TaC Kaplamalı Grafit Yüzük

VET Energy, yüksek performanslı CVD tantal karbür (TaC) kaplamalı grafit halkaların Ar-Ge ve üretimine odaklanmaktadır ve yarı iletken, fotovoltaik ve yüksek sıcaklık endüstrileri için temel sarf malzemesi çözümleri sağlamaya kendini adamıştır. Bağımsız olarak geliştirilen kimyasal buhar biriktirme (CVD) teknolojimiz, hassas işlemler yoluyla grafit alt tabakanın yüzeyinde yoğun ve düzgün bir tantal karbür kaplaması oluşturarak ürünün yüksek sıcaklık direncini (>3000℃), korozyon direncini ve termal şok direncini önemli ölçüde iyileştirir, hizmet ömrünü 3 kattan fazla uzatır ve müşterilerin kapsamlı maliyetlerini azaltır.

Teknik avantajlarımız:
1. Yüksek sıcaklık oksidasyon direnci
1200℃ hava atmosferinde, oksidasyon ağırlık kazanım hızı ≤0,05 mg/cm²/saat olup, sıradan grafitin oksidasyon direnç ömrünün 3 katından fazladır ve yüksek frekanslı ısıtma-soğutma çevrimi koşulları için uygundur.
2. Erimiş silisyum/metal korozyonuna karşı direnç
TaC kaplaması, sıvı silikon (1600℃), erimiş alüminyum/bakır vb. gibi metallere karşı son derece inerttir ve metal penetrasyonu nedeniyle geleneksel kılavuz halkaların yapısal arızasını önler, özellikle güç yarı iletkenleri ve üçüncü nesil yarı iletken üretimi için uygundur.
3. Ultra düşük partikül kontaminasyonu
CVD işlemi, %99,5'ten fazla kaplama yoğunluğu ve Ra≤0,2μm yüzey pürüzlülüğü elde ederek, partikülün kaynaktan dökülme riskini azaltır ve 12 inçlik yonga üretiminin sıkı temizlik gereksinimlerini karşılar.
4. Hassas boyut kontrolü
CNC hassas işleme benimsenerek, grafit alt tabakanın boyut toleransı ±0,01 mm'dir ve kaplamadan sonra genel deformasyon <±5μm'dir, bu da yüksek hassasiyetli ekipman odalarına kurulum için uygundur.