VET Energy нь өндөр хүчин чадалтай CVD тантал карбид (TaC) бүрсэн бал чулуун цагирагны судалгаа, хөгжүүлэлт болон үйлдвэрлэлд анхаарлаа хандуулдаг бөгөөд хагас дамжуулагч, фотоволтайк болон өндөр температурын үйлдвэрлэлд зориулсан гол хэрэглээний материалын шийдлүүдийг хангахад чиглэгддэг. Бидний бие даан боловсруулсан химийн ууршуулах (CVD) технологи нь нарийн процессоор дамжуулан бал чулуун суурь гадаргуу дээр нягт, жигд тантал карбидын бүрхүүл үүсгэдэг бөгөөд бүтээгдэхүүний өндөр температурт тэсвэртэй байдал (>3000℃), зэврэлтээс хамгаалах чадвар болон дулааны цочролд тэсвэртэй байдлыг мэдэгдэхүйц сайжруулж, ашиглалтын хугацааг 3 дахин нэмэгдүүлж, үйлчлүүлэгчдийн цогц зардлыг бууруулдаг.
Манай техникийн давуу талууд:
1. Өндөр температурын исэлдэлтэд тэсвэртэй
1200°C агаарын агаар мандалд исэлдэлтийн жин нэмэгдэх хурд нь ≤0.05мг/см²/цаг бөгөөд энэ нь ердийн бал чулууны исэлдэлтийн эсэргүүцлийн хугацаанаас 3 дахин их бөгөөд өндөр давтамжтай халаалт-хөргөлтийн мөчлөгийн нөхцөлд тохиромжтой.
2. Хайлсан цахиур/металлын зэврэлтэд тэсвэртэй
TaC бүрхүүл нь шингэн цахиур (1600℃), хайлсан хөнгөн цагаан/зэс гэх мэт металлуудад маш идэвхгүй тул металлын нэвчилтээс болж уламжлалт чиглүүлэгч цагирагны бүтцийн эвдрэлээс сэргийлдэг бөгөөд ялангуяа цахилгаан хагас дамжуулагч болон гуравдагч үеийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд тохиромжтой.
3. Хэт бага тоосонцрын бохирдол
CVD процесс нь бүрэх нягтрал >99.5%, гадаргуугийн барзгаржилтыг Ra≤0.2μm болгож, эх үүсвэрээс бөөмс унах эрсдлийг бууруулж, 12 инчийн вафер үйлдвэрлэгчийн хатуу цэвэр байдлын шаардлагыг хангадаг.
4. Нарийн хэмжээг хянах
CNC нарийвчлалтай боловсруулалтыг нэвтрүүлснээр бал чулуун суурь материалын хэмжээний хүлцэл ±0.01 мм бөгөөд бүрсэний дараах нийт деформаци нь <±5μm бөгөөд энэ нь өндөр нарийвчлалтай тоног төхөөрөмжийн камерт суурилуулахад тохиромжтой.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Физик шинж чанарууд TaC бүрэх | |
| 密度/ Нягтрал | 14.3 (г/см³) |
| 比辐射率 / Тодорхой ялгаралт | 0.3 |
| 热膨胀系数 / Дулааны тэлэлтийн коэффициент | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Хатуулаг (HK) | 2000 он Хонконг |
| 电阻 / Эсэргүүцэл | 1×10-5 Ом*см |
| 热稳定性 / Дулааны тогтвортой байдал | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / Графитын хэмжээний өөрчлөлт | -10~-20мм |
| 涂层厚度 / Бүрхүүлийн зузаан | ≥30мм ердийн утга (35мм±10мм) |
Нинбо VET Energy Technology Co., Ltd нь өндөр зэрэглэлийн дэвшилтэт материал, графит, цахиурын карбид, керамик, SiC бүрхүүл, TaC бүрхүүл, шилэн нүүрстөрөгчийн бүрхүүл, пиролизийн нүүрстөрөгчийн бүрхүүл гэх мэт гадаргуугийн боловсруулалт зэрэг материал, технологи боловсруулах, үйлдвэрлэх чиглэлээр мэргэшсэн өндөр технологийн аж ахуйн нэгж бөгөөд эдгээр бүтээгдэхүүнийг фотоэлектрик, хагас дамжуулагч, шинэ эрчим хүч, металлурги гэх мэт салбарт өргөн ашигладаг.
Манай техникийн баг нь дотоодын шилдэг судалгааны байгууллагуудаас бүрддэг бөгөөд бүтээгдэхүүний гүйцэтгэл, чанарыг хангахын тулд олон патентлагдсан технологийг боловсруулсан бөгөөд үйлчлүүлэгчдэд мэргэжлийн материалын шийдлүүдийг санал болгож чадна.
