VET Energy, yüksek performanslı CVD tantal karbür (TaC) kaplı grafit halkaların Ar-Ge ve üretimine odaklanmakta olup, yarı iletken, fotovoltaik ve yüksek sıcaklık endüstrileri için temel sarf malzemesi çözümleri sunmayı taahhüt etmektedir. Bağımsız olarak geliştirdiğimiz kimyasal buhar biriktirme (CVD) teknolojisi, hassas işlemler yoluyla grafit alt tabakanın yüzeyinde yoğun ve homojen bir tantal karbür kaplama oluşturarak ürünün yüksek sıcaklık dayanımını (>3000℃), korozyon direncini ve termal şok direncini önemli ölçüde artırır, kullanım ömrünü 3 kattan fazla uzatır ve müşterilerin toplam maliyetlerini düşürür.
Teknik avantajlarımız:
1. Yüksek sıcaklık oksidasyon direnci
1200℃'lik hava ortamında, oksidasyon ağırlık artış hızı ≤0,05 mg/cm²/saat olup, bu değer sıradan grafitin oksidasyona dayanıklılık ömrünün 3 katından fazladır ve yüksek frekanslı ısıtma-soğutma döngüsü koşulları için uygundur.
2. Erimiş silikon/metal korozyonuna karşı direnç
TaC kaplama, sıvı silikon (1600℃), erimiş alüminyum/bakır vb. metallere karşı son derece inerttir ve metal penetrasyonundan kaynaklanan geleneksel kılavuz halkalarının yapısal arızasını önler; özellikle güç yarı iletkenleri ve üçüncü nesil yarı iletken üretiminde kullanıma uygundur.
3. Ultra düşük partikül kirliliği
CVD işlemi, %99,5'in üzerinde bir kaplama yoğunluğu ve Ra≤0,2μm yüzey pürüzlülüğü elde ederek, kaynaktan partikül dökülme riskini azaltır ve 12 inçlik wafer üretiminin katı temizlik gereksinimlerini karşılar.
4. Hassas boyut kontrolü
CNC hassas işleme yöntemi kullanılarak, grafit alt tabakanın boyut toleransı ±0,01 mm'dir ve kaplama sonrası toplam deformasyon <±5 μm'dir; bu da yüksek hassasiyetli ekipman odalarına kurulum için uygundur.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Fiziksel özellikleri TaC kaplama | |
| 密度/ Yoğunluk | 14,3 (g/cm³) |
| fotoğraf / Özgül emisyon | 0.3 |
| Amerika Birleşik Devletleri / Termal genleşme katsayısı | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Sertlik (HK) | 2000 HK |
| 电阻 / Rezistans | 1×10-5 Ohm*cm |
| 热稳定性 / Termal kararlılık | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / Grafit boyut değişiklikleri | -10~-20um |
| 涂层厚度 / Kaplama kalınlığı | ≥30 µm tipik değer (35 µm ± 10 µm) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd, yüksek teknoloji ürünü gelişmiş malzemelerin geliştirilmesi ve üretimine odaklanan bir yüksek teknoloji şirketidir. Ürün yelpazesinde grafit, silisyum karbür, seramik, SiC kaplama, TaC kaplama, camsı karbon kaplama, pirolitik karbon kaplama gibi yüzey işlemleri yer almaktadır. Bu ürünler fotovoltaik, yarı iletken, yeni enerji, metalurji vb. alanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır.
Teknik ekibimiz, yurt içindeki önde gelen araştırma kurumlarından gelmekte olup, ürün performansı ve kalitesini sağlamak için birçok patentli teknoloji geliştirmiştir ve müşterilerine profesyonel malzeme çözümleri de sunabilmektedir.
