VET Energy memberi tumpuan kepada R&D dan pengeluaran cincin grafit bersalut tantalum karbida CVD (TaC) berprestasi tinggi, dan komited untuk menyediakan penyelesaian bahan habis guna teras untuk industri semikonduktor, fotovoltaik dan suhu tinggi. Teknologi pemendapan wap kimia (CVD) yang dibangunkan secara bebas kami membentuk salutan tantalum karbida yang padat dan seragam pada permukaan substrat grafit melalui proses ketepatan, meningkatkan rintangan suhu tinggi produk (>3000℃), rintangan kakisan dan rintangan kejutan haba dengan ketara, memanjangkan hayat perkhidmatan lebih daripada 3 kali ganda, dan mengurangkan kos komprehensif pelanggan.
Kelebihan teknikal kami:
1. Rintangan pengoksidaan suhu tinggi
Dalam atmosfera udara 1200℃, kadar pertambahan berat pengoksidaan ialah ≤0.05mg/cm²/j, iaitu lebih daripada 3 kali ganda jangka hayat rintangan pengoksidaan grafit biasa, dan sesuai untuk keadaan kitaran pemanasan-penyejukan frekuensi tinggi.
2. Rintangan terhadap kakisan silikon/logam cair
Salutan TaC sangat lengai terhadap logam seperti silikon cecair (1600℃), aluminium/kuprum cair, dan sebagainya, mengelakkan kegagalan struktur cincin panduan tradisional akibat penembusan logam, terutamanya sesuai untuk semikonduktor kuasa dan pembuatan semikonduktor generasi ketiga.
3. Pencemaran zarah ultra rendah
Proses CVD mencapai ketumpatan salutan >99.5% dan kekasaran permukaan Ra≤0.2μm, mengurangkan risiko penumpahan zarah dari sumber dan memenuhi keperluan kebersihan yang ketat bagi pembuatan wafer 12 inci.
4. Kawalan saiz yang tepat
Dengan pemesinan ketepatan CNC, toleransi saiz substrat grafit ialah ±0.01mm, dan ubah bentuk keseluruhan selepas salutan ialah <±5μm, yang sesuai untuk pemasangan dalam ruang peralatan berketepatan tinggi.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Sifat fizikal bagi TaC salutan | |
| 密度Ketumpatan | 14.3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Emisiviti khusus | 0.3 |
| 热膨胀系数 / Pekali pengembangan haba | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Kekerasan (HK) | 2000 HK |
| 电阻 / Rintangan | 1×10-5 Ohm*cm |
| 热稳定性 / Kestabilan terma | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / Perubahan saiz grafit | -10~-20um |
| 涂层厚度 / Ketebalan salutan | Nilai tipikal ≥30um (35um±10um) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd merupakan sebuah perusahaan berteknologi tinggi yang menumpukan pada pembangunan dan pengeluaran bahan canggih mewah, bahan dan teknologi termasuk grafit, silikon karbida, seramik, rawatan permukaan seperti salutan SiC, salutan TaC, salutan karbon berkaca, salutan karbon pirolitik, dan sebagainya, produk ini digunakan secara meluas dalam fotovoltaik, semikonduktor, tenaga baharu, metalurgi, dan sebagainya.
Pasukan teknikal kami datang dari institusi penyelidikan domestik terkemuka, dan telah membangunkan pelbagai teknologi berpaten untuk memastikan prestasi dan kualiti produk, juga boleh menyediakan penyelesaian bahan profesional kepada pelanggan.
