VET Energy fokuserer på forskning og utvikling og produksjon av høytytende CVD-tantalkarbid (TaC)-belagte grafittringer, og er forpliktet til å tilby kjernematerialeløsninger for halvleder-, solcelle- og høytemperaturindustrier. Vår uavhengig utviklede kjemiske dampavsetningsteknologi (CVD) danner et tett og jevnt tantalkarbidbelegg på overflaten av grafittsubstratet gjennom presisjonsprosesser, noe som forbedrer produktets høye temperaturmotstand (>3000 ℃), korrosjonsmotstand og termiske sjokkmotstand betydelig, forlenger levetiden med mer enn 3 ganger og reduserer kundenes totalkostnader.
Våre tekniske fordeler:
1. Høy temperatur oksidasjonsmotstand
I en luftatmosfære på 1200 ℃ er oksidasjonsvektøkningshastigheten ≤0,05 mg/cm²/t, som er mer enn 3 ganger oksidasjonsmotstandslevetiden til vanlig grafitt, og er egnet for høyfrekvente oppvarmings- og kjølesyklusforhold.
2. Motstand mot korrosjon av smeltet silisium/metall
TaC-belegg er ekstremt inert overfor metaller som flytende silisium (1600 ℃), smeltet aluminium/kobber, etc., og unngår strukturell svikt i tradisjonelle føringsringer på grunn av metallpenetrasjon, spesielt egnet for krafthalvledere og tredjegenerasjons halvlederproduksjon.
3. Ultralav partikkelforurensning
CVD-prosessen oppnår en beleggtetthet på >99,5 % og en overflateruhet på Ra≤0,2 μm, noe som reduserer risikoen for partikkelavgivelse fra kilden og oppfyller de strenge renhetskravene til 12-tommers waferprodusenter.
4. Presis størrelseskontroll
Ved bruk av CNC-presisjonsmaskinering er størrelsestoleransen for grafittsubstratet ±0,01 mm, og den totale deformasjonen etter belegg er <±5 μm, noe som er egnet for installasjon i høypresisjonsutstyrskamre.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Fysiske egenskaper til TaC belegg | |
| 密度/ Tetthet | 14,3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Spesifikk emissivitet | 0,3 |
| 热膨胀系数 / Termisk ekspansjonskoeffisient | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Hardhet (HK) | 2000 Hongkong |
| 电阻 / Motstand | 1×10-5 Ohm*cm |
| 热稳定性 / Termisk stabilitet | <2500 ℃ |
| 石墨尺寸变化 / Endringer i grafittstørrelse | -10~-20um |
| 涂层厚度 / Beleggtykkelse | ≥30um typisk verdi (35um ± 10um) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd er en høyteknologisk bedrift som fokuserer på utvikling og produksjon av avanserte materialer i høy kvalitet. Materialene og teknologien inkluderer grafitt, silisiumkarbid, keramikk, overflatebehandling som SiC-belegg, TaC-belegg, glassaktig karbonbelegg, pyrolytisk karbonbelegg, etc. Disse produktene er mye brukt innen solcellepanel, halvledere, ny energi, metallurgi, etc.
Vårt tekniske team kommer fra ledende innenlandske forskningsinstitusjoner, og har utviklet flere patenterte teknologier for å sikre produktets ytelse og kvalitet, og kan også gi kundene profesjonelle materialløsninger.
