TaC dengtas grafito žiedas

„VET Energy“ daugiausia dėmesio skiria didelio našumo CVD tantalo karbido (TaC) dengtų grafito žiedų moksliniams tyrimams ir plėtrai bei gamybai ir yra įsipareigojusi tiekti šerdies eksploatacinių medžiagų sprendimus puslaidininkių, fotovoltinių ir aukštos temperatūros pramonės šakoms. Mūsų nepriklausomai sukurta cheminio garų nusodinimo (CVD) technologija, taikant tikslius procesus, suformuoja tankią ir vienodą tantalo karbido dangą ant grafito pagrindo paviršiaus, žymiai pagerindama gaminio atsparumą aukštai temperatūrai (> 3000 ℃), atsparumą korozijai ir šiluminiam smūgiui, pailgindama tarnavimo laiką daugiau nei 3 kartus ir sumažindama klientų bendras išlaidas.

Mūsų techniniai pranašumai:
1. Atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje
1200 ℃ oro atmosferoje oksidacijos svorio padidėjimo greitis yra ≤0,05 mg/cm²/h, tai yra daugiau nei 3 kartus didesnis nei įprasto grafito oksidacijos atsparumo laikas ir tinka aukšto dažnio šildymo-aušinimo ciklo sąlygoms.
2. Atsparumas išlydyto silicio / metalo korozijai
TaC danga yra itin inertiška tokiems metalams kaip skystas silicis (1600 ℃), išlydytas aliuminis / varis ir kt., todėl išvengiama tradicinių kreipiamųjų žiedų struktūrinių gedimų dėl metalo įsiskverbimo, ypač tinka galios puslaidininkiams ir trečios kartos puslaidininkių gamybai.
3. Itin mažas dalelių užterštumas
CVD procesu pasiekiamas >99,5 % dangos tankis ir Ra≤0,2 μm paviršiaus šiurkštumas, taip sumažinant dalelių išsiskyrimo iš šaltinio riziką ir laikantis griežtų 12 colių plokštelių gamybos švaros reikalavimų.
4. Tikslus dydžio valdymas
Pritaikius CNC tikslų apdirbimą, grafito substrato dydžio tolerancija yra ±0,01 mm, o bendra deformacija po padengimo yra <±5μm, todėl tinka montuoti didelio tikslumo įrangos kamerose.