Vòng Graphite phủ TaC

VET Energy tập trung vào R&D và sản xuất vòng graphite phủ tantalum carbide (TaC) CVD hiệu suất cao, và cam kết cung cấp các giải pháp vật liệu tiêu hao cốt lõi cho các ngành công nghiệp bán dẫn, quang điện và nhiệt độ cao. Công nghệ lắng đọng hơi hóa học (CVD) do chúng tôi phát triển độc lập tạo thành lớp phủ tantalum carbide dày đặc và đồng đều trên bề mặt của chất nền graphite thông qua các quy trình chính xác, cải thiện đáng kể khả năng chịu nhiệt độ cao (>3000℃), khả năng chống ăn mòn và khả năng chống sốc nhiệt của sản phẩm, kéo dài tuổi thọ hơn 3 lần và giảm chi phí toàn diện cho khách hàng.

Ưu điểm kỹ thuật của chúng tôi:
1. Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao
Trong môi trường không khí ở nhiệt độ 1200℃, tốc độ tăng trọng lượng oxy hóa là ≤0,05mg/cm²/h, cao hơn gấp 3 lần tuổi thọ chống oxy hóa của than chì thông thường và phù hợp với điều kiện chu trình gia nhiệt-làm mát tần số cao.
2. Khả năng chống ăn mòn silicon/kim loại nóng chảy
Lớp phủ TaC cực kỳ trơ với các kim loại như silicon lỏng (1600℃), nhôm/đồng nóng chảy, v.v., tránh được tình trạng hỏng hóc cấu trúc của các vòng dẫn hướng truyền thống do kim loại xâm nhập, đặc biệt phù hợp với sản xuất chất bán dẫn công suất và thế hệ thứ ba.
3. Ô nhiễm hạt cực thấp
Quy trình CVD đạt được mật độ phủ >99,5% và độ nhám bề mặt Ra≤0,2μm, giúp giảm nguy cơ hạt rơi ra từ nguồn và đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt về độ sạch của nhà sản xuất wafer 12 inch.
4. Kiểm soát kích thước chính xác
Áp dụng gia công chính xác CNC, dung sai kích thước của lớp nền graphite là ±0,01mm và độ biến dạng tổng thể sau khi phủ là <±5μm, phù hợp để lắp đặt trong các buồng thiết bị có độ chính xác cao.