Графитен прстен обложен со TaC

VET Energy се фокусира на истражување и развој и производство на високо-перформансни графитни прстени обложени со CVD тантал карбид (TaC) и е посветена на обезбедување решенија за основни потрошни материјали за полупроводнички, фотоволтаични и високотемпературни индустрии. Нашата независно развиена технологија за хемиско таложење на пареа (CVD) формира густ и униформен тантал карбиден слој на површината на графитната подлога преку прецизни процеси, значително подобрувајќи ја отпорноста на производот на високи температури (>3000℃), отпорноста на корозија и отпорноста на термички шок, продолжувајќи го работниот век за повеќе од 3 пати и намалувајќи ги вкупните трошоци на клиентите.

Нашите технички предности:
1. Отпорност на оксидација на висока температура
Во воздушна атмосфера од 1200℃, стапката на зголемување на тежината при оксидација е ≤0,05mg/cm²/h, што е повеќе од 3 пати подолго од животниот век на отпорност на оксидација на обичниот графит и е погодно за услови на високофреквентен циклус на загревање-ладење.
2. Отпорност на корозија од стопен силициум/метал
TaC премазот е исклучително инертен кон метали како што се течен силициум (1600℃), стопен алуминиум/бакар итн., избегнувајќи структурно оштетување на традиционалните водилки поради пенетрација на метал, особено погоден за производство на енергетски полупроводници и полупроводници од трета генерација.
3. Ултра ниска контаминација со честички
CVD процесот постигнува густина на обложување од >99,5% и површинска грубост од Ra≤0,2μm, намалувајќи го ризикот од исфрлање на честички од изворот и исполнувајќи ги строгите барања за чистота на производството на плочки од 12 инчи.
4. Прецизна контрола на големината
Со примена на прецизна CNC обработка, толеранцијата на големината на графитната подлога е ±0,01 mm, а вкупната деформација по обложувањето е <±5 μm, што е погодно за инсталација во комори со високопрецизна опрема.