Singsing nga Grapiko nga Giputos sa TaC

Ang VET Energy nagpunting sa R&D ug produksiyon sa high-performance CVD tantalum carbide (TaC) coated graphite rings, ug komitado sa paghatag og mga solusyon sa core consumable material para sa semiconductor, photovoltaic ug high-temperature nga mga industriya. Ang among independente nga naugmad nga chemical vapor deposition (CVD) nga teknolohiya nagporma og dasok ug parehas nga tantalum carbide coating sa ibabaw sa graphite substrate pinaagi sa mga proseso sa katukma, nga nagpauswag pag-ayo sa resistensya sa produkto sa taas nga temperatura (>3000℃), resistensya sa corrosion ug resistensya sa thermal shock, nga nagpalugway sa kinabuhi sa serbisyo og sobra sa 3 ka pilo, ug nagpamenos sa komprehensibo nga gasto sa mga kustomer.

Ang among teknikal nga mga bentaha:
1. Taas nga temperatura nga resistensya sa oksihenasyon
Sa atmospera sa hangin nga 1200℃, ang rate sa pagtaas sa timbang sa oksihenasyon kay ≤0.05mg/cm²/h, nga sobra sa 3 ka pilo sa kinabuhi sa resistensya sa oksihenasyon sa ordinaryong graphite, ug angay alang sa mga kondisyon sa high-frequency heating-cooling cycle.
2. Pagsukol sa natunaw nga silicon/metal nga kaagnasan
Ang TaC coating kay hilabihan ka inert sa mga metal sama sa liquid silicon (1600℃), tinunaw nga aluminum/tumbaga, ug uban pa, nga makalikay sa pagkapakyas sa istruktura sa tradisyonal nga guide rings tungod sa pagsulod sa metal, ilabi na nga angay alang sa mga power semiconductors ug third-generation semiconductor manufacturing.
3. Ubos kaayo nga kontaminasyon sa partikulo
Ang proseso sa CVD nakakab-ot og coating density nga >99.5% ug surface roughness nga Ra≤0.2μm, nga nagpamenos sa risgo sa pagkahulog sa particle gikan sa tinubdan ug nakab-ot ang estrikto nga mga kinahanglanon sa kalimpyo sa 12-pulgada nga paggama og wafer.
4. Tukma nga pagkontrol sa gidak-on
Nagsagop sa CNC precision machining, ang tolerance sa gidak-on sa graphite substrate kay ±0.01mm, ug ang kinatibuk-ang deformation human sa coating kay <±5μm, nga angay alang sa pag-instalar sa mga high-precision equipment chambers.