ចិញ្ចៀនក្រាហ្វីតស្រោបដោយ TaC

ក្រុមហ៊ុន VET Energy ផ្តោតលើការស្រាវជ្រាវ និងអភិវឌ្ឍន៍ (R&D) និងការផលិតចិញ្ចៀនក្រាហ្វីតដែលស្រោបដោយសារធាតុ CVD (TaC) ដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ ហើយប្តេជ្ញាផ្តល់នូវដំណោះស្រាយសម្ភារៈស្នូលដែលអាចប្រើប្រាស់បានសម្រាប់ឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ ថាមពលពន្លឺព្រះអាទិត្យ និងឧស្សាហកម្មសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ បច្ចេកវិទ្យាដាក់ចំហាយគីមី (CVD) ដែលបង្កើតឡើងដោយឯករាជ្យរបស់យើងបង្កើតបានជាថ្នាំកូតកាប៊ីតតាតាលូមក្រាស់ និងឯកសណ្ឋាននៅលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ក្រាហ្វីតតាមរយៈដំណើរការជាក់លាក់ ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំងនូវភាពធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ (>3000℃) ភាពធន់នឹងការច្រេះ និងភាពធន់នឹងការឆក់កម្ដៅ ដែលពន្យារអាយុកាលសេវាកម្មជាង 3 ដង និងកាត់បន្ថយការចំណាយទូទៅរបស់អតិថិជន។

គុណសម្បត្តិបច្ចេកទេសរបស់យើង៖
1. ធន់នឹងអុកស៊ីតកម្មសីតុណ្ហភាពខ្ពស់
នៅក្នុងបរិយាកាសខ្យល់ 1200 ℃ អត្រាឡើងទម្ងន់អុកស៊ីតកម្មគឺ ≤0.05mg/cm²/h ដែលច្រើនជាង 3 ដងនៃអាយុកាលធន់នឹងអុកស៊ីតកម្មរបស់ក្រាហ្វីតធម្មតា ហើយវាសមស្របសម្រាប់លក្ខខណ្ឌវដ្តកំដៅ-ត្រជាក់ប្រេកង់ខ្ពស់។
2. ភាពធន់នឹងការច្រេះស៊ីលីកុន/លោហៈរលាយ
ថ្នាំកូត TaC គឺអសកម្មខ្លាំងចំពោះលោហធាតុដូចជាស៊ីលីកុនរាវ (1600℃) អាលុយមីញ៉ូម/ទង់ដែងរលាយ ជាដើម ដែលជៀសវាងការបរាជ័យនៃរចនាសម្ព័ន្ធនៃចិញ្ចៀនណែនាំបែបប្រពៃណីដោយសារតែការជ្រៀតចូលនៃលោហៈ ជាពិសេសស័ក្តិសមសម្រាប់ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកថាមពល និងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកជំនាន់ទីបី។
៣. ការបំពុលភាគល្អិតទាបបំផុត
ដំណើរការ CVD សម្រេចបានដង់ស៊ីតេថ្នាំកូត >99.5% និងភាពរដុបនៃផ្ទៃ Ra≤0.2μm ដែលកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការជ្រុះភាគល្អិតចេញពីប្រភព និងបំពេញតាមតម្រូវការអនាម័យយ៉ាងតឹងរ៉ឹងរបស់ក្រុមហ៊ុនផលិតបន្ទះ wafer ទំហំ 12 អ៊ីញ។
៤. ការគ្រប់គ្រងទំហំដ៏ច្បាស់លាស់
ដោយ​ប្រើប្រាស់​ម៉ាស៊ីន​ CNC ​ដែលមាន​ភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ទំហំ​អាច​ទ្រាំទ្រ​បាន​នៃ​ស្រទាប់​ក្រាហ្វីត​គឺ ±0.01 មីលីម៉ែត្រ ហើយ​ការខូចទ្រង់ទ្រាយ​ទាំងមូល​បន្ទាប់ពី​ការ​ស្រោប​គឺ <±5μm ដែល​ស័ក្តិសម​សម្រាប់​ការដំឡើង​ក្នុង​បន្ទប់​ឧបករណ៍​ដែលមាន​ភាពជាក់លាក់​ខ្ពស់។