TaC Coated Graphite Ring

Ang VET Energy nagtutok sa R&D ug produksyon sa high-performance CVD tantalum carbide (TaC) coated graphite rings, ug komitado sa paghatag ug core consumable material solutions para sa semiconductor, photovoltaic ug high-temperature nga mga industriya. Ang among independente nga naugmad nga chemical vapor deposition (CVD) nga teknolohiya nagporma usa ka dasok ug uniporme nga tantalum carbide coating sa nawong sa graphite substrate pinaagi sa mga proseso sa katukma, nga hinungdanon nga gipauswag ang taas nga temperatura nga pagsukol sa produkto (> 3000 ℃), resistensya sa kaagnasan ug resistensya sa thermal shock, pagpalugway sa serbisyo sa kinabuhi sa labaw pa sa 3 ka beses, ug pagkunhod sa komprehensibo nga gasto sa mga kustomer.

Ang among teknikal nga mga bentaha:
1. Taas nga temperatura nga pagsukol sa oksihenasyon
Sa usa ka atmospera sa hangin nga 1200 ℃, ang rate sa pagtaas sa gibug-aton sa oksihenasyon mao ang ≤0.05mg / cm² / h, nga labaw pa sa 3 ka beses ang kinabuhi sa pagsukol sa oksihenasyon sa ordinaryong graphite, ug angay alang sa mga kondisyon sa siklo sa pagpainit-pagpabugnaw sa taas nga frequency.
2. Pagbatok sa tinunaw nga silicon/metal corrosion
Ang TaC coating hilabihan ka inert sa mga metal sama sa liquid silicon (1600 ℃), molten aluminum/copper, ug uban pa, paglikay sa structural failure sa tradisyonal nga guide rings tungod sa metal penetration, ilabi na nga angay alang sa power semiconductors ug third-generation semiconductor manufacturing.
3. Ultra-ubos nga kontaminasyon sa partikulo
Ang proseso sa CVD nakab-ot ang usa ka coating density sa> 99.5% ug ang usa ka roughness sa nawong sa Ra≤0.2μm, nga nakunhuran ang peligro sa pag-ula sa partikulo gikan sa gigikanan ug gitagbo ang higpit nga mga kinahanglanon sa kalimpyo sa 12-pulgada nga wafer manufacturin.
4. Tukma nga pagkontrol sa gidak-on
Ang pagsagop sa CNC precision machining, ang gidak-on nga tolerance sa graphite substrate mao ang ± 0.01mm, ug ang kinatibuk-ang deformation human sa coating mao ang <± 5μm, nga angay alang sa pag-instalar sa mga high-precision equipment chambers.