Grafitni prsten obložen TaC-om

VET Energy se fokusira na istraživanje i razvoj i proizvodnju visokoučinkovitih CVD grafitnih prstenova obloženih tantal karbidom (TaC) i posvećen je pružanju rješenja za potrošne materijale za poluprovodničku, fotonaponsku i visokotemperaturnu industriju. Naša nezavisno razvijena tehnologija hemijskog taloženja iz pare (CVD) formira gusti i ujednačeni premaz tantal karbida na površini grafitne podloge kroz precizne procese, značajno poboljšavajući otpornost proizvoda na visoke temperature (>3000℃), otpornost na koroziju i otpornost na termalne udare, produžavajući vijek trajanja za više od 3 puta i smanjujući sveukupne troškove kupaca.

Naše tehničke prednosti:
1. Otpornost na oksidaciju na visokim temperaturama
U atmosferi zraka temperature od 1200℃, brzina oksidacijskog dobitka težine je ≤0,05 mg/cm²/h, što je više od 3 puta duže od vijeka trajanja otpornosti na oksidaciju običnog grafita, te je pogodno za visokofrekventne cikluse zagrijavanja i hlađenja.
2. Otpornost na koroziju rastopljenog silicija/metala
TaC premaz je izuzetno inertan prema metalima kao što su tečni silicijum (1600℃), rastopljeni aluminijum/bakar itd., izbjegavajući strukturni kvar tradicionalnih vodećih prstenova zbog prodiranja metala, posebno pogodan za proizvodnju energetskih poluprovodnika i poluprovodnika treće generacije.
3. Ultra-niska kontaminacija česticama
CVD proces postiže gustoću premaza od >99,5% i hrapavost površine od Ra ≤ 0,2 μm, smanjujući rizik od rasipanja čestica s izvora i ispunjavajući stroge zahtjeve čistoće za proizvodnju 12-inčnih pločica.
4. Precizna kontrola veličine
Usvajanjem precizne CNC obrade, tolerancija veličine grafitne podloge je ±0,01 mm, a ukupna deformacija nakon premazivanja je <±5 μm, što je pogodno za ugradnju u komore visokoprecizne opreme.