Anellu di grafite rivestitu di TaC

VET Energy si cuncentra nantu à a R&S è a pruduzzione d'anelli di grafite rivestiti di carburo di tantalu (TaC) CVD d'altu rendimentu, è s'impegna à furnisce suluzioni di materiali di cunsumu fundamentali per l'industrie di semiconduttori, fotovoltaichi è à alta temperatura. A nostra tecnulugia di deposizione chimica da vapore (CVD) sviluppata indipindentamente forma un rivestimentu di carburo di tantalu densu è uniforme nantu à a superficia di u sustratu di grafite per mezu di prucessi di precisione, migliurendu significativamente a resistenza à alta temperatura (> 3000 ℃), a resistenza à a corrosione è a resistenza à i shock termichi di u pruduttu, allungendu a vita di serviziu di più di 3 volte è riducendu i costi cumpleti di i clienti.

I nostri vantaghji tecnichi:
1. Resistenza à l'ossidazione à alta temperatura
In una atmosfera d'aria di 1200 ℃, a velocità di guadagnu di pesu di l'ossidazione hè ≤0,05 mg / cm² / h, chì hè più di 3 volte a durata di resistenza à l'ossidazione di a grafite ordinaria, è hè adatta per e cundizioni di u ciclu di riscaldamentu-raffreddamentu d'alta frequenza.
2. Resistenza à a corrosione di u siliciu / metallu fusu
U rivestimentu TaC hè estremamente inerte à i metalli cum'è u siliciu liquidu (1600 ℃), l'aluminiu / rame fusu, ecc., evitendu u fallimentu strutturale di l'anelli di guida tradiziunali per via di a penetrazione di u metallu, particularmente adattatu per i semiconduttori di putenza è a fabricazione di semiconduttori di terza generazione.
3. Cuntaminazione di particelle ultra-bassa
U prucessu CVD righjunghje una densità di rivestimentu di >99,5% è una rugosità superficiale di Ra≤0,2 μm, riducendu u risicu di spargimentu di particelle da a fonte è rispondendu à i rigorosi requisiti di pulizia di a fabricazione di wafer di 12 pollici.
4. Cuntrollu precisu di a taglia
Aduttendu a machinazione di precisione CNC, a tolleranza di dimensione di u substratu di grafite hè ± 0,01 mm, è a deformazione generale dopu u rivestimentu hè <± 5 μm, chì hè adatta per l'installazione in camere di apparecchiature di alta precisione.