VET Energy e taulaʻi i le R&D ma le gaosiga o le CVD tantalum carbide (TaC) faʻapipiʻiina mama graphite maualuga, ma o loʻo tuuto atu i le tuʻuina atu o vaifofo mea faʻaaogaina mo semiconductor, photovoltaic ma le maualuga o le vevela. O a matou tekinolosi faʻapipiʻi faʻamaʻi (CVD) faʻapitoa e faʻapipiʻiina ai le tantalum carbide coating i luga o le pito i luga o le graphite substrate e ala i faiga saʻo, faʻaleleia atili le maualuga o le vevela o le oloa (> 3000 ℃), teteʻe ma le teteʻi vevela, faʻalauteleina le ola tautua e sili atu i le 3 taimi, ma faʻaitiitia ai le tau o tagata faʻatau.
O matou tulaga lelei faʻapitoa:
1. maualuga le vevela oxidation tetee
I totonu o le ea ea o le 1200 ℃, o le fua faatatau o le mamafa o le faʻamaʻiina o le ≤0.05mg / cm² / h, e sili atu nai lo le 3 taimi o le ola faʻamaʻi faʻamaʻi o le graphite masani, ma e talafeagai mo tulaga maualuga o le faʻavevelaina-malulu.
2. Tete'e i le silikoni u'amea/mea pala
TaC coating e matua le aoga i metals e pei o le silikoni vai (1600 ℃), alumini uʻamea / kopa, ma isi, aloese mai le faʻaogaina o le faʻaogaina o mama taiala masani ona o le faʻaogaina o uʻamea, aemaise lava mo le eletise eletise ma le tolu-tupulaga semiconductor gaosiga.
3. Ultra-maualalo vaega fa'aleagaina
O le faagasologa o le CVD e maua ai le maualuga o le ufiufi o> 99.5% ma le maualuga o le Ra≤0.2μm, faʻaitiitia ai le lamatiaga o le faʻamaligiina o vaega mai le puna ma faʻafeiloaʻi manaoga mama mama o 12-inisi wafer manufacturin.
4. Sa'o le tele o le pulea
Faʻaaogaina le faʻaogaina o le CNC, o le tele o le faapalepale o le graphite substrate o le ± 0.01mm, ma le faʻasologa atoa pe a uma le faʻapipiʻiina o le <± 5μm, lea e talafeagai mo le faʻapipiʻiina i totonu o potu meafaigaluega maualuga.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Meatotino faaletino o TaC ufiufi | |
| 密度/ Malosi | 14.3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Emisi fa'apitoa | 0.3 |
| 热膨胀系数 / Fa'aalili fa'alauteleina o le vevela | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Malosi (HK) | 2000 HK |
| 电阻 / Tetee | 1×10-5 Ohm*cm |
| 热稳定性 / Mausali le vevela | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / Suiga le tele o le kalafi | -10~-20um |
| 涂层厚度 / Ufiufi mafiafia | ≥30um tau masani (35um±10um) |
Ningbo VET Malosiaga Tekonolosi Co., Ltd o se atinaʻe tekonolosi maualuga e taulaʻi i le atinaʻeina ma le gaosiga o mea maualuga maualuga, o mea ma tekinolosi e aofia ai graphite, silicon carbide, ceramics, togafitiga luga e pei o le SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, ma isi, o nei oloa e faʻaaogaina lautele i le photovoltaic, semiconductor, malosi fou, malosi fou.
O la matou 'au fa'atekinisi e sau mai fa'alapotopotoga su'esu'e i totonu o le atunu'u, ma ua fa'atupuina le tele o tekonolosi pateni e fa'amautinoa ai le fa'atinoga o oloa ma le lelei, e mafai fo'i ona tu'uina atu i tagata fa'atau ni fofo fa'apolofesa.
