VET ಎನರ್ಜಿಯು ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ CVD ಟ್ಯಾಂಟಲಮ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (TaC) ಲೇಪಿತ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಉಂಗುರಗಳ ಸಂಶೋಧನೆ ಮತ್ತು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯ ಮೇಲೆ ಕೇಂದ್ರೀಕರಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅರೆವಾಹಕ, ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಿಗೆ ಪ್ರಮುಖ ಉಪಭೋಗ್ಯ ವಸ್ತು ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸಲು ಬದ್ಧವಾಗಿದೆ. ನಮ್ಮ ಸ್ವತಂತ್ರವಾಗಿ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಿದ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (CVD) ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ನಿಖರವಾದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳ ಮೂಲಕ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ದಟ್ಟವಾದ ಮತ್ತು ಏಕರೂಪದ ಟ್ಯಾಂಟಲಮ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನವನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತದೆ, ಉತ್ಪನ್ನದ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು (>3000℃), ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ಆಘಾತ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ, ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು 3 ಪಟ್ಟು ಹೆಚ್ಚು ವಿಸ್ತರಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಗ್ರಾಹಕರ ಸಮಗ್ರ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ನಮ್ಮ ತಾಂತ್ರಿಕ ಅನುಕೂಲಗಳು:
1. ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಪ್ರತಿರೋಧ
1200℃ ಗಾಳಿಯ ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿ, ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ತೂಕ ಹೆಚ್ಚಳ ದರ ≤0.05mg/cm²/h ಆಗಿರುತ್ತದೆ, ಇದು ಸಾಮಾನ್ಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ನ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಪ್ರತಿರೋಧದ ಜೀವಿತಾವಧಿಗಿಂತ 3 ಪಟ್ಟು ಹೆಚ್ಚು ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಆವರ್ತನದ ತಾಪನ-ತಂಪಾಗಿಸುವ ಚಕ್ರ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
2. ಕರಗಿದ ಸಿಲಿಕಾನ್/ಲೋಹದ ಸವೆತಕ್ಕೆ ಪ್ರತಿರೋಧ
TaC ಲೇಪನವು ದ್ರವ ಸಿಲಿಕಾನ್ (1600℃), ಕರಗಿದ ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ/ತಾಮ್ರ ಇತ್ಯಾದಿ ಲೋಹಗಳಿಗೆ ಅತ್ಯಂತ ಜಡವಾಗಿದೆ, ಲೋಹದ ನುಗ್ಗುವಿಕೆಯಿಂದಾಗಿ ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿ ಉಂಗುರಗಳ ರಚನಾತ್ಮಕ ವೈಫಲ್ಯವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸುತ್ತದೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ವಿದ್ಯುತ್ ಅರೆವಾಹಕಗಳು ಮತ್ತು ಮೂರನೇ ತಲೆಮಾರಿನ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
3. ಅತಿ ಕಡಿಮೆ ಕಣ ಮಾಲಿನ್ಯ
CVD ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು >99.5% ನಷ್ಟು ಲೇಪನ ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು Ra≤0.2μm ನ ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನವನ್ನು ಸಾಧಿಸುತ್ತದೆ, ಮೂಲದಿಂದ ಕಣಗಳು ಚೆಲ್ಲುವ ಅಪಾಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು 12-ಇಂಚಿನ ವೇಫರ್ ತಯಾರಕರ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಶುಚಿತ್ವದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ.
4. ನಿಖರವಾದ ಗಾತ್ರ ನಿಯಂತ್ರಣ
CNC ನಿಖರ ಯಂತ್ರವನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವುದರಿಂದ, ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ತಲಾಧಾರದ ಗಾತ್ರದ ಸಹಿಷ್ಣುತೆ ± 0.01mm, ಮತ್ತು ಲೇಪನದ ನಂತರ ಒಟ್ಟಾರೆ ವಿರೂಪತೆಯು ± 5μm ಆಗಿದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಸಲಕರಣೆ ಕೋಣೆಗಳಲ್ಲಿ ಅಳವಡಿಸಲು ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 ಭೌತಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಟಾಕ್ ಲೇಪನ | |
| 密度/ ಸಾಂದ್ರತೆ | ೧೪.೩ (ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ³) |
| 比辐射率 / ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಹೊರಸೂಸುವಿಕೆ | 0.3 |
| 热膨胀系数 / ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕ | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ ಗಡಸುತನ (HK) | 2000 ಹಾಂಗ್ ಕಾಂಗ್ |
| 电阻 / ಪ್ರತಿರೋಧ | 1 × 10-5 ಓಮ್*ಸೆಂ |
| 热稳定性 / ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಗಾತ್ರ ಬದಲಾವಣೆಗಳು | -10~-20um |
| 涂层厚度 / ಲೇಪನದ ದಪ್ಪ | ≥30um ವಿಶಿಷ್ಟ ಮೌಲ್ಯ (35um±10um) |
ನಿಂಗ್ಬೋ VET ಎನರ್ಜಿ ಟೆಕ್ನಾಲಜಿ ಕಂ., ಲಿಮಿಟೆಡ್ ಒಂದು ಹೈಟೆಕ್ ಉದ್ಯಮವಾಗಿದ್ದು, ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್, ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್, SiC ಲೇಪನದಂತಹ ಮೇಲ್ಮೈ ಚಿಕಿತ್ಸೆ, TaC ಲೇಪನ, ಗಾಜಿನ ಕಾರ್ಬನ್ ಲೇಪನ, ಪೈರೋಲಿಟಿಕ್ ಕಾರ್ಬನ್ ಲೇಪನ, ಇತ್ಯಾದಿ ಸೇರಿದಂತೆ ಉನ್ನತ-ಮಟ್ಟದ ಸುಧಾರಿತ ವಸ್ತುಗಳ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಮೇಲೆ ಕೇಂದ್ರೀಕರಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ, ಅರೆವಾಹಕ, ಹೊಸ ಶಕ್ತಿ, ಲೋಹಶಾಸ್ತ್ರ, ಇತ್ಯಾದಿಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ನಮ್ಮ ತಾಂತ್ರಿಕ ತಂಡವು ಉನ್ನತ ದೇಶೀಯ ಸಂಶೋಧನಾ ಸಂಸ್ಥೆಗಳಿಂದ ಬಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪನ್ನದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಬಹು ಪೇಟೆಂಟ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಿದೆ, ಗ್ರಾಹಕರಿಗೆ ವೃತ್ತಿಪರ ವಸ್ತು ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ಸಹ ಒದಗಿಸಬಹುದು.
