TaC örtüklü qrafit üzük

VET Energy yüksək performanslı CVD tantal karbid (TaC) ilə örtülmüş qrafit halqaların Ar-Ge və istehsalına diqqət yetirir və yarımkeçirici, fotovoltaik və yüksək temperatur sənayeləri üçün əsas istehlak materialı həllərini təmin etməyə sadiqdir. Müstəqil olaraq inkişaf etdirilmiş kimyəvi buxar çökmə (CVD) texnologiyamız dəqiq proseslər vasitəsilə qrafit substratın səthində sıx və vahid tantal karbid örtüyü əmələ gətirir, məhsulun yüksək temperatur müqavimətini (>3000℃), korroziyaya və termal zərbəyə davamlılığını əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırır, xidmət müddətini 3 dəfədən çox artırır və müştərilərin xərclərini azaldır.

Texniki üstünlüklərimiz:
1. Yüksək temperaturda oksidləşmə müqaviməti
1200 ℃ hava atmosferində oksidləşmə çəkisinin artım sürəti ≤0.05mg/sm²/saat təşkil edir ki, bu da adi qrafitin oksidləşməyə davamlılıq müddətindən 3 dəfə artıqdır və yüksək tezlikli isitmə-soyutma dövrü şərtlərinə uyğundur.
2. Ərinmiş silisium/metal korroziyasına qarşı müqavimət
TaC örtüyü maye silisium (1600 ℃), ərimiş alüminium/mis və s. kimi metallara qarşı son dərəcə təsirsizdir, metalın nüfuz etməsinə görə ənənəvi bələdçi halqaların struktur nasazlığından qaçınır, xüsusilə güclü yarımkeçiricilər və üçüncü nəsil yarımkeçiricilər istehsalı üçün uyğundur.
3. Ultra aşağı hissəciklərlə çirklənmə
CVD prosesi >99,5% örtük sıxlığına və Ra≤0,2μm səth pürüzlülüyünə nail olur, mənbədən hissəciklərin tökülməsi riskini azaldır və 12 düymlük vafli istehsalının ciddi təmizlik tələblərinə cavab verir.
4. Dəqiq ölçü nəzarəti
CNC dəqiq emalını qəbul edərək, qrafit substratın ölçüsü tolerantlığı ± 0.01 mm-dir və örtükdən sonra ümumi deformasiya <± 5μm-dir, bu da yüksək dəqiqlikli avadanlıq kameralarında quraşdırmaq üçün uyğundur.