TaC бүрсэн графит цагираг

VET Energy нь өндөр хүчин чадалтай CVD тантал карбид (TaC) бүрсэн бал чулуун цагирагны судалгаа, боловсруулалт, үйлдвэрлэлд гол анхаарлаа хандуулдаг бөгөөд хагас дамжуулагч, фотоволтайк болон өндөр температурын үйлдвэрүүдэд үндсэн хэрэглээний материалын шийдлээр хангах үүрэг хүлээдэг. Манай бие даан боловсруулсан химийн уурын хуримтлал (CVD) технологи нь нарийн процессоор бал чулууны субстратын гадаргуу дээр нягт, жигд тантал карбидын бүрээсийг бий болгож, бүтээгдэхүүний өндөр температурын эсэргүүцэл (>3000℃), зэврэлт, дулааны цочролын эсэргүүцлийг эрс сайжруулж, үйлчилгээний хугацааг 3 дахин ихэсгэж, үйлчлүүлэгчдийн зардлыг бууруулж байна.

Манай техникийн давуу талууд:
1. Өндөр температурт исэлдэлтийн эсэргүүцэл
1200 ℃ агаарын уур амьсгалд исэлдэлтийн жин нэмэгдэх хурд нь ≤0.05мг/см²/цаг бөгөөд энэ нь энгийн бал чулууны исэлдэлтийн эсэргүүцлийн хугацаанаас 3 дахин их бөгөөд өндөр давтамжийн халаалт-хөргөлтийн мөчлөгийн нөхцөлд тохиромжтой.
2. Хайлсан цахиур/металл зэврэлтэнд тэсвэртэй байдал
TaC бүрэх нь шингэн цахиур (1600 ℃), хайлсан хөнгөн цагаан/зэс гэх мэт металлуудад маш идэвхгүй бөгөөд металл нэвтрэлтээс болж уламжлалт чиглүүлэгч цагирагуудын бүтцийн эвдрэлээс сэргийлж, ялангуяа эрчим хүчний хагас дамжуулагч болон гурав дахь үеийн хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд тохиромжтой.
3. Хэт бага тоосонцор бохирдол
CVD процесс нь бүрээсний нягтыг >99.5%, гадаргуугийн тэгш бус байдлыг Ra≤0.2μm болгож, эх үүсвэрээс тоосонцор асгарах эрсдлийг бууруулж, 12 инчийн валют үйлдвэрлэгчийн цэвэр байдлын хатуу шаардлагыг хангадаг.
4. Хэмжээг нарийн хянах
CNC нарийн боловсруулалтыг нэвтрүүлснээр бал чулууны субстратын хэмжээ хүлцэл нь ±0.01мм, бүрсэний дараах нийт хэв гажилт нь <±5μm бөгөөд өндөр нарийвчлалтай тоног төхөөрөмжийн камерт суурилуулахад тохиромжтой.