VET Energy koncentrējas uz augstas veiktspējas CVD tantala karbīda (TaC) pārklājumu grafīta gredzenu pētniecību un attīstību, kā arī ražošanu un ir apņēmies nodrošināt galveno palīgmateriālu risinājumus pusvadītāju, fotoelektrisko un augstas temperatūras nozarēm. Mūsu neatkarīgi izstrādātā ķīmiskās tvaiku uzklāšanas (CVD) tehnoloģija, izmantojot precīzus procesus, veido blīvu un vienmērīgu tantala karbīda pārklājumu uz grafīta substrāta virsmas, ievērojami uzlabojot produkta izturību pret augstu temperatūru (>3000℃), izturību pret koroziju un termisko triecienu, pagarinot kalpošanas laiku vairāk nekā 3 reizes un samazinot klientu vispārējās izmaksas.
Mūsu tehniskās priekšrocības:
1. Augstas temperatūras oksidēšanās izturība
Gaisa atmosfērā 1200 ℃ temperatūrā oksidācijas svara pieauguma ātrums ir ≤0,05 mg/cm²/h, kas ir vairāk nekā 3 reizes lielāks par parastā grafīta oksidācijas izturības laiku un ir piemērots augstfrekvences sildīšanas-dzesēšanas cikla apstākļiem.
2. Izturība pret izkausēta silīcija/metāla koroziju
TaC pārklājums ir ārkārtīgi inerts pret metāliem, piemēram, šķidru silīciju (1600 ℃), izkausētu alumīniju/varu utt., novēršot tradicionālo vadotņu gredzenu strukturālus bojājumus metāla iekļūšanas dēļ, īpaši piemērots jaudas pusvadītājiem un trešās paaudzes pusvadītāju ražošanai.
3. Īpaši zems daļiņu piesārņojums
CVD process sasniedz pārklājuma blīvumu >99,5% un virsmas raupjumu Ra≤0,2μm, samazinot daļiņu izdalīšanās risku no avota un izpildot stingrās 12 collu vafeļu ražošanas tīrības prasības.
4. Precīza izmēra kontrole
Pieņemot CNC precīzu apstrādi, grafīta substrāta izmēru pielaide ir ±0,01 mm, un kopējā deformācija pēc pārklāšanas ir <±5μm, kas ir piemērots uzstādīšanai augstas precizitātes iekārtu kamerās.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Fizikālās īpašības Nodokļu politika pārklājums | |
| 密度/ Blīvums | 14,3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Īpatnējā emisijas spēja | 0,3 |
| 热膨胀系数 / Termiskās izplešanās koeficients | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Cietība (HK) | 2000 Honkongas kronas |
| 电阻 / Pretestība | 1×10-5 Ohm*cm |
| 热稳定性 / Termiskā stabilitāte | <2500 ℃ |
| 石墨尺寸变化 / Grafīta izmēra izmaiņas | -10~-20µm |
| 涂层厚度 / Pārklājuma biezums | ≥30 µm tipiskā vērtība (35 µm ± 10 µm) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ir augsto tehnoloģiju uzņēmums, kas koncentrējas uz augstas klases progresīvu materiālu, materiālu un tehnoloģiju, tostarp grafīta, silīcija karbīda, keramikas, virsmas apstrādes, piemēram, SiC pārklājuma, TaC pārklājuma, stiklveida oglekļa pārklājuma, pirolītiskās oglekļa pārklājuma utt., izstrādi un ražošanu. Šie produkti tiek plaši izmantoti fotoelektriskajā, pusvadītāju, jaunās enerģijas, metalurģijas u.c. jomā.
Mūsu tehniskā komanda nāk no labākajām vietējām pētniecības iestādēm un ir izstrādājusi vairākas patentētas tehnoloģijas, lai nodrošinātu produkta veiktspēju un kvalitāti, kā arī var nodrošināt klientus ar profesionāliem materiālu risinājumiem.
-
TaC pārklāts susceptors epitaksijas iekārtām
-
Ķīnas piegādātāji pielāgotiem TaC pārklājuma vadotņu...
-
Pusmēness formas detaļa ar tantala karbīda pārklājumu
-
Augstas kvalitātes tantala karbīda caurule SiC kristāliem...
-
Pielāgots augstas tīrības pakāpes SiC pārklājuma grafīta sildītājs H...
-
Poraina tantala karbīda pārklāta muca

