VET Energy fokuserer på forskning og udvikling samt produktion af højtydende CVD-tantalkarbid (TaC)-belagte grafitråde og er dedikeret til at levere kerneforbrugsmaterialeløsninger til halvleder-, solcelle- og højtemperaturindustrier. Vores uafhængigt udviklede kemiske dampaflejringsteknologi (CVD) danner en tæt og ensartet tantalkarbidbelægning på overfladen af grafitsubstratet gennem præcisionsprocesser, hvilket forbedrer produktets høje temperaturbestandighed (>3000 ℃), korrosionsbestandighed og termiske stødmodstand betydeligt, forlænger levetiden med mere end 3 gange og reducerer kundernes samlede omkostninger.
Vores tekniske fordele:
1. Modstandsdygtighed over for høj temperaturoxidation
I en luftatmosfære på 1200 ℃ er oxidationsvægtforøgelseshastigheden ≤0,05 mg/cm²/t, hvilket er mere end 3 gange oxidationsbestandigheden for almindelig grafit og er egnet til højfrekvente opvarmnings- og kølecyklusforhold.
2. Modstandsdygtighed over for korrosion af smeltet silicium/metal
TaC-belægning er ekstremt inert over for metaller såsom flydende silicium (1600 ℃), smeltet aluminium/kobber osv., hvilket undgår strukturelle svigt af traditionelle føringsringe på grund af metalindtrængning, især egnet til effekthalvledere og fremstilling af tredjegenerations halvledere.
3. Ultralav partikelforurening
CVD-processen opnår en belægningstæthed på >99,5% og en overfladeruhed på Ra≤0,2μm, hvilket reducerer risikoen for partikelafgivelse fra kilden og opfylder de strenge renhedskrav for 12-tommer waferproducenter.
4. Præcis størrelseskontrol
Ved anvendelse af CNC-præcisionsbearbejdning er størrelsestolerancen for grafitsubstratet ±0,01 mm, og den samlede deformation efter belægning er <±5 μm, hvilket er egnet til installation i kamre med høj præcision.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Fysiske egenskaber ved TaC belægning | |
| 密度/ Tæthed | 14,3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Specifik emissivitet | 0,3 |
| 热膨胀系数 / Termisk udvidelseskoefficient | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Hårdhed (HK) | 2000 Hongkong |
| 电阻 / Modstand | 1×10-5 Ohm*cm |
| 热稳定性 / Termisk stabilitet | <2500 ℃ |
| 石墨尺寸变化 / Ændringer i grafitstørrelse | -10~-20um |
| 涂层厚度 / Belægningstykkelse | Typisk værdi ≥30µm (35µm±10µm) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd er en højteknologisk virksomhed, der fokuserer på udvikling og produktion af avancerede materialer i høj kvalitet. Materialerne og teknologien omfatter grafit, siliciumcarbid, keramik, overfladebehandling som SiC-belægning, TaC-belægning, glasagtig kulstofbelægning, pyrolytisk kulstofbelægning osv. Disse produkter anvendes i vid udstrækning inden for solceller, halvledere, ny energi, metallurgi osv.
Vores tekniske team kommer fra førende indenlandske forskningsinstitutioner og har udviklet flere patenterede teknologier for at sikre produktets ydeevne og kvalitet, og kan også give kunderne professionelle materialeløsninger.
