Vòng than chì phủ TaC

VET Energy tập trung vào nghiên cứu, phát triển và sản xuất vòng than chì phủ cacbua tantan (TaC) CVD hiệu suất cao, cam kết cung cấp các giải pháp vật liệu tiêu hao cốt lõi cho ngành công nghiệp bán dẫn, quang điện và nhiệt độ cao. Công nghệ lắng đọng hơi hóa học (CVD) do chúng tôi tự phát triển tạo ra lớp phủ cacbua tantan dày đặc và đồng nhất trên bề mặt chất nền than chì thông qua các quy trình chính xác, cải thiện đáng kể khả năng chịu nhiệt độ cao (>3000℃), khả năng chống ăn mòn và khả năng chống sốc nhiệt của sản phẩm, kéo dài tuổi thọ hơn 3 lần và giảm chi phí tổng thể cho khách hàng.

Ưu điểm kỹ thuật của chúng tôi:
1. Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao
Trong môi trường không khí ở 1200℃, tốc độ tăng trọng lượng do oxy hóa là ≤0,05mg/cm²/h, cao hơn gấp 3 lần so với than chì thông thường và phù hợp với điều kiện chu kỳ gia nhiệt-làm mát tần số cao.
2. Khả năng chống ăn mòn do silic/kim loại nóng chảy
Lớp phủ TaC cực kỳ trơ với các kim loại như silicon lỏng (1600℃), nhôm/đồng nóng chảy, v.v., tránh được sự hư hỏng cấu trúc của các vòng dẫn hướng truyền thống do sự xâm nhập của kim loại, đặc biệt thích hợp cho sản xuất chất bán dẫn công suất và chất bán dẫn thế hệ thứ ba.
3. Ô nhiễm hạt cực thấp
Quy trình CVD đạt được mật độ lớp phủ >99,5% và độ nhám bề mặt Ra≤0,2μm, giảm nguy cơ phát tán hạt từ nguồn và đáp ứng các yêu cầu về độ sạch nghiêm ngặt trong sản xuất tấm wafer 12 inch.
4. Kiểm soát kích thước chính xác
Nhờ sử dụng công nghệ gia công chính xác CNC, dung sai kích thước của chất nền than chì là ±0,01mm, và độ biến dạng tổng thể sau khi phủ là <±5μm, phù hợp để lắp đặt trong các buồng thiết bị có độ chính xác cao.