VET Energy, yüksək performanslı CVD tantal karbid (TaC) örtüklü qrafit halqalarının tədqiqat və inkişaf işlərinə və istehsalına diqqət yetirir və yarımkeçirici, fotovoltaik və yüksək temperaturlu sənaye sahələri üçün əsas istehlak material həlləri təmin etməyə sadiqdir. Müstəqil olaraq inkişaf etdirdiyimiz kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) texnologiyası, dəqiq proseslər vasitəsilə qrafit substratının səthində sıx və vahid tantal karbid örtüyü əmələ gətirir, məhsulun yüksək temperatur müqavimətini (>3000℃), korroziyaya davamlılığını və istilik şokuna davamlılığını əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırır, xidmət müddətini 3 dəfədən çox uzadır və müştərilərin hərtərəfli xərclərini azaldır.
Texniki üstünlüklərimiz:
1. Yüksək temperatur oksidləşmə müqaviməti
1200℃ hava atmosferində oksidləşmə çəki artım sürəti ≤0.05mq/sm²/saat təşkil edir ki, bu da adi qrafitin oksidləşmə müqavimət müddətindən 3 dəfədən çoxdur və yüksək tezlikli isitmə-soyutma dövrü şərtləri üçün uyğundur.
2. Əridilmiş silikon/metal korroziyasına qarşı müqavimət
TaC örtüyü maye silikon (1600℃), əridilmiş alüminium/mis və s. kimi metallara qarşı son dərəcə inertdir, metal nüfuz etməsi səbəbindən ənənəvi bələdçi halqalarının struktur çatışmazlığının qarşısını alır, xüsusən də güc yarımkeçiriciləri və üçüncü nəsil yarımkeçirici istehsalı üçün uyğundur.
3. Ultra aşağı hissəcik çirklənməsi
CVD prosesi, >99.5% örtük sıxlığına və Ra≤0.2μm səth pürüzlülüyünə nail olur, bu da hissəciklərin mənbədən tökülmə riskini azaldır və 12 düymlük lövhə istehsalçılarının sərt təmizlik tələblərinə cavab verir.
4. Dəqiq ölçü nəzarəti
CNC dəqiq emalını tətbiq edərək, qrafit substratının ölçü tolerantlığı ±0.01 mm-dir və örtükdən sonra ümumi deformasiya <±5μm-dir ki, bu da yüksək dəqiqlikli avadanlıq kameralarında quraşdırmaq üçün uyğundur.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Fiziki xüsusiyyətləri TaC örtük | |
| 密度/ Sıxlıq | 14.3 (q/sm³) |
| 比辐射率 / Xüsusi emissiya | 0.3 |
| 热膨胀系数 / İstilik genişlənmə əmsalı | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Sərtlik (HK) | 2000 HK |
| 电阻 / Müqavimət | 1×10-5 Ohm*sm |
| 热稳定性 / Termal sabitlik | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / Qrafit ölçüsündə dəyişikliklər | -10~-20um |
| 涂层厚度 / Kaplama qalınlığı | ≥30um tipik dəyər (35um±10um) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd, yüksək səviyyəli qabaqcıl materialların, qrafit, silikon karbid, keramika, SiC örtüyü, TaC örtüyü, şüşəli karbon örtüyü, pirolitik karbon örtüyü və s. kimi səth emalı kimi materiallar və texnologiyaların inkişafına və istehsalına yönəlmiş yüksək texnologiyalı bir müəssisədir. Bu məhsullar fotovoltaik, yarımkeçirici, yeni enerji, metallurgiya və s. sahələrdə geniş istifadə olunur.
Texniki komandamız ən yaxşı yerli tədqiqat müəssisələrindən gəlir və məhsulun performansını və keyfiyyətini təmin etmək üçün çoxsaylı patentləşdirilmiş texnologiyalar hazırlamış, həmçinin müştərilərə peşəkar material həlləri təqdim edə bilər.
