тотығуға төзімділік
1200℃ ауа атмосферасында тотығу салмақ қосу жылдамдығы ≤0,05 мг/см²/сағ құрайды, бұл кәдімгі графиттің тотығуға төзімділік мерзімінен 3 еседен астам және жоғары жиілікті қыздыру-салқындату циклі жағдайларына жарамды.
2. Балқытылған кремний/металл коррозиясына төзімділік
TaC жабыны сұйық кремний (1600℃), балқытылған алюминий/мыс және т.б. сияқты металдарға өте инертті, бұл металл енуіне байланысты дәстүрлі бағыттаушы сақиналардың құрылымдық бұзылуын болдырмайды, әсіресе қуатты жартылай өткізгіштер мен үшінші буын жартылай өткізгіштер өндірісіне жарамды.
3. Бөлшектердің ластануының өте төмен деңгейі
CVD процесі жабын тығыздығы >99,5% және бетінің кедір-бұдырлығы Ra≤0,2 мкм-ге жетеді, бұл бөлшектердің көзден төгілу қаупін азайтады және 12 дюймдік пластина өндірушісінің қатаң тазалық талаптарына сәйкес келеді.
4. Дәл өлшемді бақылау
CNC дәлдікпен өңдеуді қолдана отырып, графит негізінің өлшеміне төзімділік ±0,01 мм, ал жабынмен қапталғаннан кейінгі жалпы деформация <±5 мкм құрайды, бұл жоғары дәлдіктегі жабдық камераларына орнатуға жарамды.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Физикалық қасиеттері TaC жабын | |
| 密度/ Тығыздық | 14,3 (г/см³) |
| 比辐射率 / Меншікті сәулелену | 0,3 |
| 热膨胀系数 / Жылулық кеңею коэффициенті | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Қаттылық (HK) | 2000 Гонконг |
| 电阻 / Қарсылық | 1×10-5 Ом*см |
| 热稳定性 / Термиялық тұрақтылық | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / Графит өлшемінің өзгеруі | -10~-20 мкм |
| 涂层厚度 / Қаптама қалыңдығы | ≥30 мкм типтік мәні (35 мкм ± 10 мкм) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd компаниясы жоғары сапалы озық материалдарды, графит, кремний карбиді, керамика, SiC жабыны, TaC жабыны, шыны көміртекті жабыны, пиролитикалық көміртекті жабыны және т.б. сияқты беттік өңдеуді қамтитын материалдар мен технологияларды әзірлеу мен өндіруге бағытталған жоғары технологиялық кәсіпорын болып табылады, бұл өнімдер фотоэлектрлік, жартылай өткізгіштік, жаңа энергетика, металлургия және т.б. салаларда кеңінен қолданылады.
Біздің техникалық командамыз отандық жетекші ғылыми-зерттеу институттарынан шыққан және өнімнің өнімділігі мен сапасын қамтамасыз ету үшін бірнеше патенттелген технологияларды әзірледі, сонымен қатар тұтынушыларға кәсіби материалдық шешімдер ұсына алады.
